扫描电镜安全操作规程
一、设备安全操作环境要求：
环境温度： 17℃—24℃
相对湿度： < 80%
场地磁场： 同步：<3x10-7T
异步：<1x10-7T
振动：
对于主动式电磁减振： <10um/s 低于30HZ
<20um/s 高于30HZ
噪声： 小于60dBC
海拔： 低于3000m
二、设备硬件主要由UPS 、氮气瓶、真空泵、电镜主机部分组成
1. 电镜用电安全：
a) 只有工程师才能对电镜的主电源，UPS 电源线和UPS 开关进行维修操
作。
b) 用户负责熟悉设备保养和安装。电镜工作所需要的高电压是有危险性
的。
2. 电镜使用UPS 时：
a) 开机：首先确认市电是否正常，电池开关处于闭合状态。按面板上的
开关键（3—5秒）后放开，待UPS 内部自检完毕开机。
换样品时卸至标
准气压
UPS 供电
电镜主机供电 电脑开启
真空泵开启 氮气瓶 更换样品
换好样品后抽
真空 软件控制真空状态
b)关机：首先确认电源负载设备断掉。按面板上的开关键（3—5秒），
此时UPS处于旁路状态。依次关闭蓄电池组开关及市电开关。
3.电镜使用氮气时：
a)使用时不可将钢瓶内的气体全部用完，一定要保留0.05MPa以上的残
留压力。
b)使用时要把钢瓶牢牢固定，以免摇动或翻到。
c)开关气门阀要慢慢地操作，切不可过急地或强行用力把它拧开，防止
压力过大造成损伤。
4.电镜使用nXDS10i完全无油干式涡旋泵时：
a)注意防止液体侵入；
b)注意防止灰尘堆积；
c)注意环境不当的温度波动。
5.电镜样品室开关操作：
a)样品室内标准气压时可以直接开启；
b)样品室内真空状态需要先开启氮气瓶准备通入氮气，在软件内选择卸
压，设备允许时进行开仓操作。
