科汇纳米最新PVD涂层 AL(L)涂层介绍

at a time and All things in their being are good for somethi巴尔查斯涂层介绍一览表(1-3)序号涂层代号涂层材料涂层硬度（HV0.05）磨擦系数最大工作温度(°C)涂层颜色Recommended applications1BALINIT® ATiN2,3000.4600gold-yellow*steel cutting*punching and forming (when working low-hardness materials)*moulds for the injection moulding of plastics* plungers of diesel injection pumps* medical instruments2BALINIT® ALCRONAAlCrN3,2000.351,100blue-grey*Solid carbide end mills and carbide indexable inserts for roughing and finishing* Carbide and HSS hobs* CBN indexable inserts for turning* Aluminium die casting* Hot forging3BALINIT® ALDURATiAlN + AlCrN-based3,3000.35 - 0.40>1,100blue-grey*On solid carbide end mills for roughing and finishing* Machining of hardened steels (>60 HRC)* High speed cutting (HSC)* Cutting of difficult-to-machine materials4BALINIT® BTiCN3,0000.4400blue-grey* milling, punching and forming with high mechanical loads* working with interrupted cutting* punching and forming of ferritic and austenitic steels*plastic injection moulding (melts with abrasive fillers or high fibreglass content)5BALINIT® C STARCrN + a-C:H:W1,000 / 1,5000.1 – 0.2300anthracite* For components made of soft base materials (titanium, nonferrous metal alloys, stainless steels)* For high surface pressures* Plain bearings* Gearings6BALINIT® CWC/C (a-C:H:W)1,500 / 1,0000.1 - 0.2300anthracite* punching and forming (low-lubricant or dry working)* plastic injection moulding (dry running of movable tool components)* gears and ball bearings with high surface pressure levels* precision components of highly stressed combustion engines* systems without lubrication (clean room or foodstuffs technology)* fluid technology components7BALINIT® CNICrN1,7500.5700silver-grey* valve gear components* piston rings* hydraulic pistons* components of textile machines* components for food processing machines8BALINIT® CROVEGACrN1,7500.5700silver-grey* bio-compatible and foodstuff-neutral* medical tools* plastic injection moulding*mirror polished moulds9BALINIT® DCrN1,7500.5700silver-grey* machining of copper * semi-cold forming of steel and brass* metal die casting*plastic injection moulding (plastics that, during processing, outgas chlorine, fluorine or other aggressive volatile contents) *mechanical engineering (housings, shafts) *titanium components in motor sport and in the aviation industry*

三种涂镀膜层简介

表面处理在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不

同的表层的工艺方法。表面处理的目的是满足产品的耐蚀性、耐磨性、装饰或其

他特种功能要求。这里我们主要介绍三种涂镀膜层技术，热喷涂锌铝、搪瓷、达

克罗。下面一一介绍。

一：热喷涂锌铝：

锌是一种银白色的金属，具有金属光泽。熔点419摄度，密度7.14g/cm^3，

标准电极电位为-0.76V，是较活泼的金属之一。锌的晶体结构为密排六方，随着

温度升高，显示出同素异构转变。

锌涂层外观呈暗白色，涂层密度一般为6.27g/cm^3，是热喷涂防腐蚀施工中

使用最早，且最多的涂层材料。但是在硫或氧化物污染的空气中锌涂层不具有耐

蚀性。虽然锌的钝化用很小，但在铬酸盐溶液中却能显著钝化，生成铬酸锌保护

膜。

热喷涂用的锌原料要求纯度高，防腐用时纯度要求Zn 99.995%以上，含铁

在0.001%以下。作为线材纯度至少含锌99.9%以上、Cu 0.05%以下，为了防止

喷涂中断线，要求拉伸强度大于150Mpa、延伸率大于40%。纯度超高，喷涂粒

子越细小，涂层表面越致密。

1）热喷涂使用的锌铝合金主要是含Al量5%~25%的锌铝二元合金。当合金

中的铝含量大于28%时，合金的许多化学和电化学性能与纯铝相似，如果用于热

喷涂防腐，则不能很好地发挥如何的阴极保护作用。另一方面，由于合金中的含

铝量增加倒使合金线材加工困难，所以目前常用的是含锌85%，含铝量15%的

二元锌铝合金。该合金的通用牌号为Zn-Al15.

2）Zn-Al15合金

Zn-Al15合金的熔点为440摄度，涂层密度约为5.0g/cm^3。Zn-Al15锌铝合

金是一种在许多方面都优于纯锌或纯铝的两相组织结构的涂层，该合金涂层在许

多环境下具有良好的耐腐蚀性能，可以对钢铁基体提供有效的保护。Zn-Al15合

金涂层的力学性能较好，它的强度和硬度均优于纯锌涂层和纯铝涂层；电化学性

质介于锌和铝涂层之间，兼有两者的某些优点。在钢铁结构防腐蚀方面的应用与

半导体知识讲解：PVD知识100问

PVD1.Target (靶材)是什⼳?

答：在PVD中，靶材是⽤来提供镀膜（film）的⾦属材料.2.PVD 制程原理为何?

答：在Target与wafer间加之⾼电位差，此时制程⽓体Ar在⾼位差下解离成Ar+，⼜因Ar+带正电被电场吸引⽽撞向Target，使target产⽣⾦属晶粒因重⼒作⽤⽽掉落⾄wafer形成film.此种⼯艺是 PVD.

3.半导体中⼀般⾦属导线材质为何?

答：鵭线(W)/铝线(Al)/铜线(Cu)

4.在PVD⼯艺中可以得到那⼏种⾦属膜?

答：铝(AL)，钛(Ti)，氮化钛(TiN)，钴( Co).

⼀般wafer进⼊ PVD机台,必须镀上 钛/氮化钛/铝/钛/氮化钛.五层⾦属.

钴的功⽤为⾦属硅化物 (silicide).5.钛(Ti)的功⽤为何?

答：降低⾦属接触阻值6.氮化钛(TiN) 的功⽤为何?

答：1.当作扩散阻障层(diffusion barrier layer)， 阻障铝与氧化硅之间的扩散.

2.当作粘着层(glue layer)，钨与氧化硅附着⼒不好，在⼆者之间加⼊氮化钛可以增加彼此的粘着⼒

3. 当作反反射层(ARC layer), 为了在微影技术制程中为达到⾼的分辨率，所以需⼀层抗反射层镀膜以减少来⾃铝的⾼反射率.

7.chamber待机⼀段时间后，为何要做Dummy(檔⽚)?

答：chamber待机⼀段时间后，chamber condition (真空，温度..)有些微变化.若不做dummy，前⼏⽚产品会受到影响.⼀般是由⼯艺⼯程师依照实际状态，制定待机时间规则，然后由制造部 operator 放⼊檔⽚到chamber 镀膜(其recipe 与产品的recipe相似).经由 dummy后，chamber condition 会恢复正常⽔准，可以安⼼⽣产.8.为何铝靶材需要添加少量的铜?

答：电流在铝⾦属层移动时，铝原⼦会沿着晶粒界⾯⽽移动，若此现象太过剧裂，会导致⾦属线断路，添加少量的铜可以防⽌铝线断线9既然添加铜可以防⽌铝尖峰现像，为何只添加0.5%?9既然添加铜可以防⽌铝尖峰现像，为何只添加0.5%?

精品文档

可编辑 电镀技术作为一种功能精饰技术，其合金镀层具有优异的耐磨性、耐蚀性、镀层厚度均匀性、致密度高等特点，已在电子产品中获得大量应用。随着电子工业的迅猛发展，对电镀技术的要求越来越高，新技术、新产品、新工艺层出不穷。

NCVM又称不连续镀膜技术或不导电电镀技术，是一种起缘普通真空电镀的高新技术。真空电镀，简称VM，是vacuum metalization的缩写。它是指金属材料在真空条件下，运用化学、物理等特定手段进行有机转换，使金属转换成粒子，沉积或吸附在塑胶材料的表面，形成膜，也就是我们所谓的镀膜。真空不导电电镀，又称NCVM，是英文Non conductive

vacuum metalization的缩写。它的加工工艺高于普通真空电镀，其加工制程比普通制程要复杂得多。

NCVM是采用镀出金属及绝缘化合物等薄膜，利用各相不连续之特性，得到最终外观有金属质感且不影响到无线通讯传输之效果。首先要实现不导电，满足无线通讯产品的正常使用；其次要保证“金属质感”这一重要的外观要求；最后通过UV涂料与镀膜层结合，最终保证产品的物性和耐候性，满足客户需求。NCVM可应用于各种塑料材料，如PC、PC+ABS、ABS、PMMA、NYLON、工程塑料等，它更符合制作工艺的绿色环保要求，是无铬（Non-Chrome）电镀制品的替代技术，适用于所有需要表面处理的塑料类产品，特别适用于有讯号收发的3C产品，尤其是在天线盖附近区域，如MobilePhone、PDA、Smart Phone、GPS卫星导航、蓝芽耳机等。

NCVM的主要特征是结合了传统真空镀膜技术的特性，采用新的镀膜技术、新的材料，做出普通真空电镀的不同颜色的金属外观效果，起到美化工件表面之功用。采用NCVM技术制出的成品可以通过高压电表几万伏特的高压测试，不导通或不被击穿。正是因为它的不导电性，当手机或蓝牙耳机收讯或是发射讯号时，产生的电磁场不被导电的镀层所屯积，从而不影响手机的RF（射频）性能以及ESD（静电放电）性能，也就是说使得无线产品达到更好的收讯效果，无杂音，更不会对人体产生任何影响。从电性能角度出发，它能够通过导电测试和电子干扰测试。从真空镀膜本身，它能同时保证正常的物理和耐候测试，如附着力、精品文档