大功率激光二极管无 助焊剂 烧焊技术

  • 格式:pdf
  • 大小:309.40 KB
  • 文档页数:4

doi:10.3969/j.issn.1003—353x.2009.05.018 

大功率激光二极管无助焊剂烧焊技术 技术专栏 Technology Column 

徐会武,安振峰,闫立华 

(中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051) 

摘要:烧焊质量对大功率激光二极管的可靠性及寿命影响很大。为获得良好的烧焊质量通常 在烧焊过程中使用助焊剂,但是助焊剂残留物会因腐蚀作用对激光二极管的性能及寿命产生不利 影响。对蚁酸气体保护下的激光二极管无助焊剂烧焊技术进行了研究,介绍了几种去除焊料表面 

氧化层的方法,重点对蚁酸气体保护的烧焊进行了原理分析,并结合实际经验给出了合适的工艺 曲线,利用此曲线烧焊出一定数量的样品,与氢气保护烧焊的器件进行了相关参数比较,证实了 

蚁酸保护烧焊在焊料的浸润性、器件的热阻及剪切力方面具有明显优势。 关键词:蚁酸;激光二极管;应力;可靠性;烧焊;助焊剂 中图分类号:TN364.2 文献标识码:A 文章编号:1003.353X(2009)05.0463.04 

Fluxless Soldering Technology for High Power Laser Diode 

Xu Huiwu,An Zhenfeng,Yan Lihua 

(The 13 Research Institute,CETC,Shijiazhuang 050051,China) 

Abstract:Soldering quality is an important factor to the reliability and life of high power laser diode.To 

obtain good solder quality,flux is often used during soldering process,but the flux residue would affect the performance and life of laser diode for its etching effect.A fluxless soldering technology of high power laser diode 

by using formic acid was investigated.Several methods upon reducing oxidation at the interface of indium solder were introduced,especially the using of formic acid,and a proper process curve was obtained.Through comparing the wettability,thermal resistance and die shear strength of the different soldering processes,it is determined that 

the msults from soldering using formic acid is much better than from hydrogen. Key words:formic acid;laser diode;stress;reliability;soldering;soldering flux 

EEACC:4260D 

0 引言 

无论在军事上还是民用上,大功率激光二极管 都显示出了强劲的应用势头,但目前从国内形势 看,离激光二极管的真正实用化还有一定距离。主 要体现在激光二极管的寿命及可靠性问题仍未得到 

妥善解决,决定激光二极管寿命及可靠性的两个关 键点就是芯片技术及封装技术,而封装技术尤其是 

芯片的烧焊水平对大功率激光二极管的器件特性及 长期可靠性起着至关重要的作用。标志芯片烧焊水 平的一个关键参数是激光二极管的热阻,因此如何 有效地降低器件热阻是技术人员研究努力的方向, 影响芯片烧焊质量的因素有很多,包括芯片载体表 

May 2009 面的洁净度、载体表面的粗糙度、芯片表面金属化 

体系的设计及金属化工艺水平、焊料纯度及粗糙 度、焊料氧化层的去除及烧焊工艺曲线的控制等。 诸多因素中,最为复杂也是最难于实现的是烧焊过 

程中如何保证去除焊料层表面的氧化层,从而达到 焊料与芯片以及载体的浸润状态。本文正是以此为 出发点,介绍了一种无助焊剂烧焊方式——FAc 

(formic acid)即蚁酸气体保护烧焊,详细介绍了其 

原理及烧焊过程,并和H2保护烧焊后的器件进行 了参数比较,通过对热阻、剪切力、早期老化的对 比,发现蚁酸气体保护烧焊得到的结果要优于氢气 

保护烧焊。 

Semiconductor Technol

ogy Vo1.34 No.5 463 徐会武等:大功率激光二极管无助焊剂烧焊技术 

1 焊料氧化层去除方法 

出于散热要求及材料的成本考虑,大功率激光 二极管用载体材料通常为无氧铜(热导率为 

400 W/m・K),但由于无氧铜与芯片材料GaAs之间 的热膨胀系数相差甚大(Cu为17.8×10 /℃,而 GaAs为5.6×10 /℃),造成在烧焊过程中对芯片 

产生较大的热应力,从而导致功率及光谱的变化, 严重时会导致芯片断裂,为缓冲热膨胀系数不同造 

成的热应力,通常选择延展性好的In焊料作为应 力释放层。不过In焊料极易氧化,无论是焊料蒸 

发过程中还是烧焊过程中,都会产生不同程度的氧 化,In容易形成稳定的氧化物In20 ,其熔点为 850℃L1 J,普通烧焊温度下不会熔化,如果这层氧 化层不去除,焊料和芯片之间不能形成较好的浸润 

状态,就会严重影响器件焊接强度及热阻。下面介 绍几种常用的去除焊料氧化层的方法。 1.1盐酸预处理 在芯片烧焊以前,用一定浓度的盐酸对焊料表 面进行漂洗,利用盐酸溶液中H 的还原性将氧化 

层去除,这种方法处理起来较为简单,但是进一步 去除盐酸比较困难,处理程序复杂,导致在处理过 程中再次造成In焊料氧化,且容易造成酸液及其 

他残留,从实用的角度该处理方法不推荐使用。 1.2蚁酸溶液还原 在载体焊料处滴上一定量的蚁酸溶液,在烧焊 

过程中起到还原作用,剩余的蚁酸溶液在一定温度 下蒸发掉,蚁酸具有较强的还原能力,可以去除很 厚的氧化层,但理论上In表面的氧化层很薄,约 几个纳米 J,因此该种方法很容易导致蚁酸溶液的 

残留,另外低温下蚁酸不容易挥发,且蚁酸对In 焊料具有溶解能力,烧焊过程中残留的蚁酸覆盖的 

地方会导致焊接空洞的产生,如图1所示。虽然可 

图1 SEM扫描的蚁酸残留形貌 Fig.1 Shape of formic acid residue scanning by SEM 

464半导体技术第34卷第5期 以通过在去氧化过程中用N,吹的方式将蚁酸残留 降至最小,但这样的工艺并非一个稳定的工艺,因 

此该法的实用性也不强。 1.3 Ar/H等离子清洗 

在烧焊过程中辅以离子洗工艺,有些利用氩氢 

混和气,在等离子装置的辅助作用下得到H离子, 从而起到去氧化层的目的,不过H离子自身再次 

结合成为分子的速度非常快,因此就要求通入的气 体要保持一定的流速,在H离子再次结合以前使 

其达到焊料表面并还原掉氧化层,另外在整个烧焊 

过程中采用了N 保护气氛以驱逐烧焊腔体内的空 气,这样N’的流动就对H离子产生了扰动,因此 这种方法得到的结果并不理想。 

1.4蚁酸气体还原 

前面说过,蚁酸具有很强的还原性,在使用时 浓度不宜太高,因此考虑可以用N,携带蚁酸气体 

对氧化层进行还原,而且由于蚁酸不易分解,烧焊 过程中不会污染激光器腔面,从实验结果来看,此 

方法切实可行,本文正是基于此方法开展了研究。 

2蚁酸保护烧焊原理及实验 

2.1 蚁酸保护烧焊原理 在H2保护烧结炉中,低温下烧焊(<300℃), 

H:主要作用是作为保护气体存在的,它的作用是 

抑制In焊料在升温时继续氧化,并不具备还原性, 从实验验证的结果看,H2在>350℃时表现出了良 

好的还原性,低于此温度时,其活性不能得到发 挥。 

而蚁酸保护烧焊过程中,据文献报道蚁酸的活 性表现于两个温度阶段,其还原机理是这样的:当 

温度为150~200℃时,蚁酸和焊料层中的氧化物 反应生成一种化合物,在温度高于200 cC后,该化 

合物分解成CO2和H2。具体过程如下 MeO+2HCOOH=Me(COOH)2+ 

H20(0>150℃) (1) 

Me(COOH)2:Me+COz+H2( >200℃) (2) H,+MeO=Me+H20( >200℃) (3) 

式中Me指金属,在这里即为In,实验中的温度曲 

线与文献报道的温度点基本吻合。 2.2 实验过程 利用C,mount载体(图2)进行实验,In焊料 

2009年5月 徐会武等:大功率激光二极管无助焊剂烧焊技术 

舅舅一 

(a) 保护下腔面焊 料浸润状态 (b)蚁酸气体保护下的 腔面焊料浸润状态 

图6腔面浸润程度比较 Fig.6 Comparison of mehing state on facel 图5(a)为H2保护下In焊料熔化状态,由于 

氧化层的缘故,焊料表层未呈现出全部熔化状态, 

图5(b)为蚁酸气体保护下的In焊料熔化状态, 

可以看出,经过蚁酸气体的还原作用,整个焊料表 

面呈现非常一致的明亮的液态,差距非常明显。 

图6(a)为H’保护下腔面焊料浸润状态,可 

以看出,虽然芯片金属化表面均已沾上In焊料, 

但明显存在焊接缝隙;图6(b)为蚁酸气体保护 

下腔面焊料浸润非常饱满,对大功率激光二极管来 

说,腔面处散热效果对其寿命的影响非常明显,因 

此腔面处焊料的饱满状态非常重要。 

2.3.2参数测试对比 

参数测试对比数据见表1。表中: 为波长; 

P】为峰值功率;P2为经2 h老化后的功率;F为剪 

切力。 表1 同批次芯片烧焊后测试参数的比较 

Tab.1 Testing parameters comparison of one batch die after soldering 

/nm P1/roW P /mW F/g 

H2 FAC H2 FAC H2 FAC H2 FAC 编号 保护 保护 保护 保护 保护 保护 保护 保护 

1 80o.4 798.2 1 O68 1 051 1 030 1 O50 1 275 2 745 

2 799.9 798.1 l O42 1 O22 l oo5 l oo9 1 675 2 818 

3 800.5 797.9 1 015 996 852 977 1 549 2 265 

4 801.4 797.6 1 018 988 998 978 1 717 2 257 

5 80o.1 799.0 1 O41 935 l 003 890 l 462 2 074 

主要从波长、2 h老化后功率下降百分比、剪 

切力三个指标进行了对比,从波长参数来看蚁酸保 

护烧焊和H2保护烧焊分别得到的单管平均波长为: 

798.2 nm和800.5 llm,对作者研制的800 llm的材料 而言,波长漂移系数为0.24 nm/ ̄C,相同条件下,