量程转换

设定流量=实际流量/(转换系数*2）设定流量量程为200sccm

假设H2实际流量为20sccm，其转换系数为1.01，则其设定流量为20/(1.01*2)=9.9sccm气 体比热(卡/克℃)密度(克/升0℃)转换系数

空气 Air0.241.2931.001

氩气 Ar0.1251.78371.407

砷烷 AsH30.11683.4780.673

三溴化硼 BBr30.064711.180.378

三氯化硼 BCl30.12175.2270.43

三氟化硼 BF30.17793.0250.508

硼　烷 B2H60.5021.2350.441

四氯化碳 CCl40.12976.860.307

四氟化碳 CF40.16593.96360.428

甲烷 CH40.53180.7150.719

乙炔 C2H20.40491.1620.581

乙烯 C2H40.36581.2510.597

乙烷 C2H60.42411.3420.48

丙炔 C3H40.36331.7870.421

丙烯 C3H60.36591.8770.398

丙烷 C3H80.3991.9670.348

丁炔 C4H60.35152.4130.322

丁烯 C4H80.37232.5030.293

丁烷 C4H100.4132.5930.255

戊烷 C5H120.39163.2190.217

甲醇 CH3OH0.32771.430.583

乙醇 C2H6O0.33982.0550.391

三氯乙烷 C2H3Cl30.16545.950.278

氧化碳 CO0.24881.250.999

二氧化碳 CO20.20171.9640.737

氰气 C2N20.26082.3220.451

氯气 Cl20.11453.1630.858

氘气 D21.73250.17980.997

氟气 F20.1971.6950.93

四氯化锗 GeCl40.10729.5650.267

锗烷 GeH40.14053.4180.569

PID控制原理

一、 理论回顾

1、 闭环控制系统（closed—loop control system） 闭环控制系统是系统被控对象的输出（被控制量）会反送回来影响控制器的输出，形成一个

或多个闭环。闭环控制系统有正反馈和负反馈，若反馈信号与系统给定值信号相反，则称为

负反馈（Negative Feedback），若极性相同，则称为正反馈，一般闭环控制系统均采用负反

馈，又称负反馈控制系统。

2、PID 控制是比例积分微分控制（Proportional-Integral-Differential）；

输入：控制偏差e ( t ) = r ( t ) - y ( t )

输出：偏差的比例(P)、积分(I)和微分(D)的线性组合

式中 Kc ——比例系数 TI——积分时间常数TD——微分时间常数

3、比例调节（P调节） 在 P调节中，调节器的输出信号u与偏差信号e成比例，即u＝Kce；式中，Kc称为

比例增益（视情况可设置为正或负）。当偏差e为零，因而u=0时，并不意味着调节器

没有输出，它只能说明此时有u=u0.

注意：在实际应用中，由于执行器的运动（如阀门开度）有限，控制器的输出u(t)也就

被限制在一定的范围之内，换句话说，在Kc较大时，偏差e(t)仅在一定的范围内与控制器的输出保持线性关系。因此，比例控制有一定的应用范围，超过该范围时，控制器输比例

积分

微分广义被控对象r(t)e(t)y(t)+

-++

+u(t)

))()(1)(()(0dttdeTdtteTteKtuDt

Ic出与输入之间不成比例关系。

3.1、比例控制的特点

○1、P调节对偏差信号能做出及时反应，没有丝毫的滞后。 ○2、比例调节的显著特点就是有差调节。如果采用比例调节，则在负荷扰动下的调节过

程结束后，被调量不可能与设定值准确相等，它们之间一定有残差。因为根据比例调节

的特点，只有调节器的输入有变化,即被调量和设定值之间有偏差,调节器的输出才会发生

-1.分辨率和转换精度这两个技术指标有什么区别和联系。

答;分辨率是衡量A/D转换器分辨输入模拟量最小变化程度的技术指标，转换精度反映了一个实际A/D转换器与一个理想A/D转换器在量化值上的差值，用绝对误差或相对误差来表示。

2-2.逐次比较式、并联比较式和积分式A/D转换器各有什么特点？

答：逐次比较式A/D转换器转换时间与转换精度比较适中，适用与一般场合。

积分式A/D转换器的核心部件是积分器，速度较慢，但抗干扰性能力强，适用于在数字电压表类仪器中采用。

并行比较式A/D转换器，转换速率可以达到很高，但抗干扰能力差，由于工艺限制，其分辨率一般不高于8位。适用于数字示波器等要求转换速度较快的仪器。

1、A/D转换的技术指标

①分辨率与量化误差：分辨率是衡量A/D转换器分辨输入模拟量最小变化量的技术指标.量化误差是由于A/D转换器有限字长数字量对输入模拟量进行离散取样二引起的误差，其大小在理论上为一个单位。②转化精度：反映了一个实际A/D转换器与一个理想A/D转换器在量化值上的差值。用绝对误差或相对误差来表示。③转换速率：指A/D转换器在每秒钟内所能完成的转换次数。也可表示为转换时间，即转换从启动到结束所需时间。④满刻度范围：又称满量程输入电压范围，指A/D转换器所允许最大的输入电压范围。

2、逐次比较式A/D，积分式A/D的原理及各自优缺点

逐次比较式：当启动信号作用后，时钟信号先通过逻辑控制电路是N位寄存器的最高位D(N-1)位1，以下各位为0，这个二进制代码经A/D转换器转换成电压U0，送到比较器与输入的模拟电压Ux比较。若Ux.>Uo，则保留这一位，；若Ux

积分式：先用积分器把输入模拟电压转换成中间量，再把中间量转换成数字。

优缺点：逐次比较式A/D转换器的转换时间与转换精度比较适中，转换时间一般在us级，转换精度一般在0.1%左右，适用于一般场合。积分式A/D转换器的核心部件是积分器，因此速度较慢，其转换时间一般在ms级或更长。但抗干扰性能强，转换精度可达0.01%，适用于在数字电压表类仪器中。

1 数字式万用表几种形式分类

数字式万用表按使用场所分类可分为实验室型、通用型和面板型。实验室型仪表准确度高，使用条件严格，一般用做标准或精密测量。通用型仪表用于一般的测量。面板型仪表结构简单，准确度低，多安装在面板上作为指示电表用，因此这类仪表也称数字式面板表，简称DPM(DigitalPanelMeter)。数字式电压表也可按使用方式分为台式、便携式和油珍式（或称手持式）等。另外，还可以按照以下几种形式逬行分类：

—、按照量程转换方式分类:

1、手动量程

这种仪表的价格较低，但操作t匕较复杂，若量程选择得不合适，很容易使仪表过载。

2、自动量程

自动量程数字式万用表可大大简化操作，有效地避免过载，并能使仪表处于量程，从而提高了测量准确度与分辨力。此类仪表的价格较高。

二、按照功能分类：

1、简易型万用表

简易型万用表的价格低廉，性能指标较差，主要用来测量电压，电流和电阻。

2、多功能万用表的测量功能较强，售价较高。所增加的功能主要有测量电容、电感、晶体管参数（如hFE、ICEO、ICBO等）、小阻值电阻（DΩ挡）、电池带额定负载后的电压、高压。有的万用表还能检查发光二极管（LED)的发光情况。

3、智能型万用表

4、双显示及多重显示数字式万用表

如美国福禄克双显示万用表。

5、专用仪表

三、按照用途分类：

1、低档数字式万用表

它属于3又1/2—位普及型仪表，功能比较简单价格与指针式万用表相当。典型产品有DT810、DT830C、DT830DM等。 2 2、中档数字式万用表

(1)多功能型数字式万用表。此类仪表一般设有电容挡、测温挡、频率挡，有的还增加了高阻挡和电导挡。典型产品有DT890C、DT890C+型3又1/2位数字式万用表。

（2）4又1/2位数字式万用表，其准确度较高，功能胶圈，适合实验室测量用。