真空机组使用说明及注意事项(通用版)

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( 安全管理 )

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真空机组使用说明及注意事项(通用版)

Safety management is an important part of enterprise production management. The object is the

state management and control of all people, objects and environments in production. 机械安全 | Mechanical Safety

机械安全

第 1 页 真空机组使用说明及注意事项(通用版)

一真空机组开机流程

1、启动VB150维持泵,然后打开出口阀。当电阻计2真空度达到5帕以下时,启动扩散泵加热。

2、启动VB200旋片泵,打开旁通阀;当电阻计1真空度达到2000帕以下时,开启2ZJP—300罗茨泵,进行预抽。

3、扩散泵加热50分钟以上且电离计真空达到5帕以下时,先关闭旁通阀,再打开主阀,进行主抽。

4、关闭2ZJP—300罗茨泵,30秒后关闭VB200旋片泵。

二真空机组关机流程

1、关闭主阀。

2、启动-----关机程序。 说明:安全管理是企业生产管理的重要组成部分,是一门综合性的系统科学。安全管理的对象是生产中一切人、物、环境的状态管理与控制,安全管理是一种动态管理。可以下载修改后或直接打印使用(使用前请详细阅读内容是否合适)。 机械安全 | Mechanical Safety

机械安全

第 2 页 三真空机组使用注意事项

1、真空机组在使用的整个过程中,必须保证水路、气路完整通畅。

2、必须严格按照真空机组的开机、关机流程,进行操作。

3、扩散泵加热过程中,若不慎断水。应先关闭扩散泵电源,再关闭主阀。然后摘下扩散泵电炉加热器,并使用电风扇进行降温。在这过程中,要一直保持VB150维持泵和出口阀处于开启状态。

4、扩散泵加热过程中,若VB150维持泵出现故障不工作,应先关闭出口阀,然后启动VB200旋片泵,再启动2ZJP—300罗茨泵,打开维持阀进行主抽。

XXX图文设计

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