中国大陆新能源产业振兴发展规划

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行业快讯・ 电子工业薹用设苗 I 
2010年台湾MEMS市场步入起飞期 
全球第1大MEMS设备大厂表面技术系统 STS(Surface Technology System)全球事业发展部 副总裁David Haynes表示:2010年中国台湾市场 将较2009年出现双倍成长,原因来自2009年研 发产品,自2010年起将进入大量生产阶段,对 MEMS机器设备需求可望倍增,至于住友精密株 式会社SPP(Sumitomo Precision Product)将合并 Aviza一事,他则表示:细节最快会在l0月底前 公告。 David Haynes表示:2008年全球金融风暴确实 对MEMS市场影响很大,不过自2009年下半起已 陆续看到MEMS市场确实已出现回温,估计回温 能持续至2010年,现认为2010年全球MEMS设 备市场应会不错。 STS指出:事实上2009年受客户订单延后下 单影响,估计2009年全球MEMS设备市场恐较 2008年持平或小幅衰退,不过递延订单将可望在 2010年发效,这就是为何STS看好2010年MEMS 设备市场原因之一。现看来,2010年STS于全球 MEMS蚀刻市占率应有机会上看60%以上,这当 中包含合并Aviza后产生效应。 STS认为:2010年中国台湾市场将会有显著成 长幅度,现估计应有机会较2009年销量增长2倍。 公司表示,中国台湾成长原因来自2009年耕耘, 2010年起进入收成阶段,营运表现才有机会大幅 成长。据了解,中国台湾客户2009年时大多仍属研 
发或小量试产,对设备需求有限,至2009年底产品 
陆续通过验证后,2010年进入放量生产阶段,晶圆 
代工厂为服务客户则需买进设备,公司才会认为中 
国台湾在2010年表现将令人惊讶。 
对大陆市场STS认为:估计大陆对MEMS设 
备放量需求点应落在201 1 ̄2012年,虽现阶段市 
场多数认为大陆MEMS内需市场惊人,需更多 
MEMS设备才能满足,但因大陆发展MEMS市场 
属起步阶段,加上代工MEMS产品复杂度远高于 
传统CMOS IC,短时间内可能较难放量,目前对 
MEMS设备需求有限。 
反观台湾晶圆双雄进入MEMS代工市场较 
早,对MESM代工服务关键技术制程掌握度相对 
较高,才有机会在2010年起开始放大MEMS代 
工服务。不过现可看到是大陆对CMOS Image 
Sensor(CIS)需求量快速增加,对深蚀刻设备需求 
同步激增,这部分对STS于2009年营收会有显著 
贡献。 
STS对于Aviza合并一事则指出,2009年7月 
中旬Aviza已向美国法院申请破产保护,经数个月 
协商,SPP日前正式宣告有兴趣购并Aviza,直到9 
月底美国法院已正式发函SPP,允许SPP合并 
Aviza,已知道双方现进入最后协商阶段,估计将签 
署正式商业合约,整件事将告一段落。 

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中国大陆新能源产业振兴发展规划曝光 
中国大陆官方正在拟定的新能源产业振兴发 
展规画(草案)指出,至2020年新能源发电占电力 
总装机容量的比重将达15%,其中,太阳能发电、 
核能发电、风力发电的装机容量将分别达2 000 
万kW、8 600万kW、1.5亿KW,其中太阳能发电 
的装机容量目标较先前大陆官方提出的规画目标 
高出甚多。 

另草案中捉到,2011年太阳能发电、核能发 
电、风力发电的装机容量规模将分别达200万kW、 
1 200万kw、3 500万kW。先前大陆官方提出的” 
可再生能源中长期发展规画”中提到,10年后太阳 
能产业的装机容量目标为180万kW,若新规画 
的装机容量目标确定,等于2年前旧规画的1l倍 
左右。 
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电子工业专用i殳备 
对此,江苏省光伏协会秘书长魏启东表示:能否 
达成规画目标,要看大陆太阳能电价多寡而定。若订 
为每千瓦人民币1.2元时,地方政府需再做部分补 
贴;若电价为每千瓦人民币1.5元时,目标将更容易 
达到。 
据悉,2009年江苏产出的太阳能电池约达 
200万kW,占全大陆太阳能电池产能的一半左 右,也已达成预计于2011年达成的200万kW目 标。预估至2011年全大陆太阳能电池产量将达 500万kW。 ・行业快讯・ 至于风力发电部分,市场人士预测,2011年达 成3 500万千瓦目标应该不成问题,因2008年大 陆风力发电装机容量已达1 200万kw,年增1 000 万千瓦的速度是合理的。 核能发电方面,先前官方提出的2020年规划 是4 000万kW,而新的规划其规模将增为8 600万 kW。不过,此目标值似乎还有待评估,因目前大陆 
国家发改委副主任暨国家能源局局长张国宝曾经 
对外表示,目前大陆正在研究是否需调修2020年 
核电发电装机容量达4 000万kW的目标。 

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半导体设备行业:全面走出阴影 

l0月是收获的季节,对全球半导体设备行业来 
说,这句话同样适用。经历了全球经济危机后,各大 设备公司10—1 1月公布的季度报表开始全面飘红。 AppliedMaterials1 1月1 1日公布的2009年第4 季财报显示公司己扭亏为盈,净收入实现1|38亿美 元,而上季亏损为5 500万美元。其Q4销售额为15-3 亿美元,其中半导体设备销售占6.56亿美元,公司同 时己收到了6.29亿美元的半导体设备新订单。 ASML总裁兼CEOEricMeurice更是喜不自胜, 因为在10月14日公布的2009年O3数字显示, ASMLQ3的销售额较Q2上升了一倍,从Q2的2。77 亿欧元上升到了5.55亿欧元。净收入为2000万欧元, 而上季亏损为1.04亿欧元。首台最新的1950i系统己 发送到用户,实现了30nm以下的线宽尺寸。笔者10 月初参观ASML的CleanRoom时,更是曾亲身感受 到工程师紧张调试充满每一个隔问的光刻机的现场。 Foundry客户的需求也带动了KLA--Tencor01 年O1的销售。l0月29日公布的财报显示,公司较 上季也实现了扭亏为盈。 l0月30日,TEL发布的2010年Q2的财报也 显示,公司的销售额与净收入都开始止跌反弹。 3壁 定 蛙竖 。 随着TSMC22。408亿美元设备投资计划的出 台,以及随后更多fab的跟进,相信众多设备公司 
将进一步走出危机的阴影,迎来行业的全面复苏。 
受金融危机的影响在半导体产业链中,由于设 
备业与资金链紧密相关,所以损伤尤为严重。 
从表面上看设备厂的业绩下降甚多,裁员也最 
迅速与数量众多,但是由于现存的设备厂都是经过 
激烈竞争而最终能够生存下来的,所以都不是等闲 
之辈及具有一定的特长。相信在渡过此关之后,大 
部分设备厂会再次迅速站起。 
因此,由于半导体业已逐渐逼近摩尔定律的终 
点,在尺寸缩小上可能还有2—3个节点可以继续往 
下走,以及其它的工艺正等待着材料的革命,所以 
总的设备市场需求已不可能如之前那样大幅的振 
荡,所以预估目前设备业的格局暂时还不会有大的 
变动。即便未来的450 mm硅片到来,因为初期客 
户全球只有3—4家,也不会引起太大的改变。 
全球半导体设备销售额由2007年的450亿美 
元,至2008年下降32%的306亿美元及2009年可 
能再下降46%的166亿美元。但是2010年估计会 
有30%以上的增长。 

2010年台湾MEMS市场步入起飞期 
全球第1大MEMS设备大厂表面技术系统 
STS(Surface Technology System)全球事业发展部副 
总裁David Haynes表示:2010年中国台湾市场将 

较2009年出现双倍成长,原因来自2009年研发产