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能量色散X射线荧光光谱仪的现状

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理代仪嚣（ｗｗｗ．ｍｏｄｅｒｎｉｎｓｔｒｓ．ｏｒｇ．ｃｎ）　

引言　能量色散×射线荧光光谱仪的现状　

张林艳戴挺　

（东南大学材料科学与工程系南京２１　１１　８９）　

摘要能量色散ｘ射线荧光光谱分析以其快速、对试样无损、可以同时测定多种元素　

等优点，在许多领域中发挥巨大的作用。本文介绍能量色散ｘ射线荧光光谱仪的原理和　

构造，并就目前仪器的研究现状和应用现状做介绍，指出ｘ射线荧光分析技术的良好前　

景及进一步研究该仪器的必要性。　

关键词　光谱分析　能量色散ｘ射线荧光光谱仪ｘ射线荧光　分析技术　

自１９６９年研制成功第一台能量色散ｘ射线荧　

光（ＥＤＸＲＦ）光谱仪以来，随着电子技术和计算　

机的飞速发展，ｘ射线荧光分析技术及其计算机软　

件的不断开发，使得ＥＤＸＲＦ光谱仪发展逐步完善，　

无论是硬件还是软件的开发与波长色散Ｘ射线荧　

光（ＷＤＸＲＦ）光谱仪基本同步。　

由于能量色散Ｘ射线荧光分析法的最大优点　

是可以同时测定样品中几乎所有的元素，并具有分　

析速度快、准确度高、重现性好、对试样无损坏、　

不污染环境及低耗等优点，广泛用于地质、冶金、　

化工、材料、石油、医疗、考古等诸多领域，特别　

是在现场或在线分析中能实时获取多种数据的特　

点，能量色散ｘ射线荧光光谱仪已成为一种强有　

力的定性和精确定量的分析测试技术。　

１原理及构造　

１．１　原理　

１。１．１　ｘ射线荧光的产生　当能量高于原子内层　

电子结合能的高能ｘ射线光子与原子发生碰撞时，　

驱逐一个内层电子而出现一个空位，使整个原子体　

系处于不稳定的激发态。激发态原子寿命约为１０。　～　

１０。　Ｓ，将自发地由能量高的状态跃迁到低的状态，　

这个过程称为弛豫过程（见图１）。　

图１　ｘ射线荧光及俄歇电子产生过程示意图　弛豫过程既可以是非辐射跃迁，也可以是辐射　跃迁。当较外层电子跃人空位时，所释放的能量随　

即在原子内部被吸收而逐出较外层的另一个次级光　

电子（即俄歇电子），发生非辐射跃迁。当较外层　

电子跃入内层空位所释放的能量不在原子内被吸　

收，而以辐射形式放出，便产生ｘ射线荧光，其　

能量等于两能级之间的能量差。电子跃迁遵守选择　

定则，角量子数相差±１的电子跃迁都是允许的。　

由其它激发态跃人Ｋ层空位的辐射产生Ｋ系辐射，　

同理依次可得出Ｌ系辐射（见图２）。　

图２　产生Ｋ系和Ｌ系辐射示意图　根据Ｍｏｓｅｌｅｙ定律，荧光ｘ射线的波长　与　

元素的原子序数ｚ有关，关系式为　

＝Ｋ（Ｚ－ｓ）　（１）　

其中，Ｋ和ｓ是常数。并结合光子能量计算公式　

Ｅ＝ｈｖ＝ｈＣ／２　（２）　

其中，Ｅ为ｘ射线光子的能量，ｈ为普朗克常数，　

为光波的频率，Ｃ为光速。可知，只要测出荧光　

ｘ射线的波长或能量，就可以知道元素的种类，并　

且荧光Ｘ射线的强度与元素的含量有一定的关系，　

从而可以用来对元素进行定性和定量分析。　

１．１．２　ＥＤＸＲＦ分析原理能量色散ｘ射线荧光　

光谱仪利用ｘ射线荧光具有不同能量的特点，不　

使用分光晶体，而是依靠半导体探测器来实现。当　

一次ｘ射线的波长大于受激元素的吸收线时，其　

能量不能使受激元素激发，因而，只有当一次ｘ　

射线的波长短于受激元素的吸收线时，才能有效激　

发ｘ射线荧光。能量色散ｘ射线荧光光谱仪的工　仪器评介　

作原理¨］：用ｘ射线管产生的原级ｘ射线照射到　

样品上，所产生的特征ｘ射线（荧光）直接进入　

探测器，便可以据此进行定性和定量分析。可以通　

过探测元素特征ｘ射线并识别其能量（每种元素　

的特征ｘ射线都具有特定的能量），来识别出被测　

样品中含有哪些元素；而具有某种能量的ｘ射线　

强度的大小，是与被测样品中能发射该能量的荧光　

ｘ射线的元素含量多少有直接联系，测量这些谱线　

的强度，并进行相应的数据处理和计算，就可以得　

出被测样品中各种元素的含量。　

１．２构造　

能量色散ｘ射线荧光光谱仪主要由激发源、　

探测器、放大器、多道脉冲幅度分析器（ＭＣＡ）　

等构成。　

１．２．１　激发源能量色散ｘ射线荧光光谱仪所　

用激发源除ｘ射线管外，还有放射性核素源，同　

步辐射光源和质子也是常用的光源。在１９５５年，　ＬｅｖｅｑｕｅＩ２　用ｐ射线激发试样，测定金镀层的厚度，　

开创采用放射性核素源作为激发源的能量色散ｘ　

荧光分析之先河。尽管放射性核素源具有良好的物　

理和化学稳定性，射线能量单一、稳定，不受其他　

电磁辐射影响等优点，但是其缺点也是不容忽视的，　

如：射线能量固定、无法根据现场工作的特点和要　

求调节其照射强度，从而直接制约着系统的检出限。　

放射性核素源主要用于现场或在线分析，而经常用　

的仍是ｘ射线管，可以通过调节ｘ射线管的电压　

和电流，结合使用滤光片的技术，能有效地选择激　

发更多的元素，提高分析灵敏度和准确性。能量色　

散ｘ射线荧光光谱仪由于去掉色散系统，探测器　

离样品很近，接受辐射的立体角增大，因此使用小　

功率的ｘ射线管。　

随着能量色散Ｘ射线荧光光谱仪的小型化，　

因而刺激小型ｘ射线管的发展。同时，也使放射　

性核素源得到广泛应用，使ＥＤＸＲＦ在现场分析时　

轻便、灵活。　

１．２．２探测器探测器是能量色散ｘ射线荧光光　

谱仪的核心器件，ｘ射线荧光光量子通过探测器转　

变为一定形状和数量的电脉冲，表征ｘ射线荧光　

的能量和强度。常见的探测器有正比计数器、闪烁　

计数器和半导体计数器，实验室用能量色散谱仪主　

要使用以Ｓｉ（Ｌｉ）半导体探测器为代表的固体半导体　

探测器；台式能量色散谱仪使用Ｓｉ—ＰＩＮ和ＨｇＩ　探　

测器，通过电致冷方法，在常温下工作；而便携式　

则主要使用封闭式正比计数器和Ｓｉ．ＰＩＮ探测器　】，　Ｓｉ．ＰＩＮ探测器给从事ｘ射线分析研究的工作者带　

来极大的兴趣　】。探测器的高分辨率是提高能量色　

散ｘ射线荧光光谱仪的性能的根本保证。　

目前，探测器的研究不断发展，对于高分辨率　

探测器，不仅限于Ｓｉ（Ｌｉ）探测器，现在还开发出　

Ｇｅ探测器＿５］，工作时采用液态氮或电致冷。美国　

Ａｍｐｔｅｋ公司生产的ＸＲ．１００型Ｓｉ—ＰＩＮ电致冷半导　

体探测器，电致冷功耗仅１Ｗ　Ｊ。超导探测器也是　

近几年的热门研究领域。　

１．２．３放大器在测量中，需要通过放大器进行线　

性放大再测量，前置放大器是制约探测器性能的一　

个主要因素。前置放大器将信号放大和成型为模一　

数转换数字电路可接受的形式，根据探测器输出信　

号成形方式的特点分类，前置放大器可分为电压灵　

敏前置放大器、电流灵敏前置放大器和电荷灵敏前　

置放大器。由于电荷灵敏前置放大器输出信号的幅　

度基本上不受探测器极间电容、放大器开环时输入　

电容和电压增益等参数稳定性的影响，目前高分辨　

率能谱测量系统中一般都使用电荷灵敏前置放大器。　

而主放大器功能是将脉冲信号幅度放大，要求　

输出端得到的信号幅度严格与输入端信号幅度成正　

比。Ａｍｐｔｅｋ公司生产与ＸＲ－１００型Ｓｉ—ＰＩＮ电致冷　

半导体探测器相匹配的脉冲信号放大器一ＰＸ２ＣＲ型　

主放大器［６］，为ＥＤＸＲＦ谱仪优化起很大的作用。　

１．２．４多道脉冲幅度分析器能量色散ｘ射线荧　

光光谱仪使用的多道脉冲幅度分析器是一种基于模　

数转换和计算机存储原理而工作的装置，它将模拟　

脉冲信号按脉冲幅度进行数字量化后转变为数字信　

号，是ＥＤＸＲＦ重要的组成部分，近年来，也有学　

者对其进行研究，并取得一定的成就。　

２仪器研究现状　

能量色散ｘ射线荧光光谱仪可分为具有高分　

辨率的光谱仪、分辨率较低的便携式谱仪和介于两　

者之间的台式光谱仪。随着能量色散ｘ射线荧光　

光谱仪功能的逐渐完善，应用领域不断拓宽，其优　

越性已被越来越多的人所认识，因此，ＥＤＸＲＦ仪　

器的研制取得重大的发展。　

国外ＥＤＸＲＦ仪器的研制在飞速发展，岛津　

公司　在成功推出能量色散型ＥＤＸ（测定区域　

为毫米级）系列仪器后，又开发微区能量色散型　

ＥＤＸ（测定区域为微米级）系列仪器，采用集　

束毛细管技术，代替传统用准直器的方式控制Ｘ　

射线的照射面，提高照射面的Ｘ射线强度、分析　现代仪嚣（ｗｗｗ．ｍｏｄｅｒｎｉｎｓｔｒｓ．ｏｒｇ．ｃｎ）　

的灵敏度、在大气氛围下进行轻元素分析的实用性　

以及空间分辨率和微区分析能力；并采用移动探　

测器和自动聚焦的调整方式，可以将探测器移动　

到距检测部位１．５ｍｍ的位置进行检测，在大气的　

氛围下进行轻元素的分析，方便快捷，免除抽真　

空带来的不便，降低荧光ｘ射线在空气中的吸收　

率；在分析时加入液氮降温进行分析，不进行分析　

时探测器可以在常温下保存。德国布鲁克ＡＸＳ有　

限公司　研制的Ｓ２一ＲＡＮＧＥＲ能量色散ｘ射线荧　

光光谱仪，不需要氮冷却，可进行Ｎａ．Ｕ之间的全　

元素分析。德国斯派克分析仪器公司的ＳＰＥＣＴＲＯ　

ＰＨＯＥＮＩＸ　ｒ１分析仪，便于对液体、固体、粉料、　

糊状物、浆料、薄膜、涂层以及许多其他材料等进　

行非破坏性的、定量和定性分析。每个校正模型可　

同时全自动地测量近６种元素。帕纳科公司生产的　

ＭｉｎｉＰａｌ能量色散ｘ射线光谱仪（ＥＤＸＲＦ）是一种　

小型台式元素分析仪，它以ｘ光管为激发源，采　

用电冷式硅针或硅漂移固体探测器，其中尤以第４　

代的ＭｉｎｉＰａｌ　４型的性能更为突出，其最高能量分　

辨率达到１４５ｅＶ，是目前世界上无需使用液氮的最　

高分辨率的能谱仪器，它使用方便、结构精巧，可　

以执行多种材料高效率的元素分析。美国ＡＳＯＭＡ　

仪器公司【９Ｊ开发台式能量色散ｘ射线荧光仪，其　

特点是不需要样品制备，１００ｓ内即可得到从Ｎａ～ｕ　

的各种元素的分析结果。此外，英国ＯＸＦＯＲ研制　

ＥＤ一２０００、牛津公司的Ｌａｂ—Ｘ３０００能量色散ｘ射　

线荧光分析仪、瑞士Ｋｅｖｅｘ开发ＥＤＸ一７７１、美国　

ＥＤＡＸ研制ＤＸ一９５、英国帕纳科推出Ｅｐｓｉｌｏｎ５等　能量色散ｘ射线荧光光谱仪［５］。　

尽管国内对能量色散ｘ射线荧光光谱仪的研　

制起步较晚，但是经过几十年的发展，国内许多　

工作者不断进行着ＥＤＸＲＦ仪器的研制，并不断对　

其进行改进和完善，能量色散Ｘ射线荧光分析已　

相当成熟。成都理工大学在１９７４年研制成功便携　

式ＥＤＸＲＦ分析仪之后，不断研制出更加先进的　

ＥＤＸＲＦ分析仪。其中，吴允平等口　研制便携式能　

量色散ｘ射线荧光分析仪，采用管激发ｘ射线作为　

激发源，研制小型低功率ｘ光管和相应的高压电路，　

Ｘ光管的照射率比放射性核素源提高一个数量级，　

克服放射性核素源源能量单一、不可调节的不足之　

处，改善仪器的分析检出限，并研制基于８９Ｃ５２单　

片机的多道幅度分析器，能自适应信号脉冲的变化，　

提高仪器的能量分辨率；ＥＤＸＲＦ．１０２４便携式高精　

度ｘ荧光分析仪【ｌ川的研制，采用２３８Ｐｕ和２４１Ａｍ　

５２　两种同位素源，通过特有的转换源机构，使两种源　

可以同时激发或用其中一个源激发不同原子序数区　

间的元素，并采用美国Ａｍｐｔｅｋ公司研制的Ｓｉ—ＰＩＮ　

半导体探测器，双点源一中心探测器的几何布置，　

满足野外和现场元素分析的需求，可投入冶金、地　

质、建筑等多领域的应用；成都理工大学还研制出　

新一代手提式高灵敏度ｘ射线荧光仪，在国内首次　

将高能量分辨率的电致冷Ｓｉ—ＰＩＮ半导体探测器应用　

于手提式ｘ射线荧光分析仪，从而实现在野外现场　

一次测量可同时分析８种以上元素的含量，甚至多　

达２０余种元素的分析。此外，吴继宗等…　研制石　

墨晶体预衍射ｘ射线荧光分析系统，克服能量色散　

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x射线荧光光谱仪 测镀层厚度

x射线荧光光谱仪 测镀层厚度

射线荧光光谱仪 测镀层厚度

X射线荧光光谱仪（XRF）是一种分析仪器，用于测量材料中元素的种类和含量。在测镀层厚度方面，X射线荧光光谱仪具有一定的局限性，因为镀层厚度测量会受到多种因素的影响，如镀层成分、厚度范围、样品形状等。然而，通过合适的测量方法和参数设置，XRF可以用于镀层厚度的初步估算。

要使用X射线荧光光谱仪测量镀层厚度，需要注意以下几点：

1. 选择合适的仪器：根据测量需求，选择波长色散（WD-XRF）或能量色散（ED-XRF）X射线荧光光谱仪。WD-XRF在元素分析方面具有较高的分辨率，而ED-XRF在镀层厚度测量方面具有较好的灵敏度。

2. 制备样品：确保样品表面清洁、平整，无明显的凹凸不平。样品厚度应尽量均匀，以减少测量误差。对于不同厚度的镀层，可以采用多次测量后取平均值的方法提高准确性。

3. 设置测量参数：根据镀层成分和厚度范围，调整X射线荧光光谱仪的测量参数，如射线能量、束流、探测器灵敏度等。合适的参数设置有助于提高测量结果的准确性。

4. 数据处理：测量得到的原始数据可能包含基体和镀层的信号，需要通过数据处理软件进行分离和校正。通常情况下，XRF测量结果会受到基体效应、化学计量误差等因素的影响，需要进行相应的校正。

5. 计算镀层厚度：根据测量得到的元素含量和已知镀层成分，可以通过合适的计算方法（如康普顿散射法、掠入射法等）估算镀层厚度。

需要注意的是，X射线荧光光谱仪在测量镀层厚度方面具有一定的局限性，对于非常薄或成分复杂的镀层，测量结果可能存在误差。在这种情况下，可以考虑采用其他方法（如原子力显微镜、扫描电子显微镜等）进行精确测量。

2024 植物样品中砷、镉、铬、铜、镍、铅、锌的测定 能量色散X射线荧光光谱法

2024 植物样品中砷、镉、铬、铜、镍、铅、锌的测定 能量色散X射线荧光光谱法

DB32/T 4843—2024植物样品中砷、镉、铬、铜、镍、铅、锌的测定　能量色散X射线荧光光谱法警示——使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。1 范围本文件规定了植物样品中砷、镉、铬、铜、镍、铅、锌的能量色散X射线荧光光谱测定方法。本文件适用于植物样品中砷、镉、铬、铜、镍、铅、锌的测定。本方法检出限、定量限及线性范围见附录A。2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB 5009.3　食品安全国家标准　食品中水分的测定NY/T 398　农、畜、水产品污染监测技术规范3 术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1 基本参数法 fundamental parameter method用基本参数库数学模型对原级入射X射线光谱分布、X射线与物质相互作用（包括质量吸收系数、荧光产额、谱线分数、吸收突变比、散射等）、仪器光路因子等进行理论计算，得到计算谱，用迭代算法将计算谱与探测器采集迭代至所要求的精度，得到试样中元素含量的理论计算方法。3.2 全谱图拟合 full spectrum fitting利用数学模型逐点比较各谱线强度的计算值和实测值，用最小二乘法计算调整量，使计算强度与实测强度符合的过程。4 原理X射线管产生的初级X射线照射样品后，样品中元素被激发产生特征X射线荧光，直接进入检测器，检测器将未色散的X射线荧光按光子能量分离X射线光谱线，不同元素具有若干特征X射线，用全谱图拟合或特定峰面积积分的方式获取待测元素的特征X射线荧光强度，荧光强度经校正后与元素含量成正比。1DB32/T 4843—20245 干扰和消除5.1 基体干扰存在基体干扰时，采用基本参数法对X射线荧光的基体效应、谱线分数进行理论计算，将计算谱与探测器实测谱迭代拟合，减小基体效应影响。各目标元素分析谱线见附录B。5.2 光谱干扰存在光谱干扰时，采用全谱图拟合方法对重叠谱峰进行解析，扣除干扰峰的影响，得到目标元素特征谱峰强度。各目标元素常见谱线干扰见附录B。5.3 颗粒效应消除试样与标样粒度应保持一致，以消除颗粒效应。6 试剂和材料6.1 低压聚乙烯塑料环：尺寸与仪器的样品座直径相匹配。6.2 标准样品：生物成分分析标准物质，含所测7种元素且有一定浓度梯度范围的市售有证标准物质。6.3 能量色散X射线荧光光谱仪（EDXRF）专用样品膜：麦拉膜。7 仪器和设备7.1 能量色散X射线荧光光谱仪：分辨率≤135 eV（以Mn：Kα为基准），功率≥12 W。7.2 粉末压片机：最大压力≥25 MPa。7.3　高速粉碎机：转速范围6 000 r/min~20 000 r/min，刀头及内腔壁不应含有待测元素。7.4 电子天平：精度0.1 g。8 样品8.1 样品采集、保存和预处理样品按照NY/T 398要求进行样品采集、保存和预处理。8.2 试样制备称取2 g试样（8.1），精确至0.1 g，均匀放入低压聚乙烯塑料环（6.1）中，用样品膜（6.3）衬底，置于粉末压片机（7.2）上，升压至制片压力15 MPa，停留20 s，减压取出，制成厚度≥4 mm的样片。8.3 水分含量的测定按照GB 5009.3规定的方法测定试样水分含量。9 分析步骤9.1 仪器条件根据仪器操作手册，选择合适的测量条件建立方法。需优化的主要测量参数有：特征谱线及测量时2DB32/T 4843—2024间、X光管电压及电流、干扰元素及其干扰系数等。仪器测量参数示例见附录C。9.2 校准曲线按照试样制备（8.2）相同步骤，将标准样品（6.2）压制成薄片，将样片上机进行测定分析。根据所用仪器提供的线性回归校正模型和程序对标准样品的含量和强度进行回归分析，建立校准曲线。所有待测元素校准曲线应选择不少于6个不同质量分数梯度的标准样品（6.2），线性相关系数应大于或等于0.99。9.3 测定按照校准曲线（9.2）相同条件分析待测试样（8.2），由所用仪器校准曲线计算试样中各元素的含量。10 结果计算与表示10.1 结果计算待测元素含量以质量分数wi 计，数值以毫克每千克（mg/kg）表示，按式（1）计算。wi=wEi1-f…………………………（ 1 ）式中：wEi——待测元素仪器测定值，单位为毫克每千克（mg/kg）；f——试样水分含量，以%表示。10.2 结果表示测定结果最多保留3位有效数字，小数点后位数与检出限保持一致。11 精密度和正确度11.1 精密度8家实验室对统一提供的5种不同类型、不同含量水平的植物样品进行了4次重复测定，精密度汇总数据见附录D。11.2 正确度8家实验室对统一提供的2种不同类型、不同含量水平的国家有证标准物质样品进行了4次重复测定，正确度汇总数据见附录D。12 质量保证和质量控制12.1 重复性测定结果的最大允许相对偏差见表1。

牛津仪器 Lab-X3500 能量色散 X 射线荧光光谱仪 使用手册说明书

牛津仪器 Lab-X3500 能量色散 X 射线荧光光谱仪 使用手册说明书

专注仪器 上海旭风科学仪器有限公司

X射线荧光光谱仪

X射线硫含量试验仪

Lab-X3500SCl

GB/T 17040

ASTM D4294、D6445、D6481

X 射线荧光 (XRF) 仪器的工作原理是将样品通过X荧光射线进行激发，样品吸收 X 射

线能量，进入激发状态，然后发射出二次 X 射线。每个化学元素发射出的 X 射线都有其特

有的能量。通过测量由此发射的 X 射线强度和特征能量，一台 X 射线荧光光谱仪 (XRF) 能

够对被测材料的物质成分进行定性和定量分析。

牛津仪器 (Oxford Instruments) 所提供的全套产品系列包括手持式和台式 X 射线荧

光光谱仪。

X-MET 型手持式 X 射线荧光光谱仪专为材料可靠性鉴定、合金分析和鉴定及有害物质分

析（RoHS 指令）而设计。这些光谱仪也可用于分析污染土地和矿物中含有的重金属。

X-Supreme8000、Lab-X 和 MDX1000 XRF 实验室分析仪可供各种常规化学分析，应用范

围广泛。从成品油中的硫到石灰岩分析均可使用，我们可根据客户的需求提供最优化的解决

方案。

利用 XRF 技术分析样品具有很多优势，例如：只需少量或无需样品制备，快速无损分析，

操作简单，可由生产人员操作，不会产生有害的化学物质，浓度范围从 ppm 到 % ，元素分

析范围由元素周期表中的钠到铀。

分析的样品种类有：固体、液体、粉末、糊状物、油脂、薄膜等。

Lab-X3500：移动式和实验室型的能量色散型 X 射线荧光光谱仪

MDX1000：结合波长色散和能量色散技术的 X 射线荧光光谱仪，配有可选的 72 位自动样品器

X-Supreme8000：带有多样品杯操作台的实验式型 X 射线荧光光谱仪

上海旭风科学仪器有限公司 上海市闸北区万荣路388弄17号904室 200072 021-66581985 Fax 专注仪器 上海旭风科学仪器有限公司

XRF测试

XRF测试

XRF测试若干问题：

XRF中文称为X射线荧光光谱仪，它包括能量色散型X射线荧光光谱仪（EDXRF）和波长色散型X射线荧光光谱仪(WDXRF)，WDXRF在精度和准确度方面要比EDXRF好，价格也较高。目前市场上使用较多的是EDXRF。无论是哪种X射线荧光光谱仪，它都是利用荧光散射的原理探测样品中是否存在某种元素，所以具有方便、快捷、不破坏样品、省时省事的优点，非常适用于大批量原材料的验货分析。但它存在下述问题：

第一，XRF只能进行元素分析，而不能进行价态分析。即它的分析结果包括所有价态的元素总量。例如Cr的分析，它分辨不出材料中Cr是以金属Cr、三价铬还是六价铬的形式存在，只能给出总铬的含量。

第二，XRF受基体干扰非常严重。即材料的组成成分对结果影响很大。一般来说对单纯的材料，如PP、PE、PS、高纯度的金属等，XRF测试结果的误差范围为±30％甚至更低；对复合材料，如PC+ABS、PS+PE、各种合金（含量大于1％的元素超过2种），XRF测试结果的误差范围为 40～50％，材料越复杂误差越大。所以合金的测试结果误差一般要比复合塑胶的测试结果大。下面以RoHS测试为例，对台式EDXRF测试结果X进行如下解释：

元素 单纯的塑胶材料 单纯的金属材料 复合材料

Cr X＜700ppm，可视为满足要求 X＜700ppm，可视为满足要求 X＜500ppm，可视为满足要求

X＞700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 X＞700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 X＞500ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析

Br X＜300ppm，可视为满足要求 —— X＜250ppm，可视为满足要求

X＞300ppm无法判断是否满足要求 —— X＞250ppm无法判断是否满足要求

Pb X＜700ppm，可视为满足要求 X＜700ppm，可视为满足要求 X＜500ppm，可视为满足要求