【CN210085624U】单晶炉石英坩埚的升降装置【专利】

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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201920585430.2
(22)申请日 2019.04.26
(73)专利权人 徐州晶睿半导体装备科技有限公

地址 221000 江苏省徐州市徐州经济技术
开发区鑫芯路1号
(72)发明人 魏海宁 林希宪 张艳辉 
(74)专利代理机构 北京淮海知识产权代理事务
所(普通合伙) 32205
代理人 华德明
(51)Int.Cl.
C30B 35/00(2006.01)
(54)实用新型名称单晶炉石英坩埚的升降装置(57)摘要本实用新型公开一种单晶炉石英坩埚的升降装置,包括底座,所述底座的上表面中部设有升降机构,升降机构的上端面设有旋转机构,旋转机构的输出轴连接有坩埚,底座的上端面设有螺杆,螺杆的外侧面上端套接有环形定位板,螺杆的外侧面靠近环形定位板的下表面的一端螺纹连接有第二螺母,螺杆的外侧面上端螺纹连接有第一螺母,本单晶炉石英坩埚的升降装置,结构紧凑,操作方便,使用时占用空间小,可以对工作中的坩埚起到很好的减震作用,同时又能对坩埚进行升降调节,通过带头螺柱可以将万向球轴承紧压在坩埚的外表面,方便了坩埚的定位,通过带头螺柱可以对大小不同的坩埚进行卡接定
位。

权利要求书1页 说明书3页 附图2页CN 210085624 U 2020.02.18
C N 210085624
U
权 利 要 求 书1/1页CN 210085624 U
1.一种单晶炉石英坩埚的升降装置,包括底座(3),其特征在于,底座(3)的上表面中部设有升降机构(17),升降机构(17)的上端面设有旋转机构(16),旋转机构(16)的输出轴连接有坩埚(7),底座(3)的上端面设有螺杆(5),螺杆(5)的外侧面上端套接有环形定位板(6),螺杆(5)的外侧面靠近环形定位板(6)的下表面的一端螺纹连接有第二螺母(11),螺杆(5)的外侧面上端螺纹连接有第一螺母(9),第一螺母(9)的下端面与环形定位板(6)的上表面之间设有第一减震弹簧(10),环形定位板(6)的上表面设有定位肋板(2),定位肋板(2)通过设置在其外侧面中部连接有带头螺柱(1),带头螺柱(1)的外侧面靠近坩埚(7)的一端连接有万向球轴承(8)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置,其特征在于,底座(3)的上表面设有安装孔(4),安装孔(4)的数量为三个,三个安装孔(4)均匀分布在底座(3)的上表面。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置,其特征在于,升降机构(17)由液压伸缩杆构成,旋转机构(16)由步进电机构成。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置,其特征在于,螺杆(5)的数量为三个,三个螺杆(5)均匀分布在底座(3)的上表面。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置,其特征在于,旋转机构(16)的下表面与底座(3)的上表面之间设有伸缩杆(12)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置,其特征在于,伸缩杆(12)的数量为三个,三个伸缩杆(12)均匀分布在旋转机构(16)的下表面。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置,其特征在于,底座(3)的上表面靠近螺杆(5)的一端设有第一内螺纹套筒(14),第一内螺纹套筒(14)的内侧面与螺杆(5)的外侧面下端螺纹连接。

8.根据权利要求7所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置,其特征在于,定位肋板(2)的外侧面中部设有第二内螺纹套筒(15),第二内螺纹套筒(15)的内侧面与带头螺柱(1)的完成螺纹连接。

9.根据权利要求7所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置,其特征在于,定位肋板(2)的数量为三个,三个定位肋板(2)均匀分布在环形定位板(6)的上表面。

10.根据权利要求1所述的一种单晶炉石英坩埚的升降装置,其特征在于,旋转机构(16)的动力输出轴与坩埚(7)的下端面采用定位法兰盘(13)固定连接。

2。