静电放电及防护基础知识(标准版)
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•ESD基础知识•ESD标准概述•ESD防护措施与设备•生产现场ESD管理实践目录•检测方法与仪器介绍•总结与展望ESD定义及危害ESD(静电放电)定义ESD危害静电产生原理与特性静电产生原理静电特性人体静电现象及影响人体静电现象人体静电影响国际与国内ESD标准简介国际ESD标准国内ESD标准中国电子技术标准化研究院(CESI)制定的ESD标准,结合国内实际情况,对ESD防护和测试提出了具体要求。
ESD标准分类与内容ESD标准分类包括ESD防护设计、ESD测试方法、ESD防护器件、ESD标识等多个方面。
ESD标准内容涵盖了静电放电的基本概念、静电放电的危害、静电放电的防护措施、静电放电的测试方法等。
静电防护设计静电测试与评估静电防护器件选用静电标识与管理ESD标准在工业生产中应用接地技术等电位连接技术接地电阻要求030201接地与等电位连接技术定期清洁和维护静电消除器;静电消除器原理及使用注意事项0103020405防护服装、鞋帽等个人防护用品选用01020304防护服装鞋帽其他个人防护用品选用原则生产现场静电危害识别与评估静电产生原理及危害阐述静电产生的基本原理,以及静电对电子元器件、设备等造成的潜在危害。
静电敏感器件识别介绍静电敏感器件的标识、分类及特性,以便员工准确识别并采取相应的防护措施。
静电危害评估指导员工如何对生产现场的静电危害进行评估,包括环境湿度、温度、静电电压等因素的测量与分析。
1 2 3ESD防护区域划分ESD防护措施制定ESD管理方案优化制定针对性ESD管理方案员工培训与考核机制建立ESD基础知识培训操作技能培训考核机制建立常见静电检测仪器原理及使用方法静电场强计静电电压表用于测量静电场的强度,即单位距离上的电位差。
使用时需将探头置于被测电场中,并读取仪表上的场强值。
静电衰减仪生产过程中关键参数监控和记录环境湿度和温度生产设备接地情况人员防静电措施不合格品处理流程和追溯机制不合格品标识和隔离发现不合格品时,需及时标识并隔离,防止混入合格品中。
静电放电(ESD)防护简述2015.9.30一、静电的产生静电放电是一种客观的自然现象,产生的方式有:摩擦起电、离子溅射(单一极性)、接触充电、感应或极化,及其他如:剥离,破裂,点解,压电,热电等。
人体自身的动作或其他物体的接触,分离,摩擦或感应等因素,可以产生几千伏甚至上万伏的静电。
静电在多个领域造成严重危害,摩擦起电和人体静电是电子工业中的两大危害。
1、摩擦起电哪里有移动,哪里就有静电。
人的走动,物料周转,甚至是空气、水流动,都会产生摩擦静电。
当液体、固体和气体颗粒接触又分离,起电量受“接触紧密度”,“分离速度”,“摩擦运2、接触充电带电物体通过接触将电荷传导给未带电物体。
带电绝缘体仅能从较小面积释放电荷,而带电导体能释放大量电荷给另一导体。
二、静电放电模型因ESD产生的原因及其对集成电路放电的方式不同,经过统计,ESD放电模型分四类:人体放电模式、机器放电模式、组件充电模式、电场感应模式。
1、人体放电模式(Human-Body Model,HBM)人体放电模式(HBM)的ESD是指因人体在地上走动摩擦或其它因素在人体上已累积了静电,当此人去触碰到IC时,人体上的静电便会经由IC的脚(pin)而进入IC内,再经由IC放电到地去。
此放电的过程会在短到几百毫秒(ns)的时间内产生数安培的瞬间放电电流。
此电流会把IC内的组件给烧毁,对于一般商用IC的2-KV ESD放电电压而言,其瞬间放电电流的尖峰值大约是1.33A。
有关于HBM的ESD已有工业测试的标准,表是国际电子工业标准(EIA/JEDEC STANDARD)2、机器放电模式(Machine Model,MM)机器放电模式(MM)的ESD是指机器(例如机械手臂)本身累积了静电,当此机器去触碰到IC时,该静电便经由IC的pin放电。
因为机器是金属,其等效电阻为0欧姆,其等效电容为200pF。
由于机器放电模式的等效电阻为0,故其放电的过程更短,在几毫微秒到几十毫微秒之内会有数安培的瞬间放电电流产生。
静电防护基本知识讲解一、静电的基本概念人们对电的认识始于对静电现象的观察。
公元前600年古希腊哲学家在研究磁石的磁性时发现用丝绸、绒布摩擦琥珀之后有类似于磁石能吸引轻小物体的性质,成为有历史记载的第一个静电实验者。
我国西晋张华的《博物志》中也有记载:”今人梳头,解箸衣,有随梳解结,有光者,亦有咤声。
”这里记载头发因摩擦起电发出的闪光和噼啪之声。
静电是相对观察者静止不动的稳定的电荷。
物体所带的电荷有两种,而且只有这两种,称为正电和负电。
静电是物体表面过剩或不足的静止电荷。
静电是正电荷和负电荷在局部范围内失去电平衡的结果。
1、静电的特点1)高电位:设备或人体上的静电电位最高可达数万伏以至数十万伏;在正常操作条件下也常达数万至数千伏。
2)低电量:通常为毫微库仑(10-9C)级。
3)小电流:多为微安(μA、10-6A)级。
4)作用时间短:微秒(μS、10-6S)级。
5)静电受环境条件,特别是湿度的影响比较大。
2、静电放电(ESD)ELECTRONIC STATIC DISCHARGE,静电放电指两个具有不同静电电位的物体,由于直接接触或静电场感应引起的两物体间的静电电荷的转移。
静电危害是由静电放电引起的, ESD防护最根本的是防止静电放电。
二、静电产生的原因1、摩擦带电:由于物体间的摩擦生热,激发电子转移,而使物体带电。
2、接触带电:由于物体间的接触和分离产生电子转移,而使物体带电,当一物体A接触到带电物体B时,其电荷就会直接传导给物体A,达到电平衡状态时,物体A与物体B的电位相等,使物体A带电。
3、电磁感应带电:当一物体接近其他带电的物体时,这些带电的物体的电场作用于这个物体。
静电感应使电荷重新分配。
若该物体对地绝缘,物体静电荷为零,但对地电位不为零,有静电能量,此时物体带电。
4、吸附带电:物体进入带有电荷的水雾或微粒的空间,带有电荷的水雾或微粒会吸附在物体表面上,也会使物体体吸附带电。
三、静电在工业生产中的危害与防护(一)静电的产生在工业生产中是不可避免的,其造成的危害主要可归结为以下两种机理:1、静电放电(ESD)造成的危害:1)引起电子设备的故障或误动作,造成电磁干扰;2)击穿集成电路和精密的电子元件,或者促使元件老化,降低生产成品率;3)高压静电放电造成电击,危及人身安全(二次伤害);4)易燃易爆品或粉尘、油雾的生产场所极易引起爆炸和火灾。
静电防护知识一.术语及定义1. 静电:物体表面过剩或不足的静止的电荷2. 静电场:静电在其周围形成的电场3.静电放电:两个具有不同静电电位的物体,由于直接接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移。
静电电场的能量达到一定程度后,击穿其间介质而进行放电的现象就是静电放电。
ESD是英文Electrostatics Discharge的缩写,即"静电放电"的意思。
4.静电敏感度:元器件所能承受的静电放电电压5.静电敏感器件:对静电放电敏感的器件6.接地:电气连接到能供给或接受大量电荷的物体,如大地,船等.7.中和:利用异性电荷使静电消失8.防静电工作区:配备各种防静电设备和器材,能限制静电电位,具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地二、静电的产生:1.摩擦:在日常生活中,任何两个不同材质的物体接触后再分离,即可产生静电,而产生静电的最普通方法,就是摩擦生电。
材料的绝缘性越好,越容易是使用摩擦生电。
另外,任何两种不同物质的物体接触后再分离,也能产生静电;。
2. 感应:针对导电材料而言,因电子能在它的表面自由流动,如将其置于一电场中,由于同性相斥,异性相吸,正负电子就会转移。
3. 传导:针对导电材料而言,因电子能在它的表面自由流动,如与带电物体接触,将发生电荷转移。
人身日常活动所带的静电下表提供在没有进行防静电治理的生产环境里,电子工厂工作人员日常工作的产生的静电强度和湿度的关系:静电电压(V)人身的活动情形10-20%RH 65-90% RH走过化纤地毯35000 1500拿TEFLON硅片架30000 1200走过塑胶地板12000 250坐椅子上工作的人6000 100翻塑面说明书文件7000 600拿起普通聚乙烯袋20000 1000从垫有聚氨基甲酸泡沫的工18000 1500作椅上站起可见增加环境湿度能降低静电电压。
经试验,人体带静电5万伏时没有不适的感觉,带上8万伏高压静电时依然面带微笑,1 0万伏(最高试验过12万伏)时也没有生命危险!三、静电的危害集成电路元器件的线路缩小,耐压降低,线路面积减小,使得器件耐静电冲击能力的减弱,静电电场(Static Electric Field)和静电电流(ESDcurrent)成为这些高密度元器件的致命杀手。
防静电基础知识培训一、什么是静电静电是在摩擦、接触或分离的过程中,物体之间由于电荷的转移而产生的一种现象。
当物体失去或得到电子时,就会带有正电荷或负电荷,这种带电现象就是静电。
静电可以给人们的生活和工作带来许多麻烦,甚至有些时候会导致触电事故,因此我们必须重视静电的防护工作。
二、静电产生的原因1.摩擦产生静电:当两种不同材料摩擦或接触时,会发生电荷的转移。
2.离子化作用产生静电:例如空气中的离子和尘土,会在运动中带有电荷。
3.静电感应:当带电物体靠近无法导电的物体时,无法导电的物体会被诱发电荷。
三、静电对人们的危害1.对设备的危害:静电会对电子设备、仪器仪表等造成影响,甚至会导致损坏。
2.触电危险:当静电积聚到一定程度时,可能会导致触电事故,对人体造成危害。
3.火灾危险:在易燃气体或液体周围,静电可能会引发火灾或爆炸。
四、静电防护措施1.选择合适的工作服装:避免使用纤维类的衣物,选择导电性能良好的工作服装,有利于释放静电。
2.保持工作环境干燥:湿度越大,导电性越好,因此保持工作环境的相对湿度在40%-60%之间很重要。
3.使用静电排除设备:如使用带有静电消除器、靠垫等设备,有助于及时排除工作中积聚的静电。
4.保持工作场所的清洁:减少积尘和油污,有助于减少静电的产生。
5.静电接地:通过静电接地的方法,将积聚的静电及时释放。
六、静电防护知识培训1.防静电培训内容包括:(1)静电的危害和产生原因。
(2)静电防护措施的推广和培训。
(3)静电防护设备和工作程序的使用方法。
2.培训的目的:通过对员工的防静电知识培训,使员工了解静电产生的危害和防护措施,提高员工的安全意识,减少因静电导致的损失和事故发生。
3.培训的方法:(1)组织专业人员进行现场教学,通过案例分析和实际操作指导,使员工更好地理解静电的危害和防护方法。
(2)定期进行防静电知识考核,评估员工对防静电知识的掌握程度。
(3)不断完善和更新培训内容,使员工学习到最新的防静电知识。
( 安全管理 ) 单 位:______________________ 姓 名:______________________ 日 期:______________________
编号:AQ-SN-0417
静电放电及防护基础知识(标准版)
Safety management is an important part of enterprise production management. The object is the state management and control of all people, objects and environments in production. 电力安全 | Power Safety 电力安全
第 1 页 静电放电及防护基础知识(标准版)
一、术语及定义 1、静电:物体表面过剩或不足的静止的电荷. 2、静电场:静电在其周围形成的电场. 3、静电放电:两个具有不同静电电位的物体,由于直接接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移.静电电场的能量达到一定程度后,击穿其间介质而进行放电的现象就是静电放电. 4、静电敏感度:元器件所能承受的静电放电电压. 5、静电敏感器件:对静电放电敏感的器件. 6、接地:电气连接到能供给或接受大量电荷的物体,如大地、船等. 7、中和:利用异性电荷使静电消失.
说明:安全管理是企业生产管理的重要组成部分,是一门综合性的系统科学。安全管理的对象是生产中一切人、物、环境的状态管理与控制,安全管理是一种动态管理。可以下载修改后或直接打印使用(使用前请详细阅读内容是否合适)。 电力安全 | Power Safety 电力安全
第 2 页 8、防静电工作区:配备各种防静电设备和器材,能限制静电电位,具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地. 二、静电的产生 1、摩擦:在日常生活中,任何两个不同材质的物体接触后再分离,即可产生静电,而产生静电的最普通方法,就是摩擦生电.材料的绝缘性越好,越容易摩擦生电.另外,任何两种不同物质的物体接触后再分离,也能产生静电. 2、感应:针对导电材料而言,因电子能在它的表面自由流动,如将其置于一电场中,由于同性相斥,异性相吸,正负离子就会转移. 3、传导:针对导电材料而言,因电子能在它的表面自由流动,如与带电物体接触,将发生电荷转移. 三、静电对电子工业的影响 集成电路元器件的线路缩小,线路面积减小,耐压降低,使得器件耐静电冲击能力的减弱,静电电场(StaticElectricField)和电力安全 | Power Safety 电力安全
第 3 页 静电电流(ESDcurrent)成为这些高密度元器件的致命杀手.同时大量的塑料制品等高绝缘材料的普遍应用,导致产生静电的机会大增.日常生活中如走动、空气流动、搬运等都能产生静电.人们一般认为只有CMOS类的晶片才对静电敏感,实际上,集成度高的元器件电路都很敏感. A、静电对电子元件的影响: 1)静电吸附灰尘,改变线路间的阻抗,影响产品的功能与寿命. 2)因电场或电流破坏元件的绝缘或导体,使元件不能工作(完全破坏). 3)因瞬间的电场或电流产生的热,使元件受伤,虽能工作,但寿命受损. B、静电损伤的特点: 1、隐蔽性——人体不能直接感知静电,除非发生静电放电;但发生静电放电,人体也不一定能有电击的感觉,这是因为人体感知的静电放电电压为2-3KV. 2、潜伏性——有些电子元器件受到静电损伤后性能没有明显的电力安全 | Power Safety 电力安全
第 4 页 下降,但多次累加放电会给器件造成内伤而形成隐患,而且增加了器件对静电的敏感性,已产生的问题并无任何方法可治愈. 3、随机性——电子元件什么情况下会遭受到静电破坏呢?可以这么说,从一个元件生产后一直到它损坏以前所有的过程都受到静电的威胁,而这些静电的产生也具有随机性.由于静电的产生和放电都是瞬间发生的,极难预测和防护. 4、复杂性——静电放电损伤元件工作,因电子产品的精细,微小的结构特点而费时、费事、费钱,要求较复杂的技术往往需要使用扫描电镜等精密仪器,即使如此有些静电损伤现象也难以与其他原因造成的损伤加以区别,使人误把静电损伤失效当作其它失效,这是对静电放电损害未充分认识之前,常常归咎于早期失效或情况不明的失效,从而不自觉的掩盖了失效的真正原因. 5、严重性——ESD问题表面上看来只影响了制成品的用家,但实际上亦影响了各层次的制造商,如:保用费、维修及公司的声誉等等. 6、静电在工业生产中造成的危害静电的产生在工业生产中是不电力安全 | Power Safety 电力安全
第 5 页 可避免的,其造成的危害主要可归结为以下两种机理: 其一:静电放电(ESD)造成的危害: (1)引起电子设备的故障或误动作,造成电磁干扰. (2)击穿集成电路和精密的电子元件,或者促使元件老化,降低生产成品率. (3)高压静电放电造成电击,危及人身安全. (4)在多易燃易爆品或粉尘、油雾的生产场所极易引起爆炸和火灾. 其二:静电引力(ESA)造成的危害: (1)电子工业:吸附灰尘,造成集成电路和半导体元件的污染,大大降低成品率. (2)胶片和塑料工业:使胶片或薄膜收卷不齐;胶片、CD塑盘沾染灰尘,影响品质. (3)造纸印刷工业:纸张收卷不齐,套印不准,吸污严重,甚至纸张黏结,影响生产. (4)纺织工业:造成根丝飘动、缠花断头、纱线纠结等危害.静电力安全 | Power Safety 电力安全
第 6 页 电的危害有目共睹,现在越来越多的厂家已经开始实施各种程度的防静电措施和工程.但是,要认识到,完善有效的防静电工程要依照不同企业和不同作业对象的实际情况,制定相应的对策.防静电措施应是系统的、全面的,否则,可能会事倍功半,甚至造成破坏性的反作用. 四、ESD的含义及三种型式ESD的含义:ESD是代表英文ElectroStaticDischarge即"静电放电"的意思.ESD是本世纪中期以来形成的以研究静电的产生与衰减、静电放电模型、静电放电效应如电流热(火花)效应(如静电引起的着火与爆炸)及和电磁效应(如电磁干扰)等的学科.近年来随着科学技术的飞速发展、微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂,对静电放电的电磁场效应如电磁干扰(EMI)及电磁兼容性(EMC)问题越来越重视. 1、人体型式——即指当人体活动时身体和衣服之间的摩擦产生摩擦电荷.当人们手持ESD敏感的装置而不先泄放电荷到地,摩擦电荷将会移向ESD敏感的装置而造成损坏. 2、微电子器件带电型式——即指这些ESD敏感的装置,尤其是电力安全 | Power Safety 电力安全
第 7 页 塑料件,当在自动化生产过程中,会产生摩擦电荷,而这些摩擦电荷通过低电阻的线路非常迅速地泄放到高度导电的牢固接地表面,因此造成损坏;或者通过感应使ESD敏感的装置的金属部分带电而造成损坏. 3、场感类型式——即有强电场围绕,这可能来之于塑性材料或人的衣服,会发生电子转化跨过氧化层.若电位差超过氧化层的介电常数,则会产生电弧以破坏氧化层,其结果为短路. 4、其它还有:机器型式、场增强型式、人体金属型式、电容耦合型式、悬浮器件型式. 五、静电防护 1、接地——接地就是直接将静电过一条线的连接泄放到大地,这是防静电措施中最直接最有效的,对于导体通常用接地的方法,如人工带防静电手腕带及工作台面接地等.接地通过以下方法实施: 1)人体通过手腕带接地. 2)人体通过防静电鞋(或鞋带)和防静电地板接地. 3)工作台面接地. 电力安全 | Power Safety 电力安全
第 8 页 4)测试仪器、工具夹、烙铁接地. 5)防静电地板、地垫接地. 6)防静电转运车、箱、架尽可能接地. 7)防静电椅接地. 2、静电屏蔽——静电敏感元件在储存或运输过程中会暴露于有静电的区域中,用静电屏蔽的方法可削弱外界静电对电子元件的影响,最通常的方法是用静电屏蔽袋和防静电周转箱作为保护.另外防静电衣对人体的衣服具有一定的屏蔽作用. 3、离子中和——绝缘体往往易产生静电,对绝缘体静电的消除,用接地方法是无效的,通常采用的方法是离子中和(部分采用屏蔽),即在工作环境中用离子风机等,提供一等电位的工作区域.因此在防静电材料和防静电设施中,均是按这三种方式派生出来的产品,可分为防静电仪表,接地系统类防静电产品,屏蔽类防静电包装,运输及储存防静电材料,中和类静电消除设备,以及其它防静电用品. A、防静电仪表 电力安全 | Power Safety 电力安全
第 9 页 1、手腕带/脚带/防静电鞋综合检测仪——用途:用于检测手腕带、脚带、防静电鞋是否符合要求.测试脚带及防静电鞋时,需增加一块金属板及仪表连接的导线. 2、除静电离子风机检测仪——用途:定期对离子风机平衡度和衰减时间进行检测及校验以确保离子风机工作在安全的指标范围. 3、静电场探测仪——用途:测量静电场以反映静电的存在,以电压形式读数,用来测试环境的静电强度.一般受环境影响和静电瞬间特性,很难真实反映实际情况. 4、静电屏蔽袋测试仪——用途:用于检测静电屏蔽袋的屏蔽效果. 5、表面电阻测量仪——用途:用于测量材料表面电阻、体积电阻. B、接地类防静电产品 1、防静电手腕带:广泛用于各种操作工位,手腕带种类很多,建议一般采用配有1兆欧姆电阻的手腕带,线长应留有一定余量. 2、防静电手表:需要其它防静电措施的补救(如:增设离子风