课程设计报告

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超低功耗加速度测量系统

目录

一、需求分析

二、MEMS国内外现状

三、电路图

四、PCB图

五、芯片介绍

摘要:随着MEMS技术的发展,惯性传感器件在过去的几年中成为最成功,应用最广泛的微机电系统器件之一,在一个系统内部,速度是无法测量的,但却可以测量其加速度。如果初速度已知,就可以通过积分计算出线速度,进而可以计算出直线位移。结合陀螺仪(用来测角速度),就可以对物体进行精确定位。根据这一原理,人们很早就利用加速度计和陀螺进行轮船,飞机和航天器的导航,近年来,人们又把这项技术用于汽车的自动驾驶和导弹的制导。汽车工业的迅速发展又给加速度计找到了新的应用领域,汽车的防撞气囊(Air Bag)就是利用加速度计来控制的。

作为最成熟的惯性传感器应用,现在的MEMS加速度计有非常高的集成度,即传感系统与接口线路集成在一个芯片上。本文将就微加速度计进行初步设计,并对其进行理论分析。

关键字:加速度测量系统 ADXL362 低功耗

MEMS需求分析:

(1)MEMS传感器在汽车产业中的应用

(2)MEMS 运动传感器在移动电话中的应用 (3)光标或游戏机控制

(4)导航

(5)磁盘驱动器保护

(6)MEMS加速度计在鼠标的应用

目前,利用3轴MEMS加速度计开发出的新型应用有:

带有运动检测和状态感知的手机以监视手机所在位置和被使用状况。这种传感器能够提供很多功能,例如更直观的用户界面和延长电池寿命的智能电源管理。

带有硬盘保护系统的笔记本计算机和媒体播放器。随着对便携式设备存储能力要求的增加,测量冲击和跌落事件有助于提高产品的鲁棒性。

可移动游戏机,通过改善当前游戏的界面和开发新的基于运动的游戏而提供更多的互动、直观和趣味的游戏体验。数码相机,通过检测位置、运动和振动而自动地帮助用户更好地拍照。

由于这些新型功能可以使产品更具特色,因而3轴MEMS加速度计也得到便携设备厂商的认同。在价格降低到可以接受的水平后,3轴MEMS加速度计将广泛应用于手机、媒体播放器、视频游戏机、照相机和计算机等产品上,有着巨大的市场潜力。

MEMS加速度计国内外现状:

微机电系统(MEMS)重大专项的定位是重点研究MEMS器件、集成系统、先进制造与测试技术及应用。“十五”期间,专项的工作重点是打基础,通过平台建设,掌握MEMS设计、制造、测试、工艺、装备与系统集成等方面的具有自主知识产权的关键技术,建立我国的MEMS研发体系和产业化基地,同时研究与开发具有创新性的器件与微系统。

目前,专项已突破了若干关键技术,加工能力和成品率得到很大的提高,为国内的MEMS研发提供了良好的服务和平台。围绕医疗、环境、石化等行业,开发出若干小批量、多品种、高质量MEMS器件及微系统。若干MEMS器件和微系统达到实用化水平,开始进入产业化阶段。MEMS加速度传感器、特种压力传感器、人体腔道诊疗微系统、微型血液(生化)检测微系统、气象检测微系统等MEMS器件和微系统取得可喜的进展,基本达到实用化阶段,并积极开展了多种方式的产业化工作。此外,在柔性传感器阵列、微型燃料电池、致冷器、透皮药物释放微系统等方面取得创新研究成果,为MEMS的可持续发展奠定了基础。

针对国际微纳技术发展趋势和我国未来的产业化前景,“十一五”将继续完善我国MEMS制造技术与研发体系,形成MEMS的自主开发与批量制造能力,部分MEMS器件与微系统实现产业化。围绕环境监测、医疗与健康、公共安全快速检测与预警等国家需要,研究开发有自主知识产权的微纳系统设计与制造核心技术、系统集成技术、关键装备和单元产品,提升我国微纳系统自主设计和微纳制造的核心竞争力,并在某些方面进入国际领先水平。

而国外MEMS的技术水平现在已经达到了生产和应用化的程度,大量的传感器公司都投入到MEMS传感器技术的开发和应用领域中(不限于MEMS加速度计),其发展水平的速度远远超乎我们的想象。

电路图:

VS端的0.1 μF陶瓷电容(CS)和VDD I/O端的0.1 μF陶瓷电容(CIO)应尽可能靠近ADXL362放置。建议对电源引脚充分去耦,使加速度计不受电源噪声影响。VS和VDD I/O建议使用不同的电源,从而将VS电源上的数字时钟噪声降至最低。

如果不可行,可能需要对电源进行额外滤波。如果需要进一步去耦,应与VS串联一个不大于100 的电阻或氧化铁磁珠。此外,将VS上的旁路电容增加到1 -F钽电容与0.1 -F陶瓷电容并联,也可以改善噪声。确保ADXL362地到电源地的连接具有低阻抗,因为通过传输的噪声具有与通过VS传输的噪声类似的效应。

ADXL362设计利用1.8 V到3.3 V的电源电压轨供电。如表1所

示,工作电压范围(VS)为1.6 V至3.5 V,此范围考虑了最高达电源电压±10%的不精确性和瞬变。器件工作时,只要断开ADXL362的电源或工作电压降至额定范围以下,电源(VS、VDD I/O和任何旁路电容)就必须完全放电后才能再施加。要使能电源放电,建议从微控制器GPIO为器件供电,将一个关断放电开关连接到电源,或者使用ADP160等具有关断放电特性的稳压器。

PCB图及总结: 在制PCB图过程中遇到了很多困难,所幸在网络和同学的帮助下成功完成,但还是不免有诸多缺失之处,望老师予以指出。

芯片介绍:

ADXL362是一款三轴、超低功耗加速度测量系统,能够测量动态加速度(由运动或冲击导致)和静态加速度(即重力)。传感器的移动元件为多晶硅表面微加工结构(也称为梁),置于硅晶圆顶部。多晶硅弹簧悬挂于晶圆表面的结构之上,提供加速度力量阻力。结构偏转由差分电容进行测量。每个电容均由独立固定板和活动质量块连接板组成。任何加速度均会使梁偏转、差分电容失衡,从而使传感器输出的幅度与加速度成比例。 相敏解调用于确定加速度的幅度和极性。

工作模式:

ADXL362 的三种基本工作模式为待机、测量和唤醒。

待机模式将ADXL362置于待机模式可以暂停测量,并将功耗降至10nA。会保留所有待处理数据或中断,但不会处理新的信息。 ADXL362 以待机模式上电,上电时所有传感器功能均关闭。

测量模式是 ADXL362的正常工作模式。在此模式下,器件会持续读取加速度数据。采用2.0 V电源供电时,在输出数据速率高达400 Hz的整个范围内,该加速度计的功耗都低于3 μA 。在此模式下工作时,可以使用介绍的所有功能。作为超低功耗加速度计, ADXL362能够以12.5Hz(最小值)至400 Hz(最大值)的数据速率持续输出数据,同时功耗仍然低于3 μA。由于能够以所有数据速率针对其传感器的全部带宽持续采样,因此

ADXL362不会出现欠采样和混叠现象。

唤醒模式非常适合以极低功耗(电源电压为2.0 V时功耗为270 nA)简单地检测是否存在运动。唤醒模式在实施运动激活开关时尤其有用,可让系统的其余部分保持关断,直至检测到运动。在唤醒模式下,每秒只进行6次加速度测量,以确定是否存在运动,这样可将功耗降至非常低的水平。在唤醒模式下,除了活动定时器,可以使用加速度计的其它所有功能。可访问所有寄存器,也可从器件中获取实时数据。