半导体制造工艺

半导体生产流程名词

wafer production process

晶圆生产过程

wafer sort process flow

晶圆测试流程

packaging production flow

包装生产流程

final test process flow

最后的测试流程

IC design

集成电路设计

mask shop

光掩模

silicon wafers

硅晶圆

die test and repair

模具测试与维修

Assembly

组装

final test

最后的测试

wafer process step

晶圆处理步骤

bare silicon wafers

（裸露的）光硅晶圆

Process equipment

工作设备

Lithography

微影

Etch

蚀刻

Process name

工序名称

Scanner

扫描仪

Stepper

光刻机

surface preparation and wafer clean

表面准备和晶片清洁

Scrubber

洗涤器

Stripper

脱模机

CMP

化学机械研磨，化学机械抛光Diffusion

扩散，扩压

Ion implant

离子注入

thermal process

热稳定化过程

Chemical station

化学清洗台

Metrology

计量

Thin film

薄膜

Inspection

检查

Mechanical

机械的

level of automation

自动化程度