真空泵使用手册
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真空泵的使用
第一步:打开总电源。将控制架上的总控制器(下图1处)和真空计(下图2处)的电源打开。等待下一步指示。
第二步:关报警音。打开电源后,真空泵控制台会有很响的噪声。这个时候,点击控制台触摸屏上的“报警音”,即可关闭报警声。
第三步:开抽气泵。下图是一个抽气泵,然后把电源线插上。如果电源线插着,就把插座的开关打开,然后气泵就开始压缩空气了。
第四步:开机械泵和前级阀。点击控制器触摸屏上的机械泵和前级阀,将他们点亮。看真空计左边的窗口显示的数字,这个数字显示分子泵里面的真空度(开前级阀是为了抽分子泵里面的空气)。在左边窗口的真空度低于5Pa,这说明真空室内的密封性很好,然后后继续下一步。
第五步:这个时候,可以关上真空室的门。触摸屏上关前级阀,开预抽阀。观察真空计右边的窗口(显示真空室内的气压,一开始可能没有示数,需要抽一会才有示数),将真空室内的气压抽到2pa左右,才能进行下一步。下图是真空室内20pa的大小气压。
第六步:下一步开分子泵。关预抽阀,开前级阀和高阀就可以。打开分子泵电源,点击启动,就就可以开启分子泵了。
第七步:分子泵关闭流程:点停止,直到显示屏中数字并未0,关闭电源。关高阀和前级阀。
整体系统关闭:关闭所有的阀门,开充气阀。充满气后,关抽气泵电源。关总电源。