Michelson干涉型光纤传感器原理

迈克尔逊干涉仪的实验原理1. 迈克尔逊干涉仪的基本概念说到迈克尔逊干涉仪，我们得回到19世纪，那个时候的科学家们真是大有作为。

迈克尔逊，这位不普通的科学家，设计了一个实验装置，结果竟然改写了光的世界观。

简单来说，迈克尔逊干涉仪是用来探测光的波动性质的设备，别看它小小的，背后却藏着大大的科学秘密。

就像是你家里那只看似普通的猫，实则每天都在为你捉老鼠，帮你解决无数烦恼一样。

它的核心思想其实也很简单：光波就像海浪一样，可以相互叠加、相互干涉，从而形成干涉条纹。

你可以把它想象成是在水面上扔了两个石子，波纹就会交织成各种各样的图案。

迈克尔逊干涉仪就是通过这种干涉现象，来测量光的波长，甚至可以测量非常微小的变化，比如说地球的旋转速度，这听起来是不是有点不可思议？2. 实验原理与过程迈克尔逊干涉仪的工作原理其实就像是你在厨房做菜的过程。

首先，你得有两部分的原材料。

干涉仪也是一样，它需要一个光源，这个光源通常是一个稳定的光源，比如激光。

然后，这个光源会照射到一个半透明的镜子上，这个镜子就像是你厨房里的切菜板，它的任务是把光分成两束。

接下来，这两束光就会各自走不同的路，这就像是你在煮汤时，两种不同的调料，各自散发出不同的香味。

当这两束光最终汇合在一个屏幕上时，它们就会像你在面包上涂抹的黄油一样，相互叠加，形成干涉条纹。

这些条纹的形成，就是因为光的波动性质，光的波峰和波谷会相互干涉，从而产生亮条纹和暗条纹。

这种条纹的变化，就像你在晒太阳时看到的光影一样，可以告诉我们很多关于光的信息。

就像是你把两种颜色的颜料混在一起，会出现新的颜色一样，光的干涉条纹也是两束光波相互作用的结果。

3. 实际应用和影响迈克尔逊干涉仪不仅仅是一个有趣的实验装置，它的影响可是非常大的。

你知道吗？这个干涉仪在测量光速方面发挥了巨大的作用，甚至帮助科学家们验证了爱因斯坦的相对论。

就像是你在修理汽车时，一颗小小的螺丝钉可能就能决定整个汽车的性能一样，迈克尔逊干涉仪也在科学的发展中扮演了关键角色。

延时线干涉仪原理
延时线干涉仪（Michelson Interferometer）是一种用于测量光的相位差和波长的仪器，其原理基于干涉现象。

延时线干涉仪的主要组成部分包括一个光源、一个分束器、两个反射镜和一个合束器。

其工作原理如下：
1. 光源：将单色或波长可调的光从光源发出。

2. 分束器：光经过分束器后被分为两束，一束沿直线路径传播，称为参考光；另一束经过一个可调节的延时线（例如移动反射镜）后再被反射回来，称为待测光。

3. 反射镜：参考光和待测光通过两个反射镜返回到分束器。

4. 合束器：参考光和待测光在分束器处再次合并，形成干涉。

5. 干涉图案：由于光的波动性质，参考光和待测光在合束器处进行干涉，产生干涉图案。

这些干涉图案可见为明暗相间的条纹。

6. 相位差：根据干涉图案上的明暗条纹，可以计算出参考光和待测光之间的相位差。

7. 相位差测量：通过调节延时线的位置，使得在干涉图案中达到相邻亮纹和暗纹对应的位置。

通过测量延时线的移动距离，可以计算出光的相位差和波长。

延时线干涉仪的原理基于光的特性和干涉现象，利用光的波动性进行相位差和波长的测量。

它在科学研究、光学测量和精密
仪器等领域具有重要应用。

西安石油大学本科毕业论文题目:光纤Michelson白光干涉传感研究学院：理学院专业：光信息科学与技术班级：光学1001班姓名：宁元波学号：201001040115指导教师：傅海威摘要：光纤传感器以抗电磁干扰能力强、耐高温、耐高压、抗化学腐蚀能力强、轻巧、灵敏度高、损耗低及易于实现分布传感等优势得到了广泛应用，传统光学干涉原理研制出的相位调制型光纤传感器，其突出的优点是灵敏度高，但却只能进行相对测量，即只能用作变化量的测量，而不能用于状态量的测量。

而白光型迈克尔逊干涉仪克服了这一缺点，通过参考臂对信号臂的补偿作用，即可探测由待测物理量引起的光程的变化，从而得知待测量。

本文对光纤白光干涉传感技术的研究现状和背景进行介绍，由于白光干涉技术因其具有的优点在越来越多的行业里得到了广泛的应用，所以白光干涉技术在以后很长时间会处于高速发展阶段。

基于此，文章介绍了光纤白光干涉传感技术，尤其是光纤Michelson白光干涉传感器的原理，及它的各种优点。

在此基础上，设计了几种不同光纤的迈克尔逊白光干涉传感器，本文中所用结构是迈克耳逊干涉仪的传感臂为单模光纤末端熔接一段5mm的多模光纤，而补偿臂为光纤微腔（单模光纤与多模光纤构成的），用该结构测量其折射率并对其进行试验研究。

实验结果表明：液体折射率在1.333-1.402变化范围内，传感器灵敏度为100nm/RIU；温度在20-110℃变化范围内，传感器灵敏度为25pm/℃。

关键字：Michelson白光干涉；白光干涉；折射率；光纤；温度目录第1章绪论-----------------------------------------------------1.1课题背景与意义------------------------------------------------1.2国内外现状-----------------------------------------------------------------1.3光纤白光干涉传感技术----------------------------------------------1.4论文主要内容------------------------------------------------第2章光纤Michelson白光干涉原理------------------------2.1光的干涉条件---------------------------------------------------2.2光纤传感原理及分类应用----------------------------2.3传统迈克耳逊干涉---------------------------------------------------------2.4光纤Michelson白光干涉----------------------------------------------------2.5光纤白光干涉型传感器的优点---------------------------------------第3章传感器的制作----------------------------------------------3.1光纤种类--------------------------------------------------------------3.2单模光纤的传输原理------------3.3光纤耦合器-----------------------------------------------------------3.4光纤的切割与熔接---------------------3.5本实验设计的传感器第4章实验过程与结果----------------------------------------------4.1折射率响应实验------------------------------------------------------------------4.1.1 实验过程---------------------------------4.1.2 实验结果-------------------------------------------------------------------4.2 温度响应实验----------------------------------------------------------------4.2.1实验过程-----------------------------------------------------------4.2.2 实验结果-------------------------------------------------------------第5章总结与展望------------------------------------------------------参考文献第一章绪论1.1 课题背景与意义19世界初，Young用干涉实验证明了光具有波动性，这就是著名的杨氏干涉实验。

实验6—5 迈克尔逊干涉仪的原理与使用一．实验目的（1）.了解迈克尔逊干涉仪的基本构造，学习其调节和使用方法。

（2）.观察各种干涉条纹，加深对薄膜干涉原理的理解。

（3）.学会用迈克尔逊干涉仪测量物理量。

二．实验原理1.迈克尔逊干涉仪光路如图所示，从光源S 发出的光线经半射镜的反射和透射后分为两束光线，一束向上一束向右，向上的光线又经M1 反射回来，向右的光线经补偿板后被反射镜M2反射回来在半反射镜处被再次反射向下，最后两束光线在观察屏上相遇，产生干涉。

2.干涉条纹（1）.点光源照射——非定域干涉如图所示，为非定域干涉的原理图。

点S1是光源相对于M1的虚像，点S2’是光源相对于M2所成的虚像。

则S1、S2`所发出的光线会在观察屏上形成干涉。

当M1和M2相互垂直时，有S1各S2`到点A 的光程差可近似为：i d L cos 2=∆ ①当A 点的光程差满足下式时λk i d L ==∆cos 2 ②A 点为第k 级亮条纹。

由公式②知当i 增大时cosi 减小，则k 也减小，即条纹级数变高，所以中心的干涉条纹的级次是最高的（2）扩展光源照明——定域干涉在点光源之前加一毛玻璃，则形成扩展光源，此时形 成的干涉为定域干涉，定域干涉只有在特定的位置才能看到。

①．M1与M2严格垂直时，这时由于d 是恒定的，条纹只与入射角i 在关，故是等倾干涉②．M1与M2并不严格垂直时，即有一微小夹角，这种干涉为等厚干涉。

当M1与M2夹角很小，且入射角也很小时，光程差可近似为)21(2)2sin 1(2cos 222i d i d i d L -≈-=≈∆③ 在M1与M2`的相交处，d ＝0，应出现直线条纹，称中央条纹。

3.定量测量（1）.长度及波长的测量由公式②可知，在圆心处i=00, cosi=1,这时 λk d L ==∆2 ④从数量上看如d 减小或增大N 个半波长时，光程差L ∆就减小或增大N 个整波长，对应就有N 条条纹缩进中心或冒出。

光纤迈克尔逊干涉仪实验论文摘要：背景（迈克尔逊干涉仪的产生），论述与结论（迈克尔逊干涉仪的原理）， 光纤迈克尔逊干涉仪及其应用），参考文献背景迈克尔逊干涉仪,是1883年美国物理学家迈克尔逊和莫雷合作，为研究“以太”漂移而设计制造出来的精密光学仪器。

它是利用分振幅法产生双光束以实现干涉。

通过调整该干涉仪，可以产生等厚干涉条纹，也可以产生等倾干涉条纹。

主要用于长度和折射率的测量，若观察到干涉条纹移动一条，便是M2的动臂移动量为λ/2，等效于M1与M2之间的空气膜厚度改变λ/2。

在近代物理和近代计量技术中，如在光谱线精细结构的研究和用光波标定标准米尺等实验中都有着重要的应用。

利用该仪器的原理，研制出多种专用干涉仪。

干涉条纹是等光程差点的轨迹，因此，要分析某种干涉产生的图样，必求出相干光的光程差位置分布的函数。

迈克耳孙干涉仪（英文：Michelson interferometer ）是光学干涉仪中最常见的一种。

迈克耳孙干涉仪的原理是一束入射光分为两束后各自被对应的平面镜反射回来，这两束光从而能够发生干涉。

干涉中两束光的不同光程可以通过调节干涉臂长度以及改变介质的折射率来实现，从而能够形成不同的干涉图样。

迈克耳孙和爱德华·威廉姆斯·莫雷使用这种干涉仪于1887年进行了著名的迈克耳孙-莫雷实验，并证实了以太的不存在。

束器，而从上方平面镜反射的那束光要经过三次，这会导致两者光程差的变化。

对于单色光的干涉而言这无所谓，因为这种差异可以通过调节干涉臂长度来补偿；但对于复色光而言由于在介质中不同色光存在色散，这往往需要在右侧平面镜的路径上加一块和分束器同样材料和厚度的补偿板，从而能够消除由这个因素导致的光程差。

如左图所示，在一台标准的迈克耳孙干涉仪中从光源到光检测器之间存在有两条光路：一束光被光学分束器（例如一面半透半反镜）反射后入射到上方的平面镜后反射回分束器，之后透射过分束器被光检测器接收；另一束光透射过分束器后入射到右侧的平面镜，之后反射回分束器后再次被反射到光检测器上。

摘要：迈克尔逊干涉仪,是1883年美国物理学家迈克尔逊和莫雷合作，为研究“以太”漂移而设计制造出来的精密光学仪器。

它是利用分振幅法产生双光束以实现干涉。

通过调整该干涉仪，可以产生等厚干涉条纹，也可以产生等倾干涉条纹。

主要用于长度和折射率的测量。

在近代物理和近代计量技术中，如在光谱线精细结构的研究和用光波标定标准米尺等实验中都有着重要的应用。

利用该仪器的原理，研制出多种专用干涉仪。

关键字：迈克尔逊干涉仪，He-Ne激光器及电源，扩束镜（凸透镜），挡光片一片，升降台，玻璃板，白光光源。

一、迈克尔逊干涉仪工作原理干涉条纹是等光程差点的轨迹，因此，要分析某种干涉产生的图样，必求出相干光的光程差位置分布的函数。

若干涉条纹发生移动，一定是场点对应的光程差发生了变化，引起光程差变化的原因，可能是光线长度L发生变化，或是光路中某段介质的折射率n发生了变化，或是薄膜的厚度e发生了变化。

G2是一面镀上半透半反膜，M1、M2为平面反射镜，M1是固定的，M2和G1精密丝相连，使其可以向前后移动，最小读数为10-4mm，可估计到10-5mm, M1和M2后各有几个小螺丝可调节其方位。

当M2和M1’严格平行时，M2会移动,表现为等倾干涉的圆环形条纹不断从中心“吐出”或向中心“吞进”。

两平面镜之间的“空气间隙”距离增大时，中心就会“吐出”一个个条纹；反之则“吞进”。

M2和M1’不严格平行时，则表现为等厚干涉条纹，在M2移动时，条纹不断移过视场中某一标记位置，M2平移距离 d 与条纹移动数 N 的关系满足。

迈克尔逊干涉仪示意经M2反射的光三次穿过分光板，而经M1反射的光通过分光板只一次。

补偿板的设置是为了消除这种不对称。

在使用单色光源时，可以利用空气光程来补偿，不一定要补偿板；但在复色光源时，由于玻璃和空气的色散不同，补偿板则是不可或缺的。

如果要观察白光的干涉条纹，臂基本上完全对称，也就是两相干光的光程差要非常小，这时候可以看到彩色条纹；假若M1或M2有略微的倾斜，就可以得到等厚的交线处（d=0）的干涉条纹为中心对称的彩色直条纹，中央条纹由于半波损失为暗条纹。

迈克尔干涉实验原理
迈克尔干涉实验是一种利用干涉现象来测量光的波长的实验方法。

其原理是通过在光路中引入一个位移器，将一束光分成两束光，然后通过一个反射器使这两束光回到一起，在屏幕上形成干涉条纹。

当位移器的位置发生改变时，干涉条纹的位置也会发生改变。

根据干涉条纹的移动情况，可以推导出光的波长。

实验中使用的光源可以是单色光或白光，但必须保证光的振动方向相同。

当光通过位移器后，其振动方向会发生改变，因此需要在实验中使用一个偏振片或波片来调整光的方向。

通过调整位移器和偏振片的位置，可以使得两束光的振动方向相同，从而实现干涉。

在观察干涉条纹时，可以使用目镜或相机来记录条纹的位置。

通过对干涉条纹的分析和测量，可以得到光的波长。

同时，还可以通过改变位移器的位置，观察干涉条纹的变化情况，从而研究光的传播规律。

综上所述，迈克尔干涉实验利用干涉现象测量光的波长，通过调整器件的位置和方向，观察干涉条纹的变化，从而推导出光的波长。

一、引言光纤传感由于具有本质安全、电绝缘性好、灵敏度高及便于连网等优点，已在许多物理量的测量中得到应用，特别是基于光纤干涉的传感系统已成为物理量检测中最为精确的系统之一。

光纤干涉仪是一种高精度测量仪器，但存在相位随机漂移及倍频等光学问题。

现有文献报导中，解决的方法是采用相位生成载波技术，调制解调的实现过程复杂，并有可能产生信号波形的失真。

另外，虽有采用压电陶瓷（PZT）的报导，但未见对相位随机漂移及倍频问题的具体解决方法。

为此，本文给出一种简单实用的解决方案，在原理上说明其可行性，并进行了实验验证。

二、Michelson干涉型光纤传感器原理图1所示为Michelson相位调制型光纤干涉仪结构示意图。

由激光器发出的相干光经光隔离器和耦合器后一分为二分别送入2根长度基本相同的单模光纤（即干涉仪的两臂，其一为信号臂，另一参考臂），而后被反射膜反射，在耦合器的输出端发生干涉。

显然，这是一种双光束干涉仪，干涉光的幅度与信号光及参考光的幅度有关，其相位为两臂光相位之差，干涉场光强分布为I=I1+I2+2I1I2cos（Φ）=A+Bcos（Φ）（1）Φ=2nπl/λ（2）式（1）右端是光电转换的信号，I1、I2分别为干涉仪两臂单独存在时的光强，在检测时通常以直流项对待；2I1I2cos（Φ）表示干涉效应，当Φ=2mπ时，为干涉场的极大值，其中m为干涉级次。

式（2）中，Φ为干涉仪两臂光波的相位差，它可以表示为因为环境波动引起的随机漂移信号S和待测信号N之和，由光波波长λ、光纤折射率n以及光纤两臂长度差l共同决定。

在波长一定的情况下，两臂光程差改变nl，就改变了干涉信号的相位差，从而实现传感功能。

干涉光信号由光电转换器（PD）转换为电信号。

通过检测电信号的变化，就得到相应的干涉光信号的相位变化。

三、相位漂移及倍频原因简析由式（1）可见，I随Φ呈余弦变化规律，I～Φ关系曲线如图2所示。

在Φ=2nπ处为最大值（n=0，±1，±2，⋯⋯），而在Φ=（2n+1π处取值最小，而在Φ=nπ+π/2处变化最快，I变化最快即表示此时干涉仪具有最高灵敏度。

迈克尔逊干涉仪原理迈克尔逊干涉仪是一种利用干涉现象来测量光波长、长度和折射率的仪器。

它由美国物理学家阿尔伯特·亨利·迈克尔逊于1881年发明。

迈克尔逊干涉仪的原理基于干涉现象，通过将光波分成两束，再将它们重新合并在一起，观察它们的干涉条纹，从而得到有关光的性质和传播的信息。

迈克尔逊干涉仪的基本原理是利用光的干涉现象来测量光的性质。

光波在空间中传播时，会遇到不同介质的折射、反射等现象，这些现象会导致光波相位的改变。

当两束光波重新相遇时，它们的相位差会引起干涉现象，形成明暗条纹。

通过观察这些条纹的变化，可以得到有关光波波长、长度和折射率等信息。

迈克尔逊干涉仪由一个光源、半透镜、分束镜、反射镜和接收屏等部件组成。

光源发出的光波经过半透镜后，被分成两束光，分别通过分束镜反射到两个反射镜上，然后再返回分束镜处重新合并。

当两束光重新相遇时，它们会产生干涉现象，形成明暗条纹在接收屏上。

通过调节反射镜的位置或改变光源的性质，可以观察到不同的干涉条纹，从而得到有关光的性质和传播的信息。

迈克尔逊干涉仪的原理在科学研究和工程应用中具有重要意义。

它可以用来测量光的波长、长度和折射率，也可以用来研究光的干涉、衍射现象，甚至可以应用于光学仪器的精密测量和校准。

迈克尔逊干涉仪的原理和应用广泛存在于物理学、光学、激光技术、天文学等领域。

总的来说，迈克尔逊干涉仪利用光波的干涉现象来测量光的性质和传播的信息。

它的原理简单而重要，在科学研究和工程应用中有着广泛的应用前景。

通过深入理解迈克尔逊干涉仪的原理和特点，我们可以更好地利用光的干涉现象，推动光学仪器的发展和应用。

光纤传感器的工作原理
光纤传感器是一种基于光学原理工作的传感器。

它采用光纤作为传输介质，利用光纤的折射和反射等特性来探测物理量。

其工作原理可以分为两种类型：
1. 变形型光纤传感器
变形型光纤传感器是根据物理量的变化引起传感器光纤变形的原理来实现信号检测的。

当物理量如温度、力、压力等作用在传感器上时，会使光纤发生形变，从而改变光纤中光的传输方式。

这种变化会导致光信号的强度、相位和波长等发生变化，进而被检测器检测出来，实现对物理量的测量。

2. 干涉型光纤传感器
干涉型光纤传感器是基于干涉原理来实现的。

它依靠光纤中光的干涉现象，测量物理量对光程差的改变，进而得到物理量的参数。

干涉型光纤传感器主要有两种类型，即迈赫尔干涉型光纤传感器和马赫曾德干涉型光纤传感器。

其中，迈赫尔干涉型光纤传感器是基于一条光纤，在光纤中引入光纤衍射光栅，使光线发生干涉现象从而实现对物理量的测量；马赫曾德干涉型光纤传感器则是基于两条光纤，在两条光纤中加入一个反射器，使两条光纤的光线在反射器处相遇，从而形成干涉现象，实现对物理量的测量。

无论是变形型光纤传感器还是干涉型光纤传感器，其工作原理都是利用光纤的特
点来提高测量的精度和灵敏度，从而实现对物理量的高精度、高灵敏度、无干扰的测量。

光纤干涉传感器原理引言：随着科技的不断发展，传感技术已经成为现代工程领域中不可或缺的一部分。

光纤干涉传感器作为一种重要的传感器技术，具有高灵敏度、高分辨率和免受电磁干扰等优势，在工业、医疗、环境监测等领域得到了广泛的应用。

本文将介绍光纤干涉传感器的原理和应用。

一、光纤干涉传感器的基本原理光纤干涉传感器是利用光的干涉现象进行测量的一种传感器。

其基本原理是通过光纤中的光的传输来感知被测量的物理量。

光纤干涉传感器主要由光源、光纤、光纤连接器、光纤分束器和光纤接收器等组成。

1. 光源：光源是光纤干涉传感器的核心部件之一，可以是激光器、LED等。

其作用是提供稳定的光源，保证传感器的测量精度和稳定性。

2. 光纤：光纤是信息传输的通道，可以将光信号传输到被测物体或环境中。

光纤通常由光纤芯、光纤包层和光纤外皮组成，其中光纤芯是光信号传输的核心部件。

3. 光纤连接器：光纤连接器用于连接光纤，保证光信号的传输质量。

光纤连接器通常采用FC、SC等标准接口。

4. 光纤分束器：光纤分束器将光信号分为两束，一束经过光纤传输到被测物体，另一束直接到达光纤接收器。

被测物体的影响会导致两束光信号的干涉现象发生变化。

5. 光纤接收器：光纤接收器用于接收经过干涉后的光信号，并将其转换为电信号进行处理和分析。

二、光纤干涉传感器的工作原理光纤干涉传感器的工作原理是基于干涉仪的原理。

当光信号通过光纤分束器后，分为两束光线，其中一束光线经过光纤传输到被测物体，另一束光线直接到达光纤接收器。

被测物体的影响会导致两束光信号的光程差发生变化，从而引起光信号的干涉现象。

通过检测干涉现象的变化，可以得到被测物体的相关信息。

光纤干涉传感器可以根据测量的物理量的不同分为多种类型，如温度传感器、压力传感器、位移传感器等。

以温度传感器为例，被测物体的温度会导致光纤的长度发生变化，从而改变光信号的光程差，通过检测光信号的干涉现象的变化，可以计算出被测物体的温度。

迈克尔逊干涉仪工作原理
Michaelson干涉仪是一种专门用于测量光线波长及它们之间相位差的仪器。

它是以爱因斯坦发现的干涉现象为基础，由Michaelson利用两束平行光束采用干涉现象而发明的。

原理是利用线性衰减光程明斯特森（Maxwell）的定律。

Michaelson 干涉仪使用两个反射面（mirror），一个是M1镜，一个是M2镜，上面
装有光学元件，可以将一束平行的光线分开，其中一束经过M1反射后，被束起来，经过
M2反射又回到原处。

另一束光也同样被束聚，并经过M1和M1之间的距离，反射回M2后
又回到原处。

因此，系统中有两束重叠的光波，构成一个典型的‘双棱镜’系统。

Michaelson 干涉仪使用一个光学部件及照相机，用来观察、检测干涉现象。

这个部
件被称为光栅，由两个偏振器组成，分别放置在 M1 和 M2 镜前。

偏振板调节光线波长与
干涉对比，当光线波长达到某一特定值时，光束会平移及发生变化；使得M2的反射面上
的光线有着新的照射状态，通过光栅及照相机观察后，可以测量光线波长及它们之间的相
位差。

Michaelson 干涉仪的实际工作原理是，先将两个光源同时射到M2，然后由M1反射出一束。

当这两束带有不同波长的光线重叠时，经过M1和M2之间的距离发生变化，把变化
后的光反射给光栅，再经过偏振器分解处理，最后用照相机检测得到的光信号，即可由相
关公式计算出波长及相位差。

迈克尔逊干涉仪的原理与应用在大学物理实验中，使用的是传统迈克尔逊干涉仪，其常见的实验内容是：观察等倾干涉条纹，观察等厚干涉条纹，测量激光或钠光的波长，测量钠光的双线波长差，测量玻璃的厚度或折射率等。

由于迈克尔逊干涉仪的调节具有一定的难度，人工计数又比较枯燥，所以为了激发学生的实验兴趣，增加学生的科学知识，开阔其思路，建议在课时允许的条件下，向学生多介绍一些迈克尔逊干涉仪的应用知识。

这也是绝大多数学生的要求。

下面就向大家介绍一些利用迈克尔逊干涉仪及其原理进行的测量。

一、传统迈克尔逊干涉仪的测量应用1. 微小位移量和微振动的测量[11-14]；采用迈克尔逊干涉技术,通过测量ＫＤＰ晶体生长的法向速率和台阶斜率来研究其台阶生长的动力学系数、台阶自由能、溶质在边界层内的扩散特征以及激发晶体生长台阶的位错活性。

He-Ne激光器的激光通过扩束和准直后射向分束镜,参考光和物光分别由反射镜和晶体表面反射,两束光在重叠区的干涉条纹通过物镜成像,该像用摄像机和录像机进行观察和记录.滤膜用于平衡参考光和物光的强度.纳米量级位移的测量：将迈克尔逊型激光干涉测量技术应用于环规的测量中。

采用633nm稳频的He-Ne激光波长作为测量基准，采用干涉条纹计数，用静态光电显微镜作为环规端面瞄准装置，对环规进行非接触、绝对测量，配以高精度的数字细分电路，使仪器分辨力达到5nm；静态光电显微镜作为传统的瞄准定位技术在该装置中得以充分利用，使其瞄准不确定度达到30nm；精密定位技术在该装置中也得到了很好的应用，利用压电陶瓷微小变动原理，配以高精度的控制系统，使其驱动步距达到5nm。

测振结构的设计原理用半导体激光器干涉仪对微振动进行测量时,用一弹性体与被测量（力或加速度)相互作用,使之产生微位移。

将这一变化引到动镜上来,就可以在屏上得到变化的干涉条纹,对等倾干涉来讲,也就是不断产生的条纹或不断消失的条纹。

由光敏元件将条纹变化转变为光电流的变化,经过电路处理可得到微振动的振幅和频率。