无尘车间洁净度标准
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247
618
2470
6180
24700
61800
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175
700
1750
*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的,并不表示实际的粒径分布值。
**针对中间级别的浓度上限值,用如下的公式进行计算。
粒子直径/m3=10Md),其中,M : SI单位里的级别名称,D :粒径(um)
3,洁净度和气流方式
洁净度可通过气流方式和换气次数改变。因而,要根据室内的作业内容、人员及产品的动向决定气流方式。
起尘性高的作业,不得将其置于气流的上侧。而且,根据场合的不同,必须设置排气。
4,构造
净化间的构造具有气密性、发尘、尘埃堆积少,不易发生振动等是非常重要的,而且,要尽可能地不产生乱流。
5,使用材料
●室内的洁净度不大被作业人员数、作业状态左右。
缺点
●在距吹出层面较近的地方可以保证有高水平的洁净度,但在距吸引层面较近的地方,洁净度会有所降低。
●净化间扩建很困难
●设备费用虽不像垂直型那么高,但仍很贵。
●柜子、更衣室、风淋等准备室的完善及清扫作业服等要予以充分的注意。
吹入口位置
吹出口对面的墙壁(图4)
室内外压力差
5-25Pa—
所需机械室
大
建筑内装材料
有规定
工程的难易程度
需要很高的技术水平
房间大小的限制
没有特别的要求
房间有效作业面积
能得到很大的面积
作业性
好
运转经费
高
管理
实施高水平的管理
表13,水平层流型概要及特征
概要
特点
吹出口、过滤器位置
房间一侧的墙壁上(图4)
优点
●因涡流、死角等引起的粉尘的堆积、再游离现象很少
气流状态
虽是水平层流,但下侧风流处会逐渐被污染。
换气次数(气流速度)
30—650次/Hs)
温度范围
22℃ ±1—3℃
湿度范围
RH45%±5-10%
室内外压力差
5--25Pa—
所需机械室
中等
建筑内装材料
有相当部分受限制
工程的难易程度
需水平稍高的技术
房间大小的限制
受限制
房间有效作业面积
受到限制
作业性
人员的移动受到限制
作为内装修材料,须是无缝隙、裂痕,表面不易粘尘,且无磨损、无表面剥离的材料。除此之外,热贯流率、透湿性小、吸音性好,与其他材料接合等加工性能良好也是必不可少的。
6,室内正压
为确保室内的洁净度,防止来自外部的污染粒子进入室内,室内必须保持在正压状态。要想维持室内总是处于正压的状态,就要有能充分的新风,来补足因局部排气、自然泄漏而损失的压力。
(ft3)
(m3)
(ft3)
MI
M2
M3
M4
M5
M6
M7
1
10
100
1000
10000
100000
350
1240
3500
12000
35000
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350
991
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265
757
2650
7570
26500
75700
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214
750
HEPA过滤器
档粗尘过滤器
外气
HEPA过滤器预过滤器加湿器活性炭过滤器
图注:活性炭过滤器在外气被气体污染的场合下使用。
在净化间里湿度的控制也非常重要。建议使用可实施严格控制的阿姆斯特龙公司产的干蒸汽式加湿器。
表12垂直层流型的概要及特点
概要
特点
吹出口、过滤器位置
天花板(80以上)(图3)
优点:
●不会被室内的作业人数、作业状态左右,能保证高度的洁净度。
运转经费
中等
管理
稍微需要高水平的管理
级(10,000)及级(100,000)的场合
对于级(10,000)及级(100,000)的净化间,从设备费的角度上考虑,不
大使用完全的层流型,而大部分是非层流型。无论是级(10,000)还是级(100,000),在设计上没有根本变化,而是根据单位时间内的换气次数,使其发生变化的。
标准粒径(um)
累计粒子数(个/m3)
1
2
3
4
5
6
7
8
101
102
103
104
105
106
107
108
表10,美国航空宇宙局规格主要内容
生物净化间级别
粒子
生物粒子
室内
压力
Pa
mmH2O
温度
℃
湿度
%
气流
换气次数
照度
Lx
粒径
um
累计
粒子数
个/ft
(个/l)
浮游量
个/ft
(个/l)
沉降量
100
10000
100000
内气流发生紊乱,微粒子浮游在空中,很难保证高的洁净度。
级(100)及级(1000)的场合
在洁净度要求达到级及级的场合,其大部分都能达到层流型。
垂直层流型(降下气流方式)范例图3
HEPA过滤器
热交换器
HEPA过滤器
档粗大尘埃过滤器
外气
预过滤器加湿器活性炭过滤器
2,水平层流型(交叉流方式)范例图4
热交换器
表7美国联邦规格
净化间级别
粒子
室内压力Pa
mmH2O
温度
湿度
气流
换气次数
照度
粒径
um
累计粒子数
范围
(℃)
推荐值(℃)
差
(℃)
高
(%)
最低
%
误差
%
100
1000
10000
100000
≧
≧
≧5
≧
≧5
≧
≧5
100
1000
10
10000
65
100000
700
+13
(+)
以上
—
25
±
特别时为±
45
30
±10
特别时为±5
磁带
10,000
防止杂音
精密仪器
陀螺、微型轴承
10,000
提高精度
导弹部件、继电器
10,000
防止误动作
钟表、小型计量仪器
10,000
组立、封装、修理
光学、印刷
照相机、印刷电路板
10,000
制作
镜头、胶片
1,000
连接
电子制版
10,000
制作、检查
化学药品
注射液充填
100
调和、充填
无菌动物养育
100
100
股关节手术、脏器移植
特殊治疗室
100
白血病、烫伤
恢复、新生儿室
10,000
早产儿、术后防止感染
临床检查
10,000
菌类培植、检查
农林畜产
蘑菇栽培
10,000
防止蘑菇种菌被杂菌感染
植物
100,000
兰花栽培(试验用无菌植物、强势培植植物)
养殖
10,000
防止鱼、蚕类因菌侵袭致死
微生物工程
一般病原体
房间有效作业面积
受到限制
作业性
对人的移动没有没有制约
运转费用
低廉
管理
管理水准稍高
四、净化车间设计上的留意点
1,净化车间的构成
为确保室内的洁净度,把使用条件、空调的条件等作为最为基本的内容,在考虑到作业性和气流状况后再予以确定。在构造上要有准备室、更衣室、清洗室、休息室、管理室等。
2,清洗方法
作为室内的洁净化气流方式,有垂直层流式、水平层流式、非层流式。其中,到底使用哪一种方式,要根据洁净度的级别及使用条件来决定。
●由于是垂直层流,换气次数多,所以,在短时间内得到高水准的洁净度。
●几乎不会发生尘埃堆积,即便是被污染,也能很快恢复。
缺点
●设备费高
●运转成本高
●净化间面积很难扩建
吹入口位置
筛条或孔板(图3)
气流状态
垂直层流
换气次数(气流速度)
250—650次/s左右
温度范围
22℃ ±1—3℃
湿度范围
RH45%±5-10%
●柜子、更衣室、风淋室等房间的完备及清扫作业服等要充分注意。
吹入口位置
地板上侧面(图5)
气流状态
产生乱流
换气次数(气流速度)
20—50次/h
温度范围
22℃±1—5℃
湿度范围
RH50%±10%
室内外压力差
5—25Pa—
所需机械室
小
建筑内装修材料
若干限制
工程的难易度
多少受些限制
室内大小的限制
没有什么限制
2140
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106
309
1060
3090
10600
30900
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300