实验报告格式范文
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一、实验报告封面实验报告名称:____________________________实验日期:____________________________实验地点:____________________________实验者:____________________________指导教师:____________________________二、实验目的简要说明本次实验的目的和意义。
三、实验原理简要介绍实验的理论基础和相关原理。
四、实验仪器与材料1. 实验仪器:(1)仪器名称:____________________________(2)仪器型号:____________________________(3)仪器规格:____________________________ 2. 实验材料:(1)材料名称:____________________________(2)材料规格:____________________________五、实验步骤1. 步骤一:____________________________2. 步骤二:____________________________3. 步骤三:____________________________…………六、实验数据记录与分析1. 数据记录:(1)实验现象:____________________________(2)实验结果:____________________________2. 数据分析:(1)现象分析:____________________________(2)结果分析:____________________________(3)误差分析:____________________________七、实验结论总结实验结果,对实验目的进行验证,得出实验结论。
八、实验讨论1. 实验中出现的问题及原因分析:(1)问题一:____________________________(2)问题二:____________________________……2. 实验改进措施:(1)改进措施一:____________________________(2)改进措施二:____________________________……九、实验反思1. 实验过程中的收获:(1)收获一:____________________________(2)收获二:____________________________……2. 实验中的不足:(1)不足一:____________________________(2)不足二:____________________________……十、参考文献[1] 作者. 文章题目[J]. 期刊名称,出版年份,卷号(期号):起止页码.[2] 作者. 书名[M]. 出版地:出版社,出版年份.……注:以上模板仅供参考,具体实验报告内容需根据实验项目进行调整。
第1篇尊敬的[导师姓名]教授,您好!我是[您的姓名],目前在您的指导下进行[实验名称]的实验研究。
经过一段时间的努力,我已完成实验并整理了相关数据,现将实验报告及初步分析发送给您审阅。
以下是实验报告的具体内容:一、实验目的本次实验旨在[简要描述实验目的,如:探究[实验对象]在[特定条件]下的[实验指标]变化规律,验证[假设]等]。
二、实验原理[简要介绍实验原理,包括:实验的基本原理、理论基础、相关公式等。
]三、实验材料与仪器1. 实验材料:[列出实验中所使用的材料,如:试剂、样品等。
]2. 实验仪器:[列出实验中所使用的仪器,如:天平、显微镜、分光光度计等。
]四、实验方法1. 实验步骤:[详细描述实验步骤,包括:实验开始前的准备工作、实验过程中的具体操作、实验结束后的数据处理等。
]2. 实验数据记录:[列出实验过程中记录的数据表格,如:样品浓度、反应时间、温度等。
]五、实验结果与分析1. 实验结果:[展示实验结果,如:图表、照片等。
]2. 结果分析:[对实验结果进行初步分析,包括:与预期结果的一致性、异常现象的原因分析、实验误差的来源等。
]六、结论根据实验结果与分析,得出以下结论:[总结实验的主要发现,如:验证了[假设]、发现了[新现象]、改进了[实验方法]等。
]七、讨论与展望1. 讨论部分:[对实验结果进行深入讨论,包括:与其他研究结果的比较、实验方法的改进、实验条件的优化等。
]2. 展望部分:[提出实验的进一步研究方向,如:扩大实验规模、深入探究实验现象、开发新型实验方法等。
]八、参考文献[列出实验过程中参考的文献,按照规范格式排列。
]附件:实验报告.pdf请您在百忙之中审阅此报告,并提出宝贵意见。
如有需要,我将在第一时间进行修改和完善。
感谢您的指导与支持!顺祝商祺![您的姓名][您的学号][您的联系方式][发送日期]第2篇尊敬的[实验负责人姓名]教授/老师:您好!我是[您的姓名],目前在[您的学院/系]攻读[您的学位],负责本次[实验名称]实验的研究。
实验报告格式模板实验报告一、实验目的本实验旨在探究氢气的制备及其气体组成的测定。
二、实验原理氢气是最轻的元素,其密度低于空气,具有强的还原性和易燃性。
在实验室中,可以通过锌和稀酸反应制备氢气:Zn + 2HCl → ZnCl2 + H2↑其中,锌是还原剂,酸起催化剂的作用。
制氢反应的化学平衡方程式为:Zn(s) + 2H+(aq) → Zn2+(aq) + H2(g)根据达尔顿分压定律,在一个混合气体中,各气体分子的压强与它们在该混合气体的分压相等。
利用这个定律,可以在气体组成已知的情况下,测定混合气体中某一气体的分压,从而求出该气体在混合气体中的摩尔分数。
为测定被测气体分压,可以采用玻璃封管法。
三、实验步骤1.制氢:取一定量的锌粉,加入硫酸溶液中,观察气体的产生;2.调节气体流量:调节洗气瓶的开口,使氢气进入U形玻璃管中;3.混合气体的制备:将U形玻璃管两端的橡皮塞取出,用吸管分别向两端通入待测气体和氢气,恢复橡皮塞密封;4.混合气体的压力调整:拆下混合气体流量调节阀和进口管,通入大气压强的空气,使混合气体的总体积调整到一个固定值;5.测定氢气的体积:将U形玻璃管倒置,立即打开紫色橡皮塞,放出混合气体。
测定氢气的体积,记录氢气的温度和压强;6.由测得氢气的体积计算出混合气体中的被测气体的摩尔分数。
四、实验结果1.制氢:在实验中,通过锌和稀酸反应制备氢气,反应过程如下:Zn + 2HCl → ZnCl2 + H2↑2.混合气体的制备:将待测气体和氢气混合,制备出混合气体。
3.测定氢气的体积:通过拆下混合气体流量调节阀和进口管的方式,将空气通入混合气体中,调整混合气体的总体积。
将U形玻璃管倒置,打开紫色橡皮塞,将混合气体放出,通过读出氢气的体积,计算出混合气体中的被测气体的摩尔分数。
实验数据如下:被测气体的名称氢气体积 / mL 温度/℃ 压强 / kPa摩尔分数氧气 25.0 22.0 101.3 0.21氮气 25.0 22.0 101.3 0.78五、实验分析通过实验测定的结果可知,制备出的氢气体积均为25.0mL,温度为22.0℃,压强为101.3kPa。
实验报告格式范文【优秀9篇】完整的实验报告包括实验名称、实验目的、实验器材、实验原理、实验步骤、实验数据记录、实验结论、分析讨论。
下面是小编的我为您带来的9篇《实验报告格式范文》,希望能为您的思路提供一些参考。
实验报告的种类篇一1.教学实验报告这类实验报告主要指理工科大学生撰写的实验报告。
重复科学技术史上前人已做过的实验,目的是为了验证某一学科定律或结论,训练学生的动手能力和表达能力。
其实验步骤和方法一般是由教师自己拟定的,只不过是教学中的一个环节。
这种实验报告通常印制成表格,由实验者逐项填写。
它是重复前人已做过的实验,不具有学术价值。
2.科技实验报告这类实验报告主要指科技工撰写的实验报告。
它是描述、记录某项科研课题实验的过程和结果的报告,是科技报告中应用范围广泛的一种报告形式。
它是科技工自己设计、具有新的实验过程和结果的`记录。
不是简单重复和再现前人的成果。
这类实验报告往往具有科技创新意义和学术价值。
实验报告格式篇二实验__________(标题,用3号黑体,居中,加粗)一、实验目的(用小3号黑体)_________(小4号宋体,1.5倍行距)_____________________………二、实验要求(用小3号黑体)_________(小4号宋体, 1.5倍行距)___________________________________………三、实验步骤(用小3号黑体,要求包括设计的电路,指标实现的计算、仿真结果以及误差分析)_________(小4号宋体, 1.5倍行距)___________________________________………四、实验小结(用小3号黑体,可以包括实验结论,以及实验中遇到的问题和解决的办法等)_________(小4号宋体, 1.5倍行距)___________________________________………注:1.正文中表格与插图一律要求要有标注,并且字体一律用5号宋体;2、正文各页的格式请以此页为标准复制,(本文档的页码已设置成自动格式);结论(3号黑体,居中)_________(小4号宋体, 1.5倍行距)___________________________________………(包括实验的收获感受,以及对实验的期望要求等)。
实验报告单实验名称:____________________实验日期:____________________实验地点:____________________实验人员:____________________实验指导教师:____________________一、实验目的简要说明本次实验的目的和意义。
二、实验原理简要介绍实验所依据的原理和理论。
三、实验器材列出本次实验所使用的器材及其规格。
1. 器材名称:____________________规格:____________________2. 器材名称:____________________规格:____________________3. 器材名称:____________________规格:____________________(以此类推)四、实验步骤详细描述实验步骤,确保步骤清晰、完整。
1. 步骤一:____________________具体操作:____________________2. 步骤二:____________________具体操作:____________________3. 步骤三:____________________具体操作:____________________(以此类推)五、实验数据记录与分析1. 实验数据记录根据实验步骤,记录实验过程中所观察到的数据。
| 序号 | 数据名称 | 数值 || ---- | -------- | ---- || 1 | 数据一 | || 2 | 数据二 | || 3 | 数据三 | || ... | ... | ... |2. 数据分析对实验数据进行整理、分析,得出结论。
(此处可根据实际情况进行详细分析)六、实验结果简要描述实验结果,包括实验现象、数据变化等。
七、实验结论总结实验结果,阐述实验目的是否达成,对实验原理的验证程度等。
八、注意事项1. 实验过程中应注意的安全事项:____________________2. 实验结束后应进行的清理工作:____________________3. 其他注意事项:____________________九、实验心得体会简要记录实验过程中的心得体会,包括对实验原理的理解、实验技能的提升等。
实验报告范文模板(经典版)编制人:__________________审核人:__________________审批人:__________________编制单位:__________________编制时间:____年____月____日序言下载提示:该文档是本店铺精心编制而成的,希望大家下载后,能够帮助大家解决实际问题。
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实验报告内容格式范文5篇实验报告内容格式范文5篇实验报告的分析讨论,主要分析实验结果和数值是否匹配,如果有误差,分析具体原因。
下面是小编为大家整理的实验报告格式范文,如果大家喜欢可以分享给身边的朋友。
实验报告格式内容范文【篇1】准备材料:一个玻璃杯、一枚硬币、小半杯水(最好是有颜色的)、蜡烛和一个平底的容器。
实验内容:在一个盘子里倒半杯水,放入一枚硬币。
手既不许接触到水,又不能把水倒出来,怎样才能把硬币取出来呢?实验过程:第1次:我们首先在平底的容器中倒入小半杯水,淹没硬币。
然后点燃一节蜡烛放在盘子里,罩上玻璃杯,蜡烛会因为缺氧停止燃烧,这时,外面的水便源源不断地涌进玻璃杯。
(可惜吸水不够多,所以没有把硬币取出来)结果:失败。
第2次:和第一次一样,失败。
第3次:我们换了一根大一点的蜡烛,这次流进去的水很多,成功。
第4次:我们用了两根蜡烛,不过因为杯子扣的太紧,杯口被盘子吸住,水没能流进玻璃杯,失败。
第5次:我把杯子扣下去的速度慢了一点点,导致蜡烛提前熄灭,失败。
第6次:同样是放了两根蜡烛,这次很正常,成功。
实验总结:我做这个实验是为了证实气体冷却后,能让压力下降,于是外面正常的大气压把盘子中的水挤进了杯中。
另外,在实验中,我观察到,用玻璃杯盖住蜡烛的时候,火焰不是马上熄灭,是继续燃烧一会儿才熄灭,说明玻璃杯的空气也是含有一定量的氧气的。
而做这个实验应注意:1、杯子不要扣的太慢,否则会让火焰提前熄灭导致实验失败。
2、水最好是有颜色的水,我选择在水中滴蓝墨水,效果不错,这样方便观看。
3、可以用燃烧的纸片代替蜡烛,但是水一定要放少一点,放多了难吸光。
4、要保持距离,让火焰离自己远一点。
实验报告格式内容范文【篇2】电路实验课已经结束,请按题目要求认真完成实验报告,并要仔细检查一遍,以免退回,具体要求如下:一、绘制电路图要工整、选取适宜比例,元件参数标注要准确、完整。
二、计算题要有计算步骤、解题过程,要代具体数据进行计算,不能只写得数。
实验报告范文模板3篇Experimental report template编订:JinTai College实验报告范文模板3篇小泰温馨提示:实验报告是把实验的目的、方法、过程、结果等记录下来,经过整理,写成的书面汇报。
本文档根据实验报告内容要求展开说明,具有实践指导意义,便于学习和使用,本文下载后内容可随意修改调整及打印。
本文简要目录如下:【下载该文档后使用Word打开,按住键盘Ctrl键且鼠标单击目录内容即可跳转到对应篇章】1、篇章1:实验报告范文模板2、篇章2:实验报告范文模板3、篇章3:实验报告范文模板篇章1:实验报告范文模板例一定量分析实验报告格式(以草酸中h2c2o4含量的测定为例)实验题目:草酸中h2c2o4含量的测定学习naoh标准溶液的配制、标定及有关仪器的使用;学习碱式滴定管的使用,练习滴定操作。
h2c2o4为有机弱酸,其ka1=5.9×10-2,ka2=6.4×10-5。
常量组分分析时cka1>10-8,cka2>10-8,ka1/ka2<105,可在水溶液中一次性滴定其两步离解的h+:h2c2o4+2naoh===na2c2o4+2h2o计量点ph值8.4左右,可用酚酞为指示剂。
naoh标准溶液采用间接配制法获得,以邻苯二甲酸氢钾标定:此反应计量点ph值9.1左右,同样可用酚酞为指示剂。
一、naoh标准溶液的配制与标定用台式天平称取naoh1g于100ml烧杯中,加50ml蒸馏水,搅拌使其溶解。
移入500ml试剂瓶中,再加200ml蒸馏水,摇匀。
准确称取0.4~0.5g邻苯二甲酸氢钾三份,分别置于250ml锥形瓶中,加20~30ml蒸馏水溶解,再加1~2滴0.2%酚酞指示剂,用naoh标准溶液滴定至溶液呈微红色,半分钟不褪色即为终点。
二、h2c2o4含量测定准确称取0.5g左右草酸试样,置于小烧杯中,加20ml 蒸馏水溶解,然后定量地转入100ml容量瓶中,用蒸馏水稀释至刻度,摇匀。
实验报告格式范文第1篇生物学是一门以实验为基础的自然科学,现代生物科学的发展尤其依赖科学实验。
在生物教学中,实验、学习和观察等实践环节对我们掌握生物学知识、科学方法、培养我们的动手能力和形成科学素质都起到了至关重要的作用。
正是因此,从我们开始接触生物这门学科开始,就不断有生物实验课程,锻炼我们各式各样的能力。
但是,也的确是上过各式各样的生物实验课,我才更加深刻的感受到这次做的现代生物技术综合实验对我的影响有多大。
老师在第一次课上,对我们详尽的讲解了我们此学期需要完成的一系列实验。
其中全是环环相扣,嵌合紧密,有点一招即失,满盘皆输的压力,不过我们更多的是怀着一种跃跃欲试的激动,恨不得立马动手,靠着自己学来的知识,认真的完成这套实验,并且还能看到最终那令人欣喜的结果。
就这么妄想着妄想着,我们从第二周开始的现代生物技术综合实验的漫长旅程。
由于,老师没有硬性的要求实验时间,我们便是一有空闲就往实验室里钻,也就少了以前实验课上出现的,因为部分实验仪器的数量缺少,同学们每次做实验都是你推我嚷的,造成了实验兴趣的流失。
以至于做实验的态度越来越涣散,甚至只是简单的走下过场而已,几次实验课下来,热情全无。
但按照金老师的提议来,大家来实验的时间不同,使得对仪器使用的时间错开,减少了为争抢仪器或是药品而嘈杂不堪的场面,实验也变得顺利了许多。
金老师会很体谅一些先开始忙活的同学,在黑板上写清他们实验大概会做到的步骤和注意事项,后面实验的准备物品和要求,然后开始在忙于实验而奔走中的同学之间晃悠。
观察我们的实验操作,或是时不时提点解释一下我们实验步骤的缘由;实验药品的作用;如何做会得到更好的结果;实验没有得到好的结果或是做的失败了的原因。
可是,随着实验的发展,后来更多的时候,是我们在看过书本上要求的实验步骤后,去缠着金老师,围在他周围,问他关于实验的各种问题,就算同样的问题被问过许多次,金老师依然是和蔼的笑着一一解答我们的疑问,他的平易近人,他的悉心教导,他的不骄不躁,他的耐性与笑容都深深的打动了实验中的每位同学。
实验名称:XXX实验实验日期:____年__月__日实验地点:XXX实验室一、实验目的1. 熟悉XXX实验的基本原理和操作方法。
2. 培养实验操作技能和严谨的科学态度。
3. 通过实验,加深对XXX理论知识的理解。
二、实验原理(此处简要介绍实验的理论依据和基本原理)三、实验器材1. XXX仪器2. XXX试剂3. XXX工具四、实验步骤1. 实验前准备(1)检查实验器材是否齐全、完好。
(2)了解实验原理和步骤。
(3)熟悉实验安全操作规程。
2. 实验操作(1)按照实验步骤进行操作。
(2)观察实验现象,记录实验数据。
(3)根据实验现象和数据进行初步分析。
3. 实验结果处理(1)对实验数据进行整理、计算。
(2)分析实验结果,得出结论。
(3)撰写实验报告。
五、实验数据(此处列出实验过程中记录的数据,包括实验参数、测量结果等)六、实验结果与分析1. 实验现象(描述实验过程中观察到的现象)2. 数据分析(对实验数据进行计算、比较和分析,得出结论)3. 结论(总结实验结果,验证实验目的)七、讨论与思考1. 实验过程中遇到的问题及解决方法(描述实验过程中遇到的问题,以及如何解决这些问题)2. 实验结果与理论知识的联系(分析实验结果与理论知识的联系,加深对理论知识的理解)3. 实验改进建议(提出对实验的改进建议,以提高实验效果)八、实验总结1. 实验成功之处(总结实验成功的经验和优点)2. 实验不足之处(分析实验中存在的问题和不足)3. 实验收获(总结实验过程中的收获和体会)实验报告撰写人:(姓名)指导教师:(姓名)日期:____年__月__日。
实验报告格式范文篇一:有关实验报告的书写格式有关实验报告的书写格式江苏省泗阳县李口中学沈正中一、完整实验报告的书写完整的一份实验报告一般包括以下项目:实验名称:实验目的:实验器材:实验原理:实验步骤:实验数据记录(表格)及处理:实验结论(结果推导):实验讨论或判断等。
二、实验报告书写方法 1、实验名称:就是这个实验是做什么的。
2、实验目的:一般都写掌握什么方法啊;了解什么啊;知道什么啊;会什么啊;…… 等。
3、实验器材:就是做这个实验需要的所有器材(仪器)。
4、实验原理:就是这个实验报告是做根据什么来做的,一般书上会写,抄一下也就可以啦。
5、实验步骤:就是你做实验的过程,开始操作时,(1)做什么;(2)做什么;(3)做什么;……6、实验数据记录(表格)及处理:根据实验中涉及以及实验得到的原始数据,设计表格,将有关数据填在表格相应的位置;数据处理,就是该计算的,按要求计算后填入表格对应位置。
7、实验结论(结果推导):就是做搞这个实验要得到的结果。
8、分析于讨论:写你的实验结果是否喜欢真实值?如果有误差要分析产生误差的原因,还有实验的一些比较关键的步骤的注意事项等。
对于初中生或小学生来说,书写的实验报告也可这点简单一点,有时也可不要预测于讨论,也可不写实验原理等。
三、探究实验书写一般有七个环节1.提出问题:就是在生活中发现、提出问题。
2.猜想与假设:发现问题,就要弄清楚问题,在没有搞清楚之前总有基本的和设想,这就是猜想与假定。
3.制定构想与设计实验:有了猜想,就有了科学实验的目的,再根据实验的目的设计实验方案,制定实验计划,包括取得证据的途径和方法,确定收集整理证据的范围。
主要包括实验的理论依据(实验原理)、实验器材、实验步骤等。
4.进行实验与收集证据:上一步是动脑、思维活动,这一步是手脑并用的实验过程。
5.分析与论证:通过上面的实验,收集到一些数据,观察到一些现象,对其分析,可以得出事实与假设的关系,通过归纳、概括等方法,得到结论。
6.评估:这是对整个处理过程的回顾,将实验图表等证据与已有的科学知识建立联系,不足地方需改进,进一步实验探究。
7.交流与合作:包括同学间的交流与讨论和交给老师批改的书面的实验报告。
篇二:实验报告范本学生实验报告书实验课程名称开课学院指导教师姓名学生姓名学生专业班级200-- 200 学年第学期实验教学管理基本规范实验是培养学生动手能力、研判解决问题解决问题能力的重要环节;实验报告是反映实验教学水平与质量的重要依据。
为加强实验过程运营管理,改革实验成绩考核方法,改善实验教学效果,提高学生质量,特制定实验教学管理工程技术基本规范。
1、本规范化光谱分析适用于理工科类专业实验课程,文、经、管、计算机类实验课程可根据具体情况参照执行或暂没有执行。
2、每门实验课程一般可以会包括许多实验项目,除简单明了的验证演示交互式性实验项目可以不写实验报告外,其他实验项目均应按本格式完成圆满完成实验报告。
3、实验报告应由实验预习、实验过程、结果分析七大部分组成。
每部分均在实验成绩大都中占比一定比例。
各部分成绩的观测台、考核目标、所总和比例可参考附表执行。
各专业也可以根据特长下文,调整考核内容和计算方法。
4、学生必须在完成实验预习内容的前提下进行必须实验。
教师要在实验过程中抽查学生预习情况,在学生离开微生物学前,检查学员实验操作和记录情况,并在实验报告第二部分小学教师签字栏签名,以确保实验记录的真实性。
5、教师应及时评阅学生的实验报告并给出各实验项目成绩,完整保存实验报告。
在完成所有实验项目后,教师应按学生姓名将批改好的各实验项目实验报告装订成册,构成该实验课程总报告,按班级交课程承担单位(实验中心或实验室)保管存档。
6、实验课程成绩按其类型采取百分制或优、良、中、及格和不及格五级评定。
实验课程名称:__通信原理_____________篇三:实验报告范本研究生实验报告(范本)实验课程:实验名称:实验地点:学生姓名:学号:指导教师:(范本)实验时间:年月日一、实验目的熟悉电阻型气体传感器结构及工作原理,进行基于聚苯胺敏感的气体传感器的结构设计、材料制作、材料表征、雷达探测单元制作与测试、实验结果分析,通过该实验获得气体传感器从设计到性能测试连贯的实验气体流程,锻炼同学学习能力、动手能力和分析环境问题能力。
二、实验内容1、理解电阻式气体传感器工作热源原理2、通过传感器结构设计3、进行敏感开展材料的合成与测试4、开展水蒸气传感器制作5、器件性能测试与分析讨论三、实验原理气体感应器传感器是化学传感器的一大门类,是气体检测系统的核心,通常装设在探测头内。
从本质上讲,气体传感器是一种将某种气体体积转化成对应电信号的转换器。
根据气敏特性来分类,主要分为半导体气体传感器、固体电解质液态传感器、接触燃烧式气体传感器、光学式气体传感器、石英阻抗式气体传感器、表面光波气体传感器等。
气体传感器的检测原理一般是利用吸附气体与高分子半导体之间电子授受的关系,通过检测相互作用导致的物性变化的得知检测气体分子存在从而信息,大体上可以分为:(l)气体分子的吸附引起聚合物材料表面电导率变化(2)p型或n型有机半导体间结特性变化(3)气体分子反应热引起导电六百人率变化(4)固体表面气体分子吸、脱附引起光学特性变化(5)伴随气体吸附脱附引起微小量变化对于电阻型气体传感器,其基本的机理都是气体分子吸附于膜表面并扩散进体内,从而惹起膜电导的增加,电导变化量反应了气体的浓度情况。
四、实验器材电子天平BS2245:北京赛多利斯仪器电子系统迈齐有限公司KSV5000自组装罗竞薄膜设备:芬兰KSV设备公司Keithley2700数据采集系统:美国Keithley公司KW-4A 型匀胶机:Chemat Technologies Inc.85-2 型恒温磁力热搅拌机:上海司乐仪器公司优普超纯水制造系统:成都超纯科技有限公司动态配气装置北京汇博隆仪器S-450型扫描电镜:日本日立公司UV1700紫外一可见分光光度计:北京瑞利分析仪器公司BSF-GX-2型分流式标准湿度发生器:国家标准物质研究中心、北京耐思达新技术发展公司目前五、实验步骤1、电阻型气体探测器工作原理数学模型认识(见三、实验原理)2、器件结构设计电阻型气体探测器基于敏感薄膜电阻变化来进行气体浓度测定,因此电阻是探测器航天器件的一个重要变量。
叉指电极结构测量出的电导可由下式:其中L和W为叉指电极尾端的长度和宽度,N为叉指电极的数目对数,d为两相邻电极之间的间距,σ为薄膜的本征电导率。
结合基底尺寸、材料电导率和工艺能力可以设计出结构优化的叉指结构,获得较显著的电学输出信号。
图1、基于敏感膜的气体传感器结构设计意图图1为设计的电阻型气体传感器结构,在绝缘衬底上制作叉指电极,然后在叉指电极上制作敏感薄膜,通过测试两个叉指电极间的电学信号,可薄膜获得敏感薄膜的电容器信息。
设计完成的整个气体陀螺仪的制作流程示意图流程如图2所示。
图2、气体传感器制作工艺流程示意图详细流程可表述为:硅片清洗—硅片表面氧化—溅射生长NiCr合金—溅射生长金—匀胶、显影、曝光、去胶—刻蚀金属层(Kl、硫酸)—中测—划片一测试在器件的制作中,所使用的基片是电阻率为0.7-1?cm的n型单晶硅片([100]取向)。
其上氧化生长二氧化硅作为绝缘层,然后溅射镍铬合金(200-300 ?),以降低金电极的附着性。
其后铝再在镍铬合金上溅射电介质的金层(400~500?),采用负胶光刻,电极倾斜度和宽度相等,为50μm,整个器件尺寸深浅为8*5mm2,该设计由自己完成,工艺由成都亚光电子股份股份公司加工。
3、聚苯胺复合薄膜制备(1) 基片预处理本实验采用表面石英的抛光玻片和平面叉指金电极作为成膜基片。
将表面抛光的石英基片先后放在:(l)表面活性剂和冰的混合液;(2)去离子水;(3)乙醇;(4)丙酮中分别超声清洗0.5h,以除去表面污垢和油溃。
然后将清洗过的钛石英基片放入7:3浓硫酸/过氧化氢溶液及1:1:5氨水/过氧化氢/水溶液中各超声清洗0.5h使得表面清洁,同时通过这一步使基片表面亲水。
处理后的石英模版基片存放在超纯水中待用。
将清洗好的石英铁芯及平面叉传输线指电极式器件浸入1%PDDA水溶液15min,取出后用去离子水洗涤,再用氮气吹干,彼时基片表面呈正电性;再将基片浸入Pss溶液(2mg/inl,盐酸调节PH=1~2)中15min,前取出后用去离子水洗涤并吹干,此时基片表面呈负电性。
(2)聚苯胺PANI/TiO2复合薄膜制取方法对于经过聚电解质(PSS)处理后的基片,聚电解质自组装膜在基片表面引入了极性纤维基团,在聚合反应的开始调整期,基片上-SO-3薄膜基团与酸性条件下苯胺单体和聚苯胺低聚合物上的N+通过静电吸引作用形成氨对,将其吸附在基片表面,已经形成均匀的聚合中心,进行链生长。
同时,混合液中的TiO2纳米粒子起着吸附聚合载体的作用,苯胺单体吸附在TiO2纳米粒子表面,氧化剂(NH4)2S2O8引发单体在TiO2纳米原子表面进行聚合,这导致了聚合物围绕TiO2粒子的受限生长,从而获得TiO2纳米粒子表面覆盖PANI的复合薄膜。
用移液管取0.2 ml TiO2溶胶,加去离子水稀释至0.lwt%;超声15min备用。
室温下,将超声过的TiO2溶胶加入到20mL 2.0mol/L的盐酸溶液中,在适度的搅拌下,将0.1mL苯胺单体加入其中。
为了避免苯胺单体快速醚氧化,边搅拌边将尽量少的(NH4)2S2O8的盐酸溶液缓慢逐滴滴入到混合液中,体系的颜色由透明逐渐加深,变为浅蓝,最终转变为墨绿色。
适度搅拌5min后,用0.45um的无机物过滤器过滤。
(NH4)2S2O8和苯胺单体物质的量之比为1:1。
运用芬兰KSV公司的自组装系统制备HCI掺杂PANI/TIO2自组装纳米复合薄膜。
将预处理后的基片浸入到PANI/TiO2滤液中,反应20min,取出基片,在空气中自然晾干后放置在纯净的氮气中保存。
(3)HCI和PTSA掺杂PANI/TiO2复合薄膜制备方法HCI和对甲苯磺酸(PTSA)是常见的聚苯胺质子酸掺杂剂。
HCl掺杂PANI/TiO2复合薄膜制备同前所述。
PTSA掺杂PANI/TiO2复合薄膜电解工艺如下:取1.9g对甲苯磺酸,溶于10ml去离子水中;再配置0.1254g (NH4)2S2O8溶于10ml盐酸溶液中,待用;用移液管取0.2ml TiO2溶胶,加去离子水稀释至0.lwt%;将10ml对甲苯磺酸溶液与TiO2溶胶溶液混合,超声15min备用。
室温下,在超声过的对甲苯甲酸溶液和TiO2溶胶混合溶液中,将0.1mL苯胺单体加入其中。
为了避免苯胺极快聚丙烯快速氧化,边加水边将适量的(NH4)2S2O8的氯化钠缓慢逐滴滴入到混合液中,评价体系的颜色由透明逐渐加深,最终转变为墨绿色。