真空镀膜技术53123
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真空镀膜技术深圳微普真空系统集成有限公司真空“真空”这一术语译自拉丁文Vacuo,其意义是虚无。
其实真空应理解为气体较稀薄的空间。
在指定的空间内,低于一个大气压力的气体状态统称为真空。
真空状态下气体稀薄程度称为真压力的气体状态统称为真空真空状态下气体稀薄程度称为真空度,通常用压力值表示。
真空技术是基本实验技术之自从真空技术是基本实验技术之一。
自从1643年托里拆利做了著名的有关大气压力实验,发现了真空现象以后,真空技术迅速发展。
现在,真空技术已经成为一门独立的前言学科。
它的基本内容包括:真空物理、真空的获得、真空的测量和检漏、真空系统的设计和计算等。
随着表面科学、空间科学高能粒子加速器、微电子学、薄膜技术、冶金工业以及材料学等尖端科技的发展,真空技术在近代尖端科学技术中的地位越来越重要。
真度单位真空量度单位1标准大气压=760mmHg=760(Torr) 1标准大气压=1.013x105Pa1Torr1333Pa1Torr=133.3Pa真空区域的划分目前尚无统一规定,常见的划分为:35−−粗真空低真空)10760(1010Torr pa )1010(1010313Torr pa −−−−高真空)1010(10108361Torr pa −−−−−−超高真空极高真空)1010(1010128106Torr pa −−−−−−)10(101210Torr pa −−<<真空获得—真空泵1654年,德国物理学家葛利克发明了抽气泵,做了著名的马德堡半球试验。
的马德堡半球试验原理:当泵工作后,形成压差,p1>p2,实现了抽气。
真空泵的分类气体传输泵:是一种能将气体不断地吸入并排出泵外以达到抽气目的的真空泵,例如旋片机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵。
气体捕集泵:是一种使气体分子短期或永久吸附、凝结在泵内表面的真空泵,例如分子筛结在泵内表面的真空泵例如分子筛吸附泵、鈦升华泵、溅射离子泵、低温泵和吸气剂泵。
2023年真空镀膜设备行业市场前景分析随着科技和工业的不断发展,真空镀膜设备行业已经成为一个越来越受欢迎和利润丰厚的行业。
在过去几年中,这个行业受到了世界各地的关注,市场需求不断增加。
在这篇文章中,我们将深入探讨真空镀膜设备行业的市场前景,并分析其可持续发展的潜力。
1. 市场规模随着人们对产品的外观和功能的要求越来越高,真空镀膜设备在塑料、金属、玻璃、陶瓷和其他材料表面的涂覆应用日益增加。
根据市场研究报告,全球真空镀膜设备市场预计将在未来几年内达到约70亿美元的规模。
随着技术的不断发展,及其在数码印刷、汽车、光学及工具制造等领域的广泛应用,预计市场规模将继续增长。
2. 应用领域真空镀膜设备目前在各种领域受到广泛应用,如光学、电子、航空航天、医疗、建筑等。
其中,电子行业是最大的应用领域,占据了市场的相当一部分份额,即使是在其他行业中,它也是一个关键的需求领域,例如商品的物理特性的保护、银行卡、IC芯片等,还有各种手机、笔记本电脑、电视等智能电子产品。
另外,食品、装饰、玩具等也是真空镀膜设备的广泛应用领域,由此可见,市场需求前景广阔。
3. 技术改进真空镀膜设备已经实现了重要技术改进,比如气相镀膜、直流磁控溅射镀膜、热溶液镀膜等。
另外,自动化和数控技术的引入也使其生产技术更加先进和高效。
这些技术的改进,使设备能够提供更高精度、更稳定的涂层和更优质的表面处理,从而满足不断变化的市场需求。
4. 产业竞争中国真空镀膜设备市场也迅速发展,但由于新技术不断涌现和新企业的不断涌现,目前已经形成了较为成熟的竞争格局。
随着市场规模的增长和技术的不断进步,这种竞争将会变得更具激烈,并且可能出现更多新进入者。
5. 发展趋势目前真空镀膜设备市场趋势主要体现在高资本投资、小批量生产定制、高精度专业化生产等。
随着技术的不断提高和市场需求的不断增长,真空镀膜设备的应用领域将不断拓展,推动产品的更新和改进。
因此,在高精度和多功能、智能化等配套服务环节上的竞争将变得越来越重要,以满足市场需求。
真空镀膜技术简述摘要:介绍了在真空条件下真空蒸发镀、溅射镀膜和离子镀等镀膜技术的概念和这几种真空镀膜技术的特点、应用及发展的前景。
和传统的电镀法相比,真空镀膜具有低能耗无毒,无废液,污染小,成本低,装饰效果好,金属感强等优点,是一项很有发展前途的新技术。
目前使用最广泛的镀膜方法,主要有热蒸发镀膜法和磁控溅射法。
关键词:真空蒸发镀膜溅射镀膜离子镀膜1 前言材料科学是国家发展的三大支柱之一,薄膜材料更是我国前沿科学和高新技术产品的重要基石。
镀膜技术也叫薄膜技术,是在真空条件下采用物理或化学方法,使物体表面获得所需的膜体。
目前已被广泛应用于耐酸、耐蚀、耐热、表面硬化、装饰、润滑、光电通讯、电子集成、能源等领域。
真空蒸发、溅射镀膜和离子镀等通常称为物理气相沉积法,是基本的薄膜制备技术。
它们都要求淀积薄膜的空间要有一定的真空度。
所以,真空技术是薄膜制作技术的基础,获得并保持所需的真空环境,是镀膜的必要条件。
2 真空蒸发镀膜技术真空蒸发镀膜法(简称真空蒸镀)是在真空室中,加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料,使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸气流,入射到固体(称为衬底或基片)表面,凝结形成固态薄膜的方法。
蒸发源是蒸发装置的关键部件,根据蒸发源不同,真空蒸发镀膜法又可以分为下列几种。
2.1 电子束蒸发源蒸镀法将蒸发材料放人水冷铜增祸中,直接利用电子束加热,使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面成膜,是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。
电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点,特别适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。
2.2 电阻蒸发源蒸镀法采用担、铝、钨等高熔点金属,做成适当形状的蒸发源,其上装入待蒸发材料,让电流通过,对蒸发材料进行直接加热蒸发,或者把待蒸发材料放人A12马、Beo等增祸中进行间接加热蒸发,这就是电阻加热蒸发法。
利用电阻加热器加热蒸发的镀膜机构造简单、造价便宜、使用可靠,可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜,尤其适用于对膜层质量要求不太高的大批量的生产中。
真空镀膜技术尹允斌发布时间:2021-09-09T09:12:39.795Z 来源:《中国科技人才》2021年第17期作者:尹允斌[导读] 真空镀膜是在真空环境下,金属或金属氧化物变成气态原子或分子,沉积在金属或非金属表面而形成。
和传统的电镀法相比,真空镀膜具有低能耗、无毒、无废液、污染小、成本低、装饰效果好、金属感强等优点,是一项很有发展前途的技术。
目前使用最广泛的镀膜方法,主要有热蒸发镀膜法和磁控溅射法。
新柯隆真空设备贸易(深圳)有限公司(CS)广东深圳 518040摘要:真空镀膜是在真空环境下,金属或金属氧化物变成气态原子或分子,沉积在金属或非金属表面而形成。
和传统的电镀法相比,真空镀膜具有低能耗、无毒、无废液、污染小、成本低、装饰效果好、金属感强等优点,是一项很有发展前途的技术。
目前使用最广泛的镀膜方法,主要有热蒸发镀膜法和磁控溅射法。
本文分别对现有真空镀膜机器的主要原理进行论述。
关键词:真空镀膜技术;镀膜方法;应用一、离子镀膜技术离子镀是在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基片上。
离子镀把气体的辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜技术结合在一起,不仅明显地提高了镀层的各种性能,而且大大地扩充了镀膜技术的应用范围。
1、离子镀膜原理基片为阴极,蒸发源为阳极,建立一个低压气体放电等离子区镀材被气化后,蒸发粒子进入等离子区被电离,形成离子,被电场加速后沉积到基片上成膜沉积和溅射同时进行实现离子镀膜的必要条件:○造成已给气体放电的空间○将镀料原子(金属或非金属原子)引进放电空间,使其部分离化。
2、离子镀膜的优点及缺点优点:①膜层附着性好,溅射清洗,伪扩散形成②膜层密度高(与块体材料相同);正离子轰击③绕射性能好④可镀材料范围广泛⑤有利于化合物膜层的形成⑥沉积速率高,成膜速率块,可镀较厚的膜层⑦清洗工序简单、对环境无污染缺点:①薄膜中的缺陷密度较高,薄膜与基片的过度区较宽,应用中收到限制(特别是电子器件和IC)②由于高能粒子轰击,基片温度较高,有时不得不对基片进行冷却③薄膜中含有气体量较高3、离子轰击的作用薄膜沉积前对基片的离子轰击。