煤矿视频监控方案

煤矿井下视频监控系统

施工方案

2023-04

1. 概述

视频监控系统的特点是对监控目的的可视性和直观性，煤矿工业视频监控系统可直观地监视矿区各重要生产环节、设备运营和人员动态等情况。重点监控如井口、工业广场、煤场、采煤面上下口、井底车场、皮带机、给煤点，装载点、炸药库、磅房、办公场地等；除在调度室实现对监控点的实时监控外，同时还可以通过光纤网络将图像上传至监控中心，实现视频系统联网，相关人员亦可依据授权上网查看实时监控图像。

煤矿事故的发生，导致了严重的人员伤亡、经济及政治损失。要减少煤矿事故的发生率，除了各级管理部门加强监督和管理之外，还须完善煤矿安全监控系统的装备建设，工业视频监控系统就是煤矿安全监控系统的一个重要组成部分。通过工业视频监控系统对煤矿进行全面有效的监视控制，及时发现事故苗头和隐患，及时发出预警采用相应措施，做到防患于未然，减少事故的发生率，为煤矿的安全生产保驾护航。并且工业电视系统能通过接口与其它系统进行有机结合，在某些地点可实现无人值守，进而达成安全高效生产的目的。生产数字化。

煤矿视频监控系统，将给煤矿的管理工作带来极大的方便，领导、管理人员可以根据工作需要，通过网络查看各个生产区域的现场情况，延伸管理人员的观测范围，使管理人员在办公室就可及时、准确地了解到现场的情况，做出相应的决策，有效地提高了办公、生产效率，提高矿井的生产能力，加大安全管理力度。

2. 需求分析

在发达国家，煤矿已实现高度机械化，井下工作人员很少，作业规范，巷道通畅，一旦发生事故，易于撤离，伤亡不大。而在我国，采煤机械化限度还相对较低，矿工队伍很大一部分是文化水平较低、培训时间有限的农民工，甚至存在井下抽烟等严重违章现象。这样的千军万马集中在高度危险的作业环境中，极易发生事故，导致重大伤亡。

我们在分析近期几个煤矿发生的特大事故时发现重要存在以下几类问题：

 地面与井下人员的信息沟通不及时；

-1-

煤矿工业电视

视频监控系统

解决方案

-2- 目 录

第一章 系统设计综述

第二章 系统软件设计

第三章 系统组成及解决方案

-3- 第一章 系统设计综述

1.1引言

随着煤矿安全生产监督管理的需要，视频监控技术已广泛应用于煤矿生产的各个重要环节。目前，大部分煤矿使用的视频监控系统基本都是早期的模拟（CCTV）和数字（DVR）系统，性能和稳定性不高。模拟监控系统具有很大的局限性：传输受距离限制，并且易受干扰，影响图象质量；无法实现联网，只能以点对点的方式监视现场；数据存储需要大量介质，不易于检索查询。另外，基于PC+多媒体卡的（DVR）系统，由于可靠性和性能差，灵活性和扩充性差，难于维护，不能实现多监控中心和多级管理，不适合当前有关部门对煤矿安全生产监督、管理的要求。

现在，随着网络技术、计算机技术和多媒体技术的飞速发展，基于TCP/IP网络的视频监控技术，由于其具有分布式接入、便于共享访问和控制、视频信号占用带宽资源少、图像质量好、易于存储和管理等诸多优点，已经广泛应用于各个行业。因此，在煤矿安全监控系统中采用网络视频监控技术是发展的大趋势。

1.2系统建设规模

一个总监控中心：设在矿区调度中心。包括系统管理服务器、大屏幕显示系统系统。

分控端：矿区内各领导采用PC式客户端实时浏览图像。

监控点：包括矿区井上的监控点和井下的监控点,均通过光纤接入。主要设备包括光纤及接入设备、IP摄像机等。

1.3设计标准

在系统的设计过程中，我们遵循了国家与行业有关的设计规范和标准，具体如下：

-4- 《通信网技术标准汇编》（GB 84）

《工业安装工程质量检验评定统一标准》（GB 50252-94）

煤矿远程视频监控方案

背景介绍

煤炭是我国重要的能源资源，我国的煤炭工业长期停留在人工开采水平，生产效率低，安全隐患多，如瓦斯爆炸、地下渗水等事故经常发生。随着计算机应用在各行各业的逐步普及，煤炭生产水平目前逐步实现了自动化，生产效率大大提高。因为煤矿开采的特殊环境，容易发生事故，煤矿行业也被称为高危险的行业。利用广角远程视频监控系统，地面或中心监控人员可以直接对井下情况进行实时监控，不仅能直观的监视和记录井下工作现场的安全生产情况，通过在井下安装温湿传感器瓦斯探测器，能及时发现事故苗子，防患于未然，也能为事后分析事故提供有关的第一手图像资料，为将来的安全生产提供可靠的保证。因此广角远程视频监控系统是现代矿井安全生产监控系统的重要组成部分。

一些煤矿在早期使用的视频监控系统都是早期的模拟监控，扩展性能和稳定性不高，管理也不方便。现在随着网络技术和计算机技术的发展，基于TCP/IP协议的IP网的应用得到广泛普及。高速宽带主干网的建成和各地区高速接入系统的迅速发展，促进了基于IP技术的各种视频通信应用,如网络远程视频监控系统的发展。所以在煤矿安全监控系统中引入现代网络远程视频监控系统将是一种趋势。

概述

随着各种新型安保观念的引入，社会各部门、各行业及居民小区纷纷建立起了各自独立的监控系统或报警系统。建立和不断完善安防系统，对保护人员和设备安全、提高生产和管理效率、预防和制止犯罪、维护社会经济稳定起到了重要作用。网络通讯技术及图像压缩处理技术的快速发展，使得安防行业能够采用最新的产品技术，通过计算机网络传输视频图像，为实现远程视频监控及联网报警系统提供高效可行、高性价比的解决方案。另外，宽带技术与网络视频监控技术的发展，为远程监控提供了更加完美的解决方案。由北京九华互联科技有限公司研发的广角网络视频监控系统，为远程监控提供了全新的观念和更广阔的空间，实现了基于流媒体的点对点、点对多点、多点对多点的远程实时编码组播（广播）和监控、远程遥控摄像机的功能。

…………………………一　研筮　．．　ｌ　

煤矿井下视频监控系统施工方案　天地（常州Ｉ）自动化股份有限公司　陈志清　【摘要】近年来，煤矿发生事故的数量在不断增加，如何加强安全生产，提高预警和事后搜救工作效率，摆到了国家各级主管部门和领导的面前。在经济高速发　展、能源供应紧张的形势下，如何处理好保证安全和提高产量的关系，需要深入研究，发展不能以牺牲环境和生命为代价。为此，如何正确处理安全与生产、安　全与效益的关系，如何准确、实时、快速履行煤矿安全监测职能，有效进行矿工管理，保证抢险救灾、安全救护的高效运作显得尤为重要和紧迫。　【关键词】煤矿井；视频监控；系统设计　Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎ　ｒｅｃｅｎｔ　ｙｅａｒｓ，ｔｈｅ　ｎｕｍｂｅｒ　ｏｆ　ａｃｃｉｄｅｎｔｓ　ｉｎ　ｃｏａｌ　ｍｉｎｅ　ａｒｅ　ｏｎ　ｔｈｅ　ｉｎｃｒｅａｓｅ，ｈｏｗ　ｔｏ　ｓｔｒｅｎｇｔｈｅｎ　ｔｈｅ　ｓａｆｅｔｙ　ｉｎ　ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ，ｉｍｐｒｏｖｅ　ｔｈｅ　ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　ｏｆ　ｅａｒｌｙ　ｗａｒｎｉｎｇ　ａｎｄ　ｓｅａｒｃｈ　ａｎｄ　ｒｅｓｃｕｅ　ｗｏｒｋ　ａｆｔｅｒｗａｒｄｓ，ｔｏ　ｔｈｅ　ｎａｔｉｏｎａｌ　ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔｓ　ａｎｄ　ｌｅａｄｅｒｓ　ａｔ　ａｌｌ　ｌｅｖｅｌｓ．Ｉｎ　ｔｈｅ　ｈｉ曲一ｓｐｅｅｄ　ｅｃｏｎｏｍｉｃ　ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ，ｅｎｅｒｇｙ　ｓｕｐｐｌｙ　ｔｅｎｓｅ　ｓｉｔｕａｔｉｏｎ，ｈｏｗ　ｔｏ　ｈａｎｄｌｅ　ｔｈｅ　ｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐ　ｂｅｔｗｅｅｎ　ｔｈｅ　ｇｕａｒａｎｔｅｅ　ｓａｆｅｔｙ　ａｎｄ　ｉｎｃｒｅａｓｅ　ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ，ｎｅｅｄｓ　ｆｕｒｔｈｅｒ　ｒｅｓｅａｒｃｈ　ａｎｄ　ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　ｃａｎ　ｎｏｔ　ａｔ　ｔｈｅ　ｅｘｐｅｎｓｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ　ａｎｄ　ｌｉｆｅ．Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ，ｈｏｗ　ｔｏ　ｃｏｒｒｅｃｔｌｙ　ｈａｎｄｌｅ　ｔｈｅ　ｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐ　ｂｅｔｗｅｅｎ　ｓａｆｅｔｙ　ａｎｄ　ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ，ｓａｆｅｔｙ　ａｎｄ　ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ，ｈｏｗ　ｔｏ　ａｃｃｕｒａｔｅｌｙ　ａｎｄ　ｒｅａｌ—ｔｉｍｅ，ｑｕｉｃｋ　ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｃｏａｌ　ｍｉｎｅ　ｓａｆｅｔｙ　ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ　ｆｕｎｃｔｉｏｎ，ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ　ｍｉｎｅｒｓ　ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ，ｇｕａｒａｎｔｅｅ　ｔｈｅ　ｄｉｓａｓｔｅｒ　ｒｅｌｉｅｆ，ｓａｆｅ　ｒｅｓｃｕｅ　ｔｈｅ　ｅｆｆｉｃｉｅｎｔ　ｏｐｅｒａｔｉｏｎ　ｉｓ　ｐａｒｔｉｃｕｌａｒｌｙ　ｉｍｐｏｒｔａｎｔ　ａｎｄ　ｕｒｇｅｎｔ　Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：Ｃｏａｌ　ｍｉｎｅ；Ｖｉｄｅｏ　ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ；Ｔｈｅ　ｓｙｓｔｅｍ　ｄｅｓｉｇｎ　一、概述　面对新形势、新机遇和新挑战，国家　各级主管部门的领导对安全生产工作提出了　很高的要求和期望。我们认为提升安全生产　信息化管理水平，加强以灾害预防、搜救为　主要目标的安全生产长效机制，是我国安全　生产工作的必由之路。利用远程视频监控系　统，地面监控人员可以直接对井下情况进行　实时监控，不仅能直观的监视和记录井下工　作现场的安全生产情况，而且能及时发现事　故苗子，防患于未然，也能为事后分析事故　提供有关的第一手图像资料。　二、需求分析　在美国，煤矿己实现高度机械化，井　下工作人员很少，作业规范，巷道通畅，一　旦发生事故，易于撤离，伤亡不大。而在　我国，采煤机械化程度仅为４５％，矿工队伍　很大一部分是文化水平较低、培训时间有限　的农民工，甚至存在井下抽烟等严重违章现　象。这样的千军万马集中在高度危险的作业　环境中，极易发生事故，造成重大伤亡。　我们在分析近期几个煤矿发生的特大事　故时发现：　（１）地面与井下人员的信息沟通不及时；　（２）地面人员难以及时动态掌握井下人　员的分布及作业情况；　（３）一旦煤矿事故发生，抢险救灾、安　全救护的效率低，搜救效果差。　目前，煤矿井下作业因为远离地面，地　形复杂，环境恶劣与地面人员间沟通不便，　如果利用远程视频监控系统，地面监控人员　则可以直接对井下情况进行实时监控，不仅　能直观的监视和记录井下工作现场的安全生　产情况，而且能及时发现事故苗子，防患于　未然，也能为事后分析事故提供有关的第一　手图像资料。同时要求上级有关监管部门可　以通过网络远程查看进行状况，提出整改方　法。　现在一些煤矿使用的视频监控系统都是　早期的模拟监控，性能和稳定性不高，具有　很大的局限性。　（１）模拟视频信号容易产生衰耗、畸变、　延时，并且易受井下各种设备干扰，使图像　质量下降，用于煤矿复杂的工作现场时，效　果不好。　（２）其次，视频信号的传输对距离十分　敏感，当传输距离大于几百米时，不便于系　统的维护和升级。　（３）最后，传统的模拟视频监控系统，　由于可靠性和性能差，灵活性和扩展性差，　查询取证时十分烦琐，难以维护，不能实现　多监控中心和多级监控管理，不适合当前有　关领导部门对煤矿安全生产监督、管理的要　求。　随着传输技术和计算机技术的发展，数　字化的视频传输应用将得到广泛普及，在煤　矿安全监控系统中引入数字化远程视频监控　系统也是大趋势。　三、设计依据和原则　１．设计依据　《民用闭路监视电视系统工程技术规　范》ＧＢ５０１９８—９４：　《工业电视系统设计规　范》ＧＢＪｌ１５－８７：　《民用建筑电气设计规　范》ＪＧＪ／Ｔ１６—９２；　《计算机软件开发规范》　ＧＢ８５６６—８８；　《电气装置安装工程电缆线路　施工及验收规范》ＧＢ５０１６８—９２；　《安全防范　工程程序与要求》ＧＡ／Ｔ７５—９４；　《煤矿安全　规程》。　２．设计原则　任何一个设计方案的最根本前提是用户　的需求，而先进、成熟的技术，可靠、灵活　的应用，技术发展的趋势和良好的性能／价　格比是设计方案的最基本依据。在不失先进　性、成熟性、可靠性、可扩展性的基础上，　充分考虑用户的需求，照顾长远利益，最大　限度地保护用户投资。　同时系统选择的产品已根据煤矿安全　生产的技术要求和国家安全标准进行独立设　计，完全可以满足煤矿井下人员监测的自动　化和信息化管理要求，同时可充分利用矿井　已有的平台资源联网运行，有效节约投资。　四、系统设计　整个系统有井下视频采集、监控中心控　制室和网内视频监看指挥系统三部份组成，　网内指挥终端可通过网络访问监控中心的数　字主机监看井下视频，还可以使用双向对讲　向煤矿企业进行远程指挥。　天大天星的数字监控主机具有友好的程　序接口，可以和煤矿企业自有井下检测设备　完美结合起来。　１．系统示意图　如图１所示，考虑到各个监控点的具体　情况不同，为了经济的实现监控的功能，我　们针对不同的地点采用了不同型号的摄像　机，具体如下：　（１）磅房及主扇风机房内：由于在室内　光线比较好；且所需监控的对象位置比较固　定；因此采用室内彩色摄像机，这样图像既　清晰又明显：　呈增大趋势。　参考文献　【１】Ｋｉｍ　ＫＨ，ＰａｒｋＫＣ，Ｍａ　ＤＹ　Ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ，Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　ａｎｄ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　Ａｌｕｍｉｎｕｍ　Ｄｏｐｅｄ　Ｚｉｎｃ　Ｏｘｉｄｅ　Ｆｉｌｍｓ　Ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　Ｒａｄｉｏ　ｏｆ　Ａｌｕｍｉｎｕｍ　Ｄｏｐｅｄ　Ｚｉｎｃ　Ｏｘｉｄｅ　Ｆｉｌｍｓ　Ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　Ｒａｄｉｏ　Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　Ｍａｇｎｔｒｏｎ　Ｓｐｕｔｅｒｉｎｇ［Ｊ］Ａｐｐｌ　Ｐｈｙｓ，１９９７，８１（ａ２）：７７６４—７７７２．　［２］Ｐａｒｋ　Ｋ　Ｃ，Ｍａ　Ｄ　Ｙ，Ｋｉｍ　Ｋ　Ｈ．Ｔｈｅ　Ｐｈｙｓｉｃａｌ　Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆＡＩ—Ｄｏｐｅｄ　Ｚｉｎｃ　Ｏｘｉｄｅ　Ｆｉｌｍｓ　Ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ｒｆＭａｇｎｅｔｒｏｎ　Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ［Ｊ］Ｔｈｉｎ　Ｓｏｌｉｄ　Ｆｉｌｍｓ，１９９７，３０５：２０１—２０９　［３］Ｊｏｓｈｉ　Ｒ　Ｎ，Ｓｉｎｇｈ　Ｖ　Ｐ，Ｍｃｃｌｕｒｅ　Ｊ　ｃ．Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ　ｏｆ　ｉｎｄｉｕｍ　ｔｉｎ　ｏｘｉｄｅ　ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ　ｂｙ　ＲＦ　ｍａｇｎｅｔｒｏｎ　ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ［Ｊ］Ｔｈｉｎ　Ｓｏｌｉｄ　Ｆｉｌｍｓ，１９９５，２５７：３２—３５　【４］Ｃｈｏｏｎｇ　Ｈｏｏｎ　Ｙｉ，Ｉｔａｒｕ　Ｙ，Ｙｕｚｏ　Ｓ．Ｅｆｆｅｃｔｓ　ｏｆ　ｔｉｎ　ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｓ　ｏｎ　ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ　ｃｈａｔａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ　ａｎｄ　ｅｌｅｃｔｒｏｏｐｔｉｃａｌ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｔｉｎ—ｄｏｐｅｄ　ｉｎｄｉｕｍ　ｏｘｉｄｅ　ｆｉｌｍｓ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ＲＦ　ｍａｇｎｅｔｒｏｎ　ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇｏ］．Ｊｐｎ　Ｊ　Ａｐｐｌ　Ｐｈｙｓ，１　９９５，１３４（２Ａ）：６００—６０５．　［５】Ｍｏｎｄｒａｇｏｎ—Ｓｕａｒｅｚ　Ｈ，Ｍａｌｄｏｎａｄｏ　Ａ，Ｒｅｙｅ　ｓ　Ａ，ｅｔ　ａｌ　ＺｎＯ：Ａ１　ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍ　ｏｂｔａｉｎｅｄ　ｂｙ　ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｓｐｒａｙ：ｅｆｆｅｃｔ　ｏｆ　ｔｈｅ　ＡＩ　ｃｏｎｃｅｎｔｒａｄｏｎ［ＪＪ．Ａｐｐｌ　ＳｕｒｆＳｃｉ，２００２，１９３：５２—５９　［６］Ｍｉｎａｍｉ　Ｔ，Ｓａｔｏ　Ｈ，Ｉｍａｍｏｔｏ　Ｈ，ｅｔ　ａ１．Ｓｕｂ　ｓｔｒａｔｅ　ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ｄｅｐｅｎｄｅｎｃｅ　ｏｆ　ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ　ｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ　Ａ１一ｄｏｐｅｄ　ＺｎＯ　ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍｓ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ｍａｇｎｅｔｒｏｎ　ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ［Ｊ］．ＪｐｎＪ　Ａｐｐ１　Ｐｈｙｓ，１９９２，３１（３Ａ）：２５７—２６０．　¨７＿Ｓａｔｏ　Ｈ，Ｔａｍｕｒａ　Ｙ，Ｍｉｎａｍｉ　Ｔ，ｅｔ　ａ１．Ａｌｕｍｉｎｉｕｍ　ｃｏｎｔｅｎｔ　ｄｅｐｅｎｄｅｎｃｅ　ｏｆ　ｍｉｌｋｙ　ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ　ｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ　ＺｎＯ：Ａ１　ｆｉｌｍｓ　ｗｉｔｈ　ｔｅｘｔｕｒｅｄ　ｓｕｒｆａｃｅ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ＤＣ　ｍａｇｎｅｔｒｏｎ　ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ［Ｊ］Ｔｈｉｎ　Ｓｏｌｉｄ　Ｆｉｌｍｓ，１９９４，（２４６）：８６—９１．　【８】Ｂｅｔｈｋｅ，Ｈ．Ｐｎａ，Ｂ．Ｗ．研ｅ／ｓｓｃｌｓ，ＡＰＰＩ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．５２，　１３８（１９８　８］．　【９］Ｓｈａｎｔｈｉ　Ｅ，ｅｔ　ａｌ　Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　ａｎｄ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ｕｎｄｏｐｅｄ　ａｎｄ　ａｎｔｉｍｏｎｙ—ｄｏｐｅｄ　ｔｉｎ　ｏｘｉｄｅ　ｆｉｌｍｓ．Ｊ　Ａｐｐ１．　Ｐｈｙｓ．，１９８０，５１：６２４３．　【ｍｌＪｕｌｉｏ　Ａｒａｎｏｖｉｃｈ，ｅｔ　ａ１．Ｏｐｔｉｃａｌ　ａｎｄ　ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ＺｎＯ　ｆｉｌｍｓ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ｓｐｒａｙ　ｐｙｒｏｌｙｓｉｓ　ｆｏｒ　ｓｏｌａｒ　ｃｅｌｌ　ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓＪ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．Ｔｅｃｈｎｏ１．，１９７９，１６（４）：９９４．　［１　１］Ｍｉｎａｍｉ　Ｔ，ｅｔ　ａ１．Ｔｈｅ　ｓｔａｂｉｌｉｔｙ　ｏｆ　ｚｉｎｃ　ｏｘｉｄｅ　ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ　ｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓ　ｆａｂｒｉｃａｔｅｄ　ｂｙ　ｒｆ　ｍａｍｎｅｔｒｏｎ　ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ，Ｔｈｉｎ　Ｓｏｌｉｄ　Ｆｉｌｍｓ，１９８７，１１１：１６７　【１２］Ｇｏｐａｌａ　Ｓｗａｍｙ　Ｈ，ｅｔ　ａｌ　Ｐｒｅｐａｒｔｉｏｎ　ｏｆ　ＺｎＯ　ｆｉｌｍｓ　ｂｙ　ａｃｔｉｖａｔｅｄ　ｒｅａｃｔｉｖｅ　ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ．Ｓｅｍｉｃｏｎｄ　Ｓｃｉ．　Ｔｅｃｈｎｏ１．，１９９０，５：９８０．　作者简介：余嘉哈（１９８７一），女，浙江天台人，　在职研究生，现就读于北方工业大学学信息工程学　院２０１１级，研究方向：集成电路工艺。