气体质量流量计MFM和气体质量流量控制器MFC小知识

1. 什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter （缩写为MFM ）, 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。

质量流量控制器, 即Mass Flow Controller （缩写为MFC ）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC 自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。

简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

2. 质量流量控制器的原理是什么？质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。

质量流量控制器的剖面结构图见图1。

气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。

将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

分流器决定主通道的流量。

与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。

气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理如图2所示。

流量显示仪质量流量计分流器通道传感器入口I 调节阀驱动阀控-15V +15V 0V ~220V 电源流量显示100.0(0 ~ +5.00V)setout 放大器比较器COM 设定+5.00V内(0 ~ +5.00V)外+15V出口-15V清洗关闭0 电 平流量检测设 定质量流量 控制器图1. 质量流量控制器结构图 图2. 质量流量控制器原理图3. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？气体质量流量单位一般以sccm （Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm （Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表示。

气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM）MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。

MFC为Mass Flow Controller的缩写，即质量流量控制。

流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。

质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。

计算机解算出流经振管的质量流量。

不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。

安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。

质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。

由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。

质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。

测量管道内质量流量的流量测量仪表。

在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下，若仅测量体积流量，则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。

在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30％，这会使流量产生30～40％的误差。

随着自动化水平的提高，许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。

化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。

蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。

产品质量的严格控制、精确的成本核算、飞机和导弹的燃料量控制，也都需要精确的质量流量测量。

因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。

质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。

使用MFC对气体进行微流控制
对于气体质量流量控制器MFC来说，在有些场景，例如半导体相关行业，分析仪器行业，科研实验场景等，需要对气体进行微流控制，使其流量很小，需要小于1SCCM，同时这种微流控制也需要较高的响应时间，因为流量很小，瞬间就会在气路中通过所需的流量，所以如果MFC的响应时间太慢的话，流量控制就很困难。

我司的高精度气体质量流量控制器MFC，最小量程可以做到2SCCM （满量程流量），可以控制到0.01SCCM，响应时间＜200ms，很适合微流控制。

对于这种微流控制，即使是用模拟信号操控，也需要选用数字款流量控制器（既带有数字信号，也带有模拟信号），其内部的处理方式是数字化芯片控制，而模拟款（只带有模拟信号）则只靠电路的线性控制，数字款MFC 控制的更稳定、更精确，尤其是对微小流量气体的流量控制，会体现的更明显。

以下是某客户定制的满量程为5ml/min的流量控制器，演示视频，客户要求流量微小流量控制到0.25ml/min。

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力循"中外结合，品质为本"的经营理念，努力在人才、技术、生产、工艺、质量、市场、服务等各个方面引入和完善现代企业经营管理机制，以适应全球经济一体化的市场竞争，为加速我国相关产业的不断发展贡献一份力量。

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质量流量计（MFC）原理及如何来选择使用首先什么是质量流量计（MFC）?质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM），是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。

质量流量控制器，即Mass Flow Controller（缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。

简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？（1）流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。

对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。

（2）测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。

这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。

对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。

通常，模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA，数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口，能非常方便地与计算机连接，进行自动控制。

（3）精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

（4）适用范围宽，有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa；可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 sccm，最大流量范围可达0～200 slm。

流量显示的分辨率可达满量程的0.1%，流量控制范围是满量程的2～100% （量程比为-- 50:1），因此在很多领域得到广泛应用。

什么是质量流量计，质量流量控制器？1什么是质量流量计：质量流量计，英文Mass Flow Meter（简称MFM），用来快速、精确测量过程气体流量大小的精密传感器。

这里讲的质量流量计主要应用于低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在1Mpa以下，最大可达3Mpa；流量范围一般为：0.1sccm-5000slpm；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。

2质量流量计可获得哪些参数：易度质量流流量计可精确获得气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。

3质量流量计的单位：一般为：SLPM（标况下升/分钟）和SCCM(标况下毫升/分钟），均为标况下的体积流量单位，易度标况定义为101.325KPa和25℃。

4质量流量计的构成：易度层流质量流量计主要由层流元件、压差传感器、压力传感器、温度传感器、电路设计、软件算法六部分组成。

5层流压差式质量流量计的工作原理：层流压差原理，基于哈根泊肃叶定律设计的在温度、管径等参数一定的情况下，气体是层流状态时，通过获取层流元件两端的压差信号，计算出体积流量，然后通过温度、压力等参数的修正，获得标准体积流量。

易度质量流量计结构示意图：6质量流量计的通讯：易度质量流量计可通过RS485、profibus等数字信号，0-5V、4-20mA模拟信号或触摸式显示屏面板来进行介质切换、标况定义更改、参数显示等操作。

1什么是质量流量控制器：质量流量控制器，英文Mass Flow Controller（简称MFC），用来快速、精确、稳定控制过程气体的流量大小，是高端自动化设备中的气路控制核心部件。

质量流量控制器主要应用于控制低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在1Mpa以下，最大可达3Mpa；流量范围一般为：0.1sccm-5000slpm；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。

差压式mfc
差压式质量流量控制器（MFC）是一种常用于流体控制的设备，在科学研究和工业生产中广泛应用。

差压式MFC通过测量流体通过管道时的压差来实现流量的准确控制。

差压式MFC的工作原理是基于布里奥改进的摩门冬方程，该方程描述了通过与流体相互作用的流动气体分子动能的变化。

该设备包括一个流量传感器，用于测量气体通过MFC时产生的压差。

当气体通过MFC时，流量传感器感知到气体流动的压差，并将其转换为电信号。

这个电信号经过处理后，被控制器用来调整MFC的阀门，以达到设定的目标流量。

控制器还可以提供反馈信号，用于监控实际流量与设定值之间的差异。

差压式MFC具有很高的流量控制精度和稳定性。

它可以在各种工作条件下实现准确的流量调节，包括不同的气体类型和压力范围。

此外，差压式MFC还具有快速响应的特点，可以在短时间内精确地调节气体流量。

差压式MFC广泛应用于半导体制造、化学工程、生物医药等领域。

它在这些行业中起到了关键的作用，实现了对气体流动的精确控制，保证了生产过程的稳定性和可靠性。

总之，差压式MFC是一种重要的流量控制设备，通过测量流体通过管道时的压差来实现流量的准确控制。

它具有高精度、稳定性和快速响应的特点，在各个行业中得到广泛应用。

Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: MFM/MFC IntroductionSierra 微管式质量流量计/质量流量控制器的介绍及学习本篇文章主要目的是为帮助SIERRA 代理及客户更好地了解MFM/MFC 和在选购产品时要注意些什么问题.如何正确使用SIERRA 质量流量计/质量流量控制器产品.下面详细通过有关工作原理和应用工况方面的问题一一讨论.如有错漏之处.恳请各代理商或朋友指正. 1. 质量流量计/质量流量控制器的含义Sierra Instruments Inc.美国斯亚乐仪表公司一直秉承 The mass flow company 的口号致力于质量流量计/质量流量控制器的研究开发.新推出的Max-trak 获得了2006 Gases & Technology Product Innovation Awards(气体控制类产品革新奖)英文Mass flow meter (缩写MFM),中文翻译为质量流量计.是一种精确测量气体质量流量的仪表.其测量值不因压力或温度的波动而失准.是一种直接质量流量测量原理的流量计.英文Mass flow controller (缩写MFC),中文翻译为质量流量控制器.它可自动控制气体的流量.用户可以根据自己的需要进行流量的设定.控制器的电磁阀自动控制输出恒定的质量的气体.即使系统压力或环境温度变化也不会使其偏离设定的值.Sierra 810和C100 都可进行内部或外Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 部设定,C100还可以通过手操器设定.当有用户需求对气体流量进行稳定控制时,质量流量控制器就是他的一个很好的选择. 2. 质量流量计/控制器的工作原理质量流量计/控制器主要是由微管传感器,线性层流器(LFE);放大输出电路;显示电路(带显示系列);自动电磁控制阀(带控制功能系列)组成.请参考Sierra 840剖面结构图.卡式或D 型输入/输出接口.主层流通道的一体设计使流量成比例内置的常闭电磁阀可在不同压力下准确控制内部316不锈钢表面经过电抛光处理 SIERR 直型大微管道可清洁专利传感器大直径的阀门孔可防止堵塞两端带方便拆卸的清洁密封头Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 图中的铂传感器采用毛细管温差法原理测量气体的质量流量.将传感器加热电桥测量的流量信号放大再送到处理电路.处理后的信号可以直接输出到用户的检测系统或通过电位检测直接在本地显示上输出质量流量的读数.同时放大后的流量信号.与设定信号相比较,再将差值信号放大后去控制电磁调节阀闭环控制流过控制器的流量与设定流量相等.3. 怎么理解质量流量计/控制器的单位?国际上MFM/MFC 气体质量流量计通常使用的单位一般以sccm(standard Cubic Centimeter per minute)标准立方毫升每分钟. S 标准状态规定为压力101.325Kpa(760毫米汞柱);温度0℃ (32℉)状态下气体的流量.这是MFM/MFC 与其他体积型流量计的重要区别.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 对多数用户而言,体积流量计的表示方法很符合习惯,便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过的气体的质量(如Kg/min 或克/分钟).这个要求很容易实现.因为在标准状态下的气体.压力和温度都是固定的.那么气体的密度也就是一个常数.我们可以通过数据表查出密度值.只需做一个简单的乘法就可以求得以克每分钟为单位的流量值.所以在标准状态下的体积流量值是等同于质量流量的.同时SLPM 是被全世界质量流量计/控制器厂商共同采用的单位.符合国际半导体协会制定的SEMI 国际标准可参考SMEI E12. 4. 什么时候用MFM,什么时候用MFC?一般而言,只需要对气体流量进行检测测量时,用MFM;需要对气体流量进行控制时使用MFC.合理选取MFM/MFC 很重要.有些用户认为MFC 也可以当作MFM 使用.只要把MFC 的阀门状态设定为Purge(清洗或清洁功能.该功能是把阀门全打开.)就可以当作MFM 使用.但在该功能使用时测量低值部分很容易造成阀门过热.测量精度降低.所以在MFM/MFC 选用时要让客户了解自己需要的是什么.正确选取MFM/MFC. 5. MFM/MFC 的主要优点是什么.(1) 测量或控制的流量值不因温度或压力的波动而失准.对于大多数体积型的流量测量而言,很难避免系统的压力波动和环境及介质温度Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 变化的影响.并且会导致较大的误差.而对MFM/MFC 一般则可忽略不计.(2) 测量控制的自动化. MFM/MFC 可以将流量测量值以标准的电信号输出.这样很容易实现对流量数字显示;累计;数据采集;计算机管理.MFC 更是可以自动控制恒定流量.通常的模拟MFM/MFC 输出信号都为0-5V 或4-20mA.还有0-10V 可选.数字式的MFM/MFC 如Sierra 的Smart-Trak 系列带RS-232串行通信.能结合Sierra 的软件非常方便地与计算机连接进行自动控制.(3) 精确稳定的流量控制.MFC 可以精确控制气体的给定量,这对很多工艺处理过程相当重要.对于不同气体的比例控制或比例混合特别适用(4) 适用范围广.MFM/MFC 可使用于绝大部份与316L 不锈钢兼容的气体(包括一些腐蚀性气体.如H2S;HCL;HF 等. 具体参考本公司800系列和100系列的气体数据表. 注:强腐蚀性气体测量或控制时必需注意泄漏和是否干燥.某些气体与水气结合后形成强酸, 腐蚀不锈钢.对于该类型气体保用期只有三个月.)量程比宽也是MFM/MFC 的一大特点.最小流量一般为0~10sccm 可特殊定制0-4sccm.MFM/MFC 最大流量0~5600 slpm.控制器范围可对2%~100%.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 6. MFM/MFC 优缺点及使用的注意事项. 相对于廉价的转子流量计来说.MFM/MFC 价格比较昂贵.在使用过程中主要注意的四个问题. 1). 粉尘;通常在测量过程中都要求客户加装过滤器.因为如果粉尘或大颗粒物进入传感器可能会造成堵塞.误差增大.而SIERRA 800系列可清洁型;大直径传感器和入口过滤网很大程度上减少了粉尘造成的测量误差.一般的少量粉尘对测量的影响不大.2). 潮湿或带油污带水的气体对测量影响很大.潮湿的腐蚀性气体会腐蚀内部的不锈钢部件或密封圈.所以在测量强酸或强腐蚀性气体时必须要求用户对气体进行干燥处理再进行测量或控制.同时要求用户格外注意气体的泄漏.普通的气体尽可能干燥.湿度太大会造成测量误差增大.正确使用,安全操作,对每的用户都是最重要的.7. MFM/MFC 的压力损耗和压差需求.流体经过MFM 的层流器和传感器势必造成压力损耗.具体的压力损耗值请查看特定型号产品数据表.某些客户在压力损耗要求上很严格,要求压力损耗很小.这时我们就考虑选择合适的型号或特殊定做尽可能减小压力损耗以满足客户要求.在MFC 选用时也要考虑进出口压力差是否能满足要求.压力差太小.控制流量有可能将达不到要求的控制点.造成阀门过热.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 8. MFM/MFC 在高压气源下的使用. 要在高压条件下正常使用需要注意三点.第一,选择耐压符合要求的MFM/MFC;第二;尽可能挑选工作压力高的系列产品如不锈钢表体的产品.第三,要在MFC 气路前加减压阀,稳定入口气压.在出口也加稳压.这样就可以较稳定地控制MFC 的压力差.让MFC 更稳定高精度地安全工作.9 如何为MFM/MFC 选择合适的O-Ring(密封圈)MFM/MFC 可以用于各种气体的测量与控制.但要注意的是对于腐蚀性或特殊气体,需要选择恰当的型号和密封圈.用户在定货时.都必需正确填些Sierra 提供的ADS(应用数据表) 它包含产品型号;气体种类和具体的应用条件.这样制造商厂方的工程人员就可以再次核实该型号是否适合该应用条件.以免因为选型或错误选择O-ring 造成不必要的损失或危险. Sierra 提供的O-Ring 材料有Viton 橡胶;Neoprene 橡胶;Kalrez 橡胶及Teflon.材质;具体何种气体应使用何种O-ring.请查看800和100系列的气体数据表.和查找相关气体兼容性数据. 11.产品定货时应当注意的问题.这一点关系到客户和代理商的切身利益.涉及到的问题或细节也比较多.因而代理商尽可能向用户详尽客观地向用户说明SIERRA 产品的用途及Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 注意事项.责任.避免不必要的误解.把前面的工作做得细致些会避免我们后期的大堆麻烦. (1).选择正确的量程.第一:将用户提供的测量流量范围转换为标准状态下的流量(是质量流量).第二:根据Sierra 提供的气体间流量转换系数,将用户所测量气体的质量流量大小换算成相对N2流量大小的流量值.便于正确选择型号.各种气体相对N2的流量值大小可以从Sierra 800或100系列K 系数表查找.如有混合气体的.也可以通过100型号的混合气体K 系数计算软件求得作微管MFM/MFC 参考K 值.(注:现国际上几大著名MFM/MFC 厂商都有各自的K 系数表.会有些小的差别.但基本值都是很接近的.)第三:确定所需标准量程.由于Sierra 所有产品都是根据用户要求量身定做.量程范围避免过大或过小.因为通常MFM/MFC 的误差指示都是满量程的百分比规定的.(%FS),如果实际流量值很小而满量程值选取过大,则测量值的相对误差就会增大.(2)正确选择过程压力和MFC 的压力差;尽可能准确地了解清楚用户测量管道中的压力.和MFC 的压力差.Sierra 将会在标定时进行压力补偿标定.使得产品安装到用户管道时更能精确测量控制.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: (3)关于MFM/MFC 三大指标的说明准确度;线性;重复性是MFM/MFC 三大重要指标.其中重复性在很多场合应用很重要. Sierra 基本产品精度为1%满量程;820及810系列产品精度为1.5%满量程. Sierra 独特的LFE 技术.800系列对不同流量范围的的测量配备各种LFE.以达到流量与输出信号线性度更好.输出成正比例关系.Sierra 的100型号蝶片式LFE 技术使得单个仪表可以同时测量多种气体.同时由于线性度极好实现了两点标定即可满足测量精度要求.传感器对输出型号及流量关系.所取值范围是小方框内线性较好的区域.以下为几种主要LFE 种类参考图片:822尼龙Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 826/827铝表体LEF822S 不锈钢系列小流量822S 不锈钢系列中流量822S 不锈钢系列高流量Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 100系列LFE重复性方面100型号标准值为千份之二. 830/840标准值为千分之一点五.820系列稍差些为千份之五. (4)客户对响应时间的选择.有些客户对MFM/MFC 的响应时间有较高的要求.因为要监控跳变或波动较大的气体流量.标100系列准值为300毫秒.两秒内基本接近新的设定点.800系列为800毫秒.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: (5) 对安装位置的要求.对于Sierra 800系列产品.由于用的是大直径可清洁型传感器.在用户订购产品时.填写应用数据表(ADS)时要求注明安装的方向.是平衡或垂直向上,垂直向下. 但是对于己于100 Smart-trak 系列由于传感器直径相当小,只有0.25毫米.任何安装方向对它的影响都可以忽略不计. (6) 注意进出口连接头的大小和方式从1/8”到两寸大小接头.从Swagelok 卡套式;VCR;VCO;螺纹.注意流量大小选择合适的接头.一般流量小的可选择小口径接头.流量大的要选择大口径接头.具体查看价格表或选型表中的接口流量要求.借口类型根据用户要求和具体气体应用选择不同的接口.VCR 更适合一些高端要求的应用.腐蚀气体的应用.同时在国内很多用户使用的都是公制尺寸的连接头.这时需要购买一些转接头进行转换连接.Swagelok 压垫密封式连接Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: VCR 连接方式及介绍Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: VCO 连接图介绍Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: (7) 电气连接的方式.以下列举Sierra MFM/MFC 常用的信号及电源接口方式.型号 822/824/826/827Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 用户可安装上图购买购买九针的D 型串口接头.该接头在一般电脑配件或电子市场都可以找到.可以从D 型接头上供电源.也可以从下面的3.0规格插孔供电.注意是内正外负.在国内购买电源后如果有条件.测量一下其输出电压及波型.防止电压过高或过低.影响仪表测量精度.甚至损坏仪表.810系列Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 810系列只能通过双排十五针D 型口供电.注意最新的D 型口接线方式.以跟随说明书为准.同时设定点的来源有内设和外设.可通过810内部DIP 小开关转换. 注意: 第六个小开关是不使用的.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 830/840卡式连接.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 830/840 D 形头连接.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 100 smart-trak 三排D 型连接Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 180 Max-Trak 内部双排连接座Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 以上仅为Sierra MFM/MFC 特点和使用的使用上的一些介绍.更多详细的资料请查看各型号的操作说明书. 如有任何意见或建议请来电或email.下面再提供一篇文章做参考.不过关于K 系数.使用Sierra 的K 系数表或100混合气体K 系数计算器就可以得到结果.How do you calculate a gas correction factor if you flow a mixture of gases?For gas mixtures, the calculated mass flow controller (MFC) gas correction factor (GCF) is not simply the weighted average of each component's GCF. Instead, the GCF (relative to nitrogen) is calculated by the following equation (for n gases):Here, a 1 through a n are the fractional flows of gas 1 through n; s 1 through s n are the molecular structure factors; d 1 through d n are the standard densities; and c p1 through c pn are the specific temperatures. Values for s, d, and c p are available for most gases; many are listed in our MFC manuals. The values for a 1 through a n will depend upon the application. (Remember that a 1 through a n must add up to 1.0.) Molecular Structure correction factor(s):• 1.030 for monoatomic gases • 1.000 for diatomic gases • .941 for triatomic gases• .880 for polyatomic gases (four or more atoms)Example:Gas 1 = argon at 150 sccm Gas 2 = nitrogen at 50 sccmCorporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: GCF=1.302上式中的d=为密度值Cp=气体的定压比热S=气体份子构成系数. 单原子分子与多原子份子的值是有差别的.What is an sccm?Sccm stands for Standard Cubic Centimeters per Minute. Where "Standard" means referenced to 0 degrees Celsius and 760 Torr.What gcf do I use if flowing a gas that is different than the gas that the MFC was calibrated for? Take the gcf of the gas that you are flowing and divide that by the gcf of the gas that the MFC was calibrated for. Example: the MFC is calibrated for 100 sccm of Argon (gcf 1.39) and you are flowing CO2 (gcf = 0.7) the resulting effective gcf would be 0.7/1.39 = 0.50. Therefore the 100 sccm Argon instrument will be flowing 50 sccm of CO2 at full scale.What should the gcf (gas correction factor) be if I am flowing the gas that the instrument is calibrated for?The gcf would be 1.。