无尘室等级
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无尘室等级
无尘室等级可以分为以下几个级别:一级、百级、千级、万级、十万级、三十万级、百万级。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。
目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A 级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称级别中的千级。
各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多。
1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗
100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗
数字越小,洁净等级越高,每个等级所管控的颗粒大小也不一样。