招标设备的技术条件
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招标设备的技术条件
探针台
1.功能要求
1.1要求设备结构设计合理,采用先进技术,保证系统具有良好的定位和测量
精度。
设备使用、操作、维修方便且安全性高。
1.2DC-26.5GHz的常规S参数测试,满足常用器件的直流、射频测试。
注:根
据配探针的情况
1.3具有160倍连续变焦距显微镜,可外接CCD摄像头和显示器,方便观测待测
品及对测试过程作实时监测。
注:物镜不小于6.7倍,目镜不小于25倍1.4载物台分区吸附被测件,并可独立控制,含2个附加载物台,用于放置校准
片。
1.5具备RF校准软件,能进行校准及S参数测试。
2.技术指标和参数
2.1主机:6英寸手动探针台
2.2载物台:
2.2.1可装载6英寸及以内被测件,兼容4,2英寸及单芯片。
2.2.3平整度≤±10μm
2.2.4载物台调节方式
(1)采用air bearing的全量程大范围快速移动,XY移动范围180mm x230mm,提高上下芯片效率并可快速移动至待测区域。
Theta轴调谐范围360。
(2)采用千分尺,对X/Y/THETA方向进行精确微调,分辨率优于或等于1um(XY)。
Theta轴调谐分辨率优于或等于7.5X10-3gradient。
2.2.5载物台具有4个真空吸附区,以满足不同大小的被测件。
载物台具有真空开关控制。
2.3探针台主机的平台
2.3.1Z方向可调节位移:20mm
2.3.2载物台和平台的高度距离最小10mm
2.3.3同时支持6个DC探针座和4个RF探针座的放置
2.4压杆升降装置
2.4.1压杆升降装置进行探针与被测件之间进行3个离散位置的控制:接触、分
离(300um)、安全装载(3mm)
2.4.2在装载位置有安全锁定功能。
2.5探针座及探针臂等附件
2.5.1功能:提供高精度的X/Y/Z移动,支撑各种类型的测试探针类型,并且为
针尖与样品电极提供准确定位,确保接触的可靠性。
2.5.2射频探针座(数量:2个)含探针臂(数量:2个)
1)磁性吸附
2)X/Y/Z分辨率<3μm
3)X/Y/Z行程范围:13mm×13mm×13mm
2.6射频探针
频率DC-26GHz
电缆接口3.5mm/45度角
RF power@10GHz≤5W,
GSG,针间距400
2.8校准片
支持SOLT、LRM and TRL校准方式,频率范围达到110GHz。
2.9射频电缆
DC-26GHz,3.5mm接口,80cm长
2.10射频探针和射频校准软件应由同一探针台设备厂家独立研发提供,并具有独立知识产权,以保证后期技术服务能力。
2.11具有160倍连续变焦距显微镜,可外接CCD摄像头和显示器,方便观测待
测品及对测试过程作实时监测。
2.12设备厂家通过ISO系列质量规范认证。