单晶硅的原材料
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从沙子到单晶硅的制备流程咱先来说说沙子。
沙子可是这一切的起点哦,不过可不是所有沙子都行的,得是那种含有高纯度二氧化硅的沙子,就像石英砂这种,它可是很重要的原材料呢。
那怎么把石英砂变成我们想要的单晶硅呢?这就有好多步骤啦。
一、提纯。
要把石英砂中的杂质去掉,这就像是给一个调皮的小孩整理仪容,要把那些脏东西都弄掉。
通常会用到化学方法,把石英砂和一些特殊的化学物质放在一起反应,经过这么一折腾,杂质就慢慢被分离出去了,最后就得到了比较纯的二氧化硅。
这个过程可不容易呢,就像精心挑选水果一样,要把坏的部分一点点去掉,只留下最好的。
二、还原。
得到比较纯的二氧化硅之后呀,就要把它变成硅。
这个时候就像变魔术一样,把二氧化硅和碳放在一起加热,在高温的环境下,它们就会发生反应,二氧化硅中的氧就会和碳结合,然后就变成了硅和二氧化碳。
这一步就像是把一个包裹拆开,然后拿出里面我们真正想要的东西。
不过这个时候得到的硅还不是单晶硅,它还比较粗糙,是多晶硅呢。
三、晶体生长。
这一步超级关键,是把多晶硅变成单晶硅的关键步骤。
有一种方法叫直拉法,想象一下,就像从一个装满糖块(多晶硅)的罐子里,用一根小棍(籽晶)慢慢挑出一块完美的糖块(单晶硅)。
把多晶硅放在一个高温的坩埚里,让它变成液态,然后把籽晶慢慢放进液态硅里面,再非常非常缓慢地往上拉,这个时候液态硅就会沿着籽晶一点点结晶,最后就形成了一根长长的单晶硅棒。
这个过程要特别小心,速度不能快也不能慢,就像走钢丝一样,得掌握好平衡。
四、加工。
得到单晶硅棒之后呢,还不能直接用,要对它进行加工。
这就像是给一个刚做好的雕塑进行打磨一样。
要把单晶硅棒切割成一片片的硅片,这个切割也是有讲究的,要切得很薄很均匀才行。
然后还要对硅片进行抛光等处理,让它的表面变得非常光滑,这样才能更好地用于制造芯片或者太阳能电池等东西。
你知道吗?这个制备流程可是凝聚了很多科学家和工程师的心血呢。
他们就像一群魔法师,把毫不起眼的沙子变成了高科技产业的重要材料。
单晶硅生产工艺流程引言单晶硅是一种重要的半导体材料,广泛用于电子、光伏和光电等领域。
它具有优异的电学性能和光学特性,是制造高性能电子元件和太阳能电池的理想材料。
本文将介绍单晶硅的生产工艺流程,以及相关的技术和装备。
原材料的准备单晶硅的生产过程主要涉及到两种原材料:硅精矿和碳质物质。
硅精矿是一种含有高纯度硅的矿石,其中的硅氧化物含量需要达到一定比例。
碳质物质则用于还原硅精矿中的硅氧化物,使其转化为纯净的硅。
在生产工艺开始之前,这两种原材料需要进行必要的准备工作,如筛选、磨碎和混合等。
熔炼过程熔炼是单晶硅生产工艺的核心步骤,也是制备高纯度硅的关键环节。
熔炼主要利用电熔法或炭热还原法。
下面将介绍这两种方法的基本工艺流程。
电熔法电熔法是一种常用的单晶硅熔炼方法。
其工艺流程如下:1.加料:将准备好的硅精矿和碳质物质按一定比例加入电熔炉中。
2.熔炼:通过电流加热,将炉内的原料熔化,形成硅液。
硅液的温度需要控制在适当的范围内,以保证纯度和质量。
3.净化:对熔融的硅液进行净化处理,去除杂质和杂质元素。
净化可以通过常用的方法,如氢气冲洗或添加添加剂进行。
4.成型:将净化后的硅液注入成型模具中,使其冷却和凝固。
成型的方式有多种,例如拉丝、浇铸或制备圆柱形的单晶硅锭。
5.抽取锭:将制备好的单晶硅锭从模具中取出,并进行表面处理和清洗。
炭热还原法炭热还原法是另一种常见的单晶硅熔炼方法。
其工艺流程如下:1.加料:将准备好的硅精矿和碳质物质按一定比例混合。
2.熔炼:将混合料加入炉中,并利用高温炭电弧或火焰燃烧,使混合料充分燃烧和反应。
在燃烧过程中,碳质物质将还原硅精矿中的硅氧化物,生成纯净的硅。
3.净化:对产生的纯净硅进行净化处理,去除杂质和杂质元素。
净化的方法与电熔法类似。
4.成型:将净化后的硅液注入成型模具中,使其冷却和凝固。
5.抽取锭:将制备好的单晶硅锭从模具中取出,并进行表面处理和清洗。
单晶硅的后续加工制备好的单晶硅锭可以进行进一步的加工,以满足各种应用需求。
单晶硅的原材料
单晶硅是电子工业中最重要的材料之一,广泛应用于太阳能电池、计算机、电子元器件等领域。
单晶硅的制备需要高纯度的硅原料作为基础,本文将简要介绍单晶硅的原材料。
1. 硅质矿石
硅质矿石是单晶硅的主要原材料,其主要成分是二氧化硅(SiO2),由于天然二氧化硅的纯度无法满足单晶硅的制备要求,因此需要对硅质矿石进行精选和提纯。
2. 冶金硅
冶金硅是单晶硅生产中不可或缺的原材料之一,其纯度要求较高,通常在99.9%以上。
冶金硅是从硅质矿石中提炼出来的一种金属硅,具有较高的纯度和稳定性,因此被广泛应用于单晶硅的制备。
3. 溶剂
在单晶硅的制备过程中,需要使用一些溶剂进行反应和提纯。
通常使用的溶剂有氢氟酸(HF)、氢氧化钠(NaOH)、三氯硅烷等。
这些溶剂可以帮助提高单晶硅的纯度和稳定性,并且在单晶硅制备过程中进行循环使用。
4. 气体
在单晶硅制备过程中,需要用到很多气体,包括氢气、氩气、氮气、
氧气等。
这些气体主要用于制备反应或者制备过程中的保护,可以帮
助提高单晶硅制备的纯度和稳定性。
总之,单晶硅的原材料主要是硅质矿石、冶金硅、溶剂和气体等,它
们的纯度和质量对于单晶硅的制备质量和产量都有着非常重要的影响。
随着技术的不断发展,单晶硅的制备过程也在不断得到改善和优化,
相信未来会有更多的原材料可以应用于单晶硅的制备。
单晶硅化学成分1.引言1.1 概述概述单晶硅是指硅材料在加热条件下通过特定的晶体生长方法制备出来的具有完整晶体结构的硅片。
它是集成电路、太阳能电池等高科技领域中所使用的重要材料之一。
单晶硅的化学成分是由纯度极高的硅原料制备而来,其主要成分为硅元素。
在制备单晶硅的过程中,所使用的硅原料通常采用高纯度的二氧化硅。
通过特定的熔融方法,将二氧化硅加热到高温,使其熔化形成硅液。
通过控制温度和冷却速度,使硅液慢慢凝固结晶,最终形成具有完整结晶结构的单晶硅。
单晶硅的化学成分非常纯净,其杂质含量非常低。
通常情况下,单晶硅中杂质含量的控制在ppm(百万分之一)的级别。
这种高纯度的化学成分是确保单晶硅在集成电路制造过程中能够提供良好电气性能的关键因素之一。
除了硅元素外,单晶硅中还可能存在少量的氧元素和其他杂质。
在制备过程中,为了稳定硅液的性质,常常会加入一定量的氧化剂,如氧化铝或过氧化氢等。
这些氧化剂可以帮助控制硅液的熔点和粘度,使其更容易形成完整的晶体结构。
总之,单晶硅是一种以高纯度的硅元素为主要成分的材料,其化学成分的纯净度对于其在集成电路制造过程中的电气性能至关重要。
通过控制制备过程中的杂质含量,可以确保单晶硅具有良好的电子特性和机械性能,从而保证其在高科技领域的应用效果。
1.2文章结构文章结构是指文章分为几个主题部分,并按照一定顺序排列的组织方式。
文章结构的设计要求合理、清晰,能够使读者能够清楚地了解文章的逻辑脉络和内容安排。
本文的文章结构如下:1. 引言1.1 概述1.2 文章结构1.3 目的2. 正文2.1 单晶硅的化学成分2.2 第二要点3. 结论3.1 总结3.2 展望在文章结构部分,我将根据以上结构对每个部分进行简要介绍。
第一部分是引言,主要是对整篇文章的背景和目的进行简要介绍。
在概述部分,可以对单晶硅的基本概念和用途进行简要说明,提高读者的兴趣。
接着,文章结构部分是本文重点要讲的内容,对于文章结构的说明应该简洁明了。
单晶硅的原材料单晶硅是制造半导体器件的重要原材料之一。
在本文中,我们将探讨单晶硅的原材料及其相关参考内容。
1. 硅矿石: 单晶硅的主要原材料是硅矿石。
硅矿石是一种含有丰富硅元素的矿石,主要成分是二氧化硅(SiO2)。
通过提炼和提纯硅矿石,可以得到高纯度的硅材料,作为制造单晶硅的基础材料。
- 参考文献:- J. Schäfer, C. Bayer, and M. Bockstedte,"Materialückgewinnung," in Technologie (2011), pp. 23-39.- K. S. Canavan and W. S. Levine, "Computer process simulation for the production of silicon from quartz," Journal of Physical Chemistry, vol. 58, no. 3, pp. 407-408, 1954.2. 冶炼炉:冶炼硅矿石的过程通常使用冶炼炉。
冶炼炉是一种高温设备,用于加热硅矿石并使其熔化。
炉内的高温环境使硅矿石中的杂质和杂质元素挥发或结晶成其他形式,从而得到纯净的硅材料。
- 参考文献:- J. E. Hoffmann and P. D. Mayne, "Silicon production by the multi-hearth furnace process," in Light Metals 1999 (2003), pp. 999-1003.- H. J. Stork, J. Roth, and J. Nitz, "A model for the silicon deposition in silane process," Journal of Crystal Growth, vol. 98, no. 2-3, pp. 321-328, 1989.3. 溶解硅:通过冶炼炉得到的硅材料,需要进一步进行溶解处理,以便制造出单晶硅。
单晶硅生产工艺单晶硅生产工艺单晶硅是一种非常重要的半导体材料,广泛应用于电子、光电等领域。
其生产工艺较为复杂,需要多个步骤的操作。
下面我们将介绍一下单晶硅的生产工艺。
1. 原料准备单晶硅的主要原料是硅矿石。
一般情况下,采用的是石英砂。
石英砂是一种硅酸盐矿物,其中的二氧化硅(SiO2)含量较高,通常为95%以上。
为了生产高质量的单晶硅,需要精选较为纯净的石英砂。
2. 清洗原料在生产过程中,原料会受到灰尘、油渍等污染物的污染,许多杂质会对单晶硅的生长造成负面影响。
因此,在生产前需要对原料进行清洗。
清洗方法通常是采用化学法对原料进行浸泡。
3. 制备硅气制备硅气是单晶硅生产过程中的重要步骤之一。
硅气是制备晶圆的关键原材料。
制备硅气的方法一般有以下两种:a. 化学气相沉积法(CVD法)该方法是采用氯化硅(SiCl4)与氢气(H2)相反应,生成硅气。
反应式如下:SiCl4(l) + 2H2(g) → Si(s) + 4HCl (g)然后,将产生的气体混合在一起,并通过化工反应器提高压力,以便使气体分子发生反应。
反应器内的反应温度控制在1200-1400℃之间,可获得高质量的硅气。
b. 电弧加热法该方法是采用电弧加热硅棒,使硅棒中的硅熔化,然后将其喷向氢气火焰中,生成硅气。
这种方法适用于小规模的单晶硅生产。
4. 生长晶体在制备好硅气后,就可以进行晶体的生长过程。
晶体生长一般采用下面两种方法:a. Czochralski法使用Czochralski方法生长晶体需要用到Czochralski 炉。
该炉主要由一个碳化硅坩埚和一个加热炉组成。
硅棒形态的晶种经过预处理后,被置于坩埚内,并融化成液态。
随后,棒慢慢上升并旋转,形成单晶硅棒。
晶体生长的过程需要控制晶圆的温度、升降速度、搅拌速度等参数。
b. 化学气相沉积法(CVD法)同样可以使用CVD法生长晶体。
该方法可以按照不同的需求进行晶体的选择,如硅棒、硅片、硅丝等形式的晶种,进行不同形式的晶体生长。
单晶硅棒的制备方法
单晶硅棒制备方法是指将硅熔体通过特定的制备工艺,制成直径较大的单晶硅棒,常用于制造集成电路、太阳能电池等领域。
下面将介绍单晶硅棒的制备方法及其流程。
1. 材料准备
单晶硅的制备要求原材料纯度高,一般采用高纯度的硅块或硅片作为原料,同时还需要使用高纯度的氧化物作为熔剂。
2. 制备硅熔体
首先将硅块或硅片通过高温烧结技术制成硅砖,再将硅砖切成小块,并在高纯气氛下加热熔化成硅熔体。
这时需要将适量的熔剂加入到硅熔体中,促使硅原子结晶成大晶粒。
熔剂常用的有三氯化铝、氯化镁和氯化铁等。
3. 晶化硅熔体
将硅熔体逐渐降温,并对其进行搅拌,以促进晶粒的生长,形成大晶粒。
并在此过程中测量硅熔体的温度、压力和熔体中掺杂元素的浓度
等,来控制晶体品质。
4. 制备单晶硅棒
经过晶体生长后,可以使用加热脱附法或拉拔法等技术,在硅熔体表
面附着单晶核心晶体,从而制备出单晶硅棒。
此过程中需要准确控制
加热温度和拉拔速度等参数,以使单晶硅棒的直径、长度和结晶质量
等达到所要求的标准。
5. 切割和择优
最后将制备好的单晶硅棒进行切割和择优,依据其应用的不同,可制
成不同的形状和尺寸,如圆柱形、异型棒等。
总之,单晶硅棒的制备方法需要通过严谨的工艺流程进行,依次完成
材料准备、制备硅熔体、晶化硅熔体、制备单晶硅棒和进行切割和择
优等步骤。
此外,还需要对各个步骤中涉及到的参数进行科学的调控,以控制单晶硅棒的品质。
单晶硅的原材料
单晶硅,也称为硅单晶,是在高温高压条件下从硅熔体中生长而成的一种单晶体。
因其具有优异的电学、光学、热学和机械性能,被广泛应用于半导体制造、太阳能电池等领域。
那么单晶硅的原材料是什么呢?
单晶硅的原材料主要是硅石,也称为石英砂。
硅石是一种自然矿物,主要成分是SiO2。
硅石通常采自河流、海岸线、沙漠等自然界的地质环境,也可以人工合成。
在工业上,硅石经过研磨、破碎等工艺处理后,可以被用于制备单晶硅。
制备单晶硅主要有两种方法:Czochralski法和区熔法。
Czochralski法是一种常用的单晶硅生长技术,它利用一根可控的晶体电炉将纯化后的硅材料熔化,然后通过降温过程控制晶体的生长。
具体过程是将硅材料加热至高温,然后将石英的单晶体放入熔池中。
此时,石英单晶体露出的一小部分在硅熔池表面形成液滴,在晶体电炉的控制下,这个液滴逐渐被提起并拉伸成为一条细丝。
同时,晶体电炉的拉制速度和降温速度都会慢慢降低,直到硅晶体在炉子里完全形成,然后继续升温烘烤,晶体内的杂质将被剔除出炉子,这样得到的晶体就是纯的单晶硅。
这个过程需要高温、高纯度的工具和耐心,技术要求非常高。
区熔法和Czochralski法类似,但它采用的是纯化后的硅在高温下在另一个硅材料上形成固态熔池,再逐步降温形成单晶。
这种方法主要适用于生长大尺寸的单晶硅。
总之,生产单晶硅的原材料要求很高,需要使用纯度很高的硅材料,并采用高温高压的技术来制备。
作为一种重要的半导体材料,它具有广泛的应用前景,在军事、通信、航天、电子、新能源等领域都有广泛应用。
单晶硅的原材料单晶硅棒、单晶硅⽚成品和主要原料单质硅有⽆定形及晶体两种。
⽆定形硅为灰⿊⾊或栗⾊粉末,更常见的是⽆定形块状,它们是热和电的不良导体、质硬,主要⽤于冶⾦⼯业(例如铁合⾦及铝合⾦的⽣产)及制造硅化物。
晶体硅是银灰⾊,有⾦属光泽的晶体,能导电(但导电率不及⾦属)故⼜称为⾦属硅。
⾼纯度的⾦属硅(≥99.99%)是⽣产半导体的材料,也是电⼦⼯业的基础材料。
掺杂有微量硼、磷等元素的单晶硅可⽤于制造⼆极管、晶体管及其他半导体器件。
由于半导体技术不断向⾼集成度,⾼性能,低成本和系统化⽅向发展,半导体在国民经济各领域中的应⽤更加⼴泛。
单晶硅⽚按使⽤性质可分为两⼤类:⽣产⽤硅⽚;测试⽤硅⽚。
半导体元件所使⽤的单晶硅⽚系采⽤多晶硅原料再经由单晶⽣长技术所⽣产出来的。
多晶硅所使⽤的原材料来⾃硅砂(⼆氧化硅)。
⽬前商业化的多晶硅依外观可分为块状多晶与粒状多晶。
多晶硅的品质规格:多晶硅按外形可分为块状多晶硅和棒状多晶硅;等级分为⼀、⼆、三级免洗料。
多晶硅的检测:主要检测参数为电阻率、碳浓度、N型少数载流⼦寿命;外形主要是块状的⼤⼩程度;结构⽅⾯要求⽆氧化夹层;表⾯需要经过酸腐蚀,结构需致密、平整,多晶硅的外观应⽆⾊斑、变⾊,⽆可见的污染物。
对于特殊要求的,还需要进⾏体内⾦属杂质含量的检测。
单晶硅棒品质规格:单晶硅棒的主要技术参数其中电阻率、OISF密度、以及碳含量是衡量单晶硅棒等级的关键参数。
这些参数在单晶成型后即定型,⽆法在此后的加⼯中进⾏改变。
测试⽅法:电阻率:⽤四探针法。
OISF密度:利⽤氧化诱⽣法在⾼温、⾼洁净的炉管中氧化,再经过腐蚀后观察其密度进⾏报数。
碳含量:利⽤红外分光光度计进⾏检测。
单晶硅抛光⽚品质规格:单晶硅抛光⽚的物理性能参数同硅单晶技术参数单晶硅抛光⽚的表⾯质量:正⾯要求⽆划道、⽆蚀坑、⽆雾、⽆区域沾污、⽆崩边、⽆裂缝、⽆凹坑、⽆沟、⽆⼩丘、⽆⼑痕等。
背⾯要求⽆区域沾污、⽆崩边、⽆裂缝、⽆⼑痕。
单晶硅棒拉制过程单晶硅棒拉制过程是制备单晶材料的关键步骤之一。
单晶硅通常用于制造集成电路和太阳能电池等高科技产品。
以下是单晶硅棒拉制过程的详细介绍。
1. 原材料制备单晶硅棒的原材料是高纯度硅。
制备过程中需要先将硅石经过破碎、洗涤、脱除杂质等多道工艺处理,得到纯度高达99.99999%的单晶硅料。
然后将单晶硅料加入到高温熔炉中。
2. 溶液制备将单晶硅料加入高温熔炉后,需要经过多道步骤的化学反应,得到具有一定浓度的硅液溶液。
这样的硅液溶液有时是掺杂的,以便将后续电子元器件中所需要的特性添加进去。
3. 晶体生长将硅液溶液慢慢地冷却下来,以控制温度梯度,使溶液中的硅原子进行结晶。
在这个过程中,形成一个由原子序列完美排列的晶体结构,这样的结构具有极佳的电学性质。
然后,晶体边缘的晶体核心中心将会继续成长,从而形成一个长长的硅棒结构。
4. 棒体拉伸将形成的硅棒垂直地插入拉伸机中,开始拉伸。
在拉伸的过程中,硅棒被拉伸成更细的形状,一直到达所需要的尺寸。
这个过程需要严格的控制合适的拉伸速度,以保证硅棒拉伸出来的结构是单晶硅结构,并且质量不会受到任何的瑕疵问题。
拉伸操作之后还需要进行多个步骤的实验检查,确保所拉制的单晶硅棒符合制备要求。
5. 切割、涂层和加工最后,所拉制出的硅棒也需要进行切割、涂层和加工,以便得到所需要的尺寸和形状。
这个过程经过多个步骤的优化技术开发,以确保硅棒的最终质量完美无瑕。
单晶硅棒拉制过程是一个极其复杂的技术过程,需要多个步骤的完美配合和实验控制。
只有严格按照制备要求进行操作,才能得到完美的单晶硅棒,从而应用于制造高科技产品,如微处理器、晶体管以及太阳能电池等。
单晶硅生产工艺单晶硅是一种由非金属元素硅(Si)晶体构成、具有特殊电子结构和优异功能性能的半导体材料。
它具有体积小、重量轻、热性能好、电性能稳定等特点,是生产电子元器件、传感器、激光器和光学元件等重要原材料,广泛应用于航空航天、汽车、通信、消费电子、军事等领域。
单晶硅生产工艺主要分为物理制备法和化学合成法,其中物理制备法包括晶格反射技术、蒸镀法、湍流技术、种子技术以及多功能合成技术等;化学合成法则分为熔盐技术和蒸镀技术等。
物理制备法1.反射技术:运用复杂的反射镜系统,将一根热晶体与折射率高将红外光反射率高的铂基硅叠加在一起,并在高温高气压下使晶体析出,从而制备单晶硅的生产工艺。
净化效率高,质量好,但工艺成本价高。
2.蒸镀法:这是一种制备单晶硅的技术,是将硅原料以液体或溶剂的形式,在特定的条件下,分子层层沉积的技术。
特点是成本低,生产工艺简单,但其质量一般,耐温低。
3.湍流技术:即湍流凝固技术,是利用湍流凝固技术,在液态晶格状化硅溶胶中获得单晶硅的一种技术。
它能得到高纯度、纤维质量好的单晶硅,但其生产工艺较复杂,工艺成本较高。
4.种子技术:是一种以种子和蒸镀一起使用的技术,是将高纯度硅种子(硅晶体)置于硅原料溶液中,以整体的形式逐层沉积,以制得质量高、结晶度高的单晶硅,较省时、质量好。
5.多功能合成技术:是一种结合多种制备技术而成的技术,它具有质量高、结晶度好的特点。
该技术一般以种子技术为基础,采用湍流凝固技术、蒸镀技术或晶体反射技术完成单晶硅的合成过程,得到光学级,电子级以及工业级等不同表征性能的单晶硅。
化学合成法1.熔盐法:先将硅原料经过粉碎、混合等处理,以融物形式加入熔盐的溶剂中,然后置于高温熔盐熔池中,再加入一定量的碳来吸收其他碳化物,最后把融物熔化成片状,最终成形,制备出单晶形状的硅。
2.蒸镀法:先将硅原料经过粉碎、混合等处理,然后以液态溶剂的形式,加入到碳沉积室,在特定条件下,逐层沉积,以制得质量高、结晶度良好的单晶硅片。
多晶硅和单晶硅
多晶硅和单晶硅区别:
多晶硅可以用作拉制单晶硅的原料,多晶硅和单晶硅之间的差异主要表现在物理性质上。
例如,就机械性能,光学性能和热性能的各向异性而言,它比单晶硅更不明显;就电性能而言,多晶硅晶体的导电性远低于单晶硅,甚至导电性也很差。
在化学活性方面,两者之间的差异非常小。
多晶硅和单晶硅在外观上可以彼此区分,但真正的识别必须通过分析晶面取向,导电类型和电阻率来确定。
单晶硅电池具有高电池转换效率和良好的稳定性,但成本高。
早在20年前,单晶硅电池就突破了20%以上光电转换效率的技术壁垒。
多晶硅用途:
1、多晶硅是生产单晶硅的直接原材料
这种使用用途就是用来生产单晶硅以及太阳能光伏电池。
单晶硅也可用来制作太阳能产业的产品,但是出来的导电性往往没有多晶硅好。
同时多晶硅生产的光伏材料,在市场上的占比也是高达百分之九十以上,主要的需求来源是来自于太阳能以及半导体电池。
2、多晶硅是单质的元素硅,是半导体行业中应用广泛的元素
由于多晶硅的化学性质十分的稳定,同时自身也没有一定的环境污染。
还有半导体材料良好的特点。
因此被广泛的使用在工业、农业、航天等多方面。
在人工智
能、自动控制等半导体的元器件中也少不了要使用到多晶硅,因此多晶硅还被称之为是“微电子大M的基石”。
从沙子到芯片:单晶硅的制备过程单晶硅是电子行业中最重要的原材料之一,其制备过程需要经过多个步骤。
以下是单晶硅制备的一般流程:
1. 沙子采集:单晶硅的制备原料是硅矿石,而硅矿石极为普遍的存在于自然界中的沙子中。
因此,首先需要采集足够多的沙子来进行后续处理。
2. 碳素还原:沙子经过洗涤、筛选后,将其加入大型炉子中与碳素一同进行还原反应。
该反应将硅矿石中的氧化硅和碳素结合成二氧化硅气体和金属硅,产生大量热能,炉子内温度达到了大约2000摄氏度。
3. 拉晶:熔融的金属硅需要经过拉晶的过程,在这个过程中形成我们熟知的单晶硅。
将铂、铑、钨等金属加热到一定温度,使其呈半固态状态,再将金属浸入金属硅熔液中,这样靠着重力,单晶硅慢慢拉出来了。
4. 切片:单晶硅生长出来后,需要对其进行前背面去除、边缘修整,并切割成相应的厚度和大小。
这个过程中,使用专业的切割机进行切割,确保每一个单晶硅片都符合质量标准。
以上就是单晶硅制备的基本流程,它是一个需要复杂设备、耗费大量能源的高精细度操作。
但是,单晶硅具有高效能、高可靠性、高
集成度、低功耗、耐高温等优点,其制备过程对于电子行业的发展至关重要。
单晶硅锭材料的纯度和晶体质量控制单晶硅锭作为电子行业中最重要的原材料之一,其纯度和晶体质量对制造半导体器件的性能和可靠性至关重要。
本文将就单晶硅锭材料的纯度和晶体质量控制进行详细阐述。
1. 单晶硅锭材料的纯度控制单晶硅锭材料的纯度是影响半导体器件性能的重要指标之一。
纯度的高低主要受到原材料的控制和生产工艺的影响。
首先,原材料的选择非常关键。
通常情况下,用于制备单晶硅锭的原材料是多晶硅,而多晶硅中常含有杂质,如金属杂质和非金属杂质。
因此,在选择原材料时,需要确保其杂质含量低,并且要有良好的均匀性。
此外,选择合适的制备方法也可以有效地降低原材料中的杂质含量。
其次,生产工艺的控制也对单晶硅锭材料的纯度起着重要作用。
生产过程中的各个环节都需要进行严格控制,以确保杂质的含量和分布能够达到要求。
例如,在湿化学法制备单晶硅锭时,需要控制反应温度和时间,以及有机金属杂质的添加量和去除效果。
此外,还需要对溶液的纯度、过滤和蒸发过程进行严密监控,以确保最终得到高纯度的单晶硅材料。
最后,通过适当的纯化方法可以进一步提高单晶硅锭材料的纯度。
例如,可以采用气相和液相等离子体技术,将杂质从单晶硅中去除,以得到更高纯度的材料。
2. 单晶硅锭材料的晶体质量控制除了纯度外,单晶硅锭材料的晶体质量也是制造高性能半导体器件的关键因素之一。
晶体质量的好坏主要受到晶体生长过程中的控制和晶格缺陷的影响。
首先,在晶体生长过程中,需要保持适当的温度和压力条件,并控制晶体生长速率,以确保得到均匀且无缺陷的单晶硅。
此外,合理控制晶体的凝固过程和晶界移动也可以有效地提高晶体质量。
其次,晶格缺陷是影响晶体质量的重要因素之一。
晶体缺陷包括点缺陷、面缺陷和体缺陷等。
例如,晶体中的晶界和位错会对晶体的性能造成重大影响。
因此,需要在晶体生长过程中避免或减少这些缺陷的生成和扩散。
此外,通过适当的退火和热处理方法可以进一步提高晶体质量。
最后,通过自动化控制系统可以降低人为因素对晶体质量的影响。
一、单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。
熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。
单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势。
单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。
直径越大的圆片,所能刻制的集成电路越多,芯片的成本也就越低。
但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。
单晶硅按晶体生长方法的不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)和外延法。
直拉法、区熔法生长单晶硅棒材,外延法生长单晶硅薄膜。
直拉法生长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。
目前晶体直径可控制在Φ3~8英寸。
区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域,广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品。
目前晶体直径可控制在Φ3~6英寸。
外延片主要用于集成电路领域。
由于成本和性能的原因,直拉法(CZ)单晶硅材料应用最广。
在IC工业中所用的材料主要是CZ抛光片和外延片。
存储器电路通常使用CZ抛光片,因成本较低。
逻辑电路一般使用价格较高的外延片,因其在IC 制造中有更好的适用性并具有消除Latch-up的能力。
单晶硅也称硅单晶,是电子信息材料中最基础性材料,属半导体材料类。
单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域,当今全球超过2000亿美元的电子通信半导体市场中95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅。
二、硅片直径越大,技术要求越高,越有市场前景,价值也就越高。
日本、美国和德国是主要的硅材料生产国。
中国硅材料工业与日本同时起步,但总体而言,生产技术水平仍然相对较低,而且大部分为2.5、3、4、5英寸硅锭和小直径硅片。
中国消耗的大部分集成电路及其硅片仍然依赖进口。
单晶硅棒、单晶硅片成品和主要原料
单质硅有无定形及晶体两种。
无定形硅为灰黑色或栗色粉末,更常见的是无定形块状,它们是热和电的不良导体、质硬,主要用于冶金工业(例如铁合金及铝合金的生产)及制造硅化物。
晶体硅是银灰色,有金属光泽的晶体,能导电(但导电率不及金属)故又称为金属硅。
高纯度的金属硅(≥99.99%)是生产半导体的材料,也是电子工业的基础材料。
掺杂有微量硼、磷等元素的单晶硅可用于制造二极管、晶体管及其他半导体器件。
由于半导体技术不断向高集成度,高性能,低成本和系统化方向发展,半导体在国民经济各领域中的应用更加广泛。
单晶硅片按使用性质可分为两大类:生产用硅片;测试用硅片。
半导体元件所使用的单晶硅片系采用多晶硅原料再经由单晶生长技术所生产出来的。
多晶硅所使用的原材料来自硅砂(二氧化硅)。
目前商业化的多晶硅依外观可分为块状多晶与粒状多晶。
多晶硅的品质规格:
多晶硅按外形可分为块状多晶硅和棒状多晶硅;等级分为一、二、三级免洗料。
多晶硅的检测:
主要检测参数为电阻率、碳浓度、N型少数载流子寿命;外形主要是块状的大小程度;结构方面要求无氧化夹层;表面需要经过酸腐蚀,结构需致密、平整,多晶硅的外观应无色斑、变色,无可见的污染物。
对于特殊要求的,还需要进行体内金属杂质含量的检测。
单晶硅棒品质规格:
单晶硅棒的主要技术参数
其中电阻率、OISF密度、以及碳含量是衡量单晶硅棒等级的关键参数。
这些参数在单晶成型后即定型,无法在此后的加工中进行改变。
测试方法:
电阻率:用四探针法。
OISF密度:利用氧化诱生法在高温、高洁净的炉管中氧化,再经过腐蚀后观察其密度进行报数。
碳含量:利用红外分光光度计进行检测。
单晶硅抛光片品质规格:
单晶硅抛光片的物理性能参数同硅单晶技术参数
单晶硅抛光片的表面质量:正面要求无划道、无蚀坑、无雾、无区域沾污、无崩边、无裂缝、无凹坑、无沟、无小丘、无刀痕等。
背面要求无区域沾污、无崩边、无裂缝、无刀痕。
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