关于MEMS陀螺仪的最新国外成果
1、美商亚德诺(Analog Devices, Inc., ADI)新推出的编号为 ADIS 16136 的 iSensor 数位MEMS陀螺仪。该陀螺仪具有以下 特点:
①尺寸仅火柴盒大小,却能提供3.5 o /hr的典型偏压稳定 度,且只消耗低于1瓦特的功率,重量则只有25公克。
低成本批量生产
将MEMS陀螺仪与其辅助电路整合在同一个封装内,运用创新的MEMS制程技术, 简化传感器与线路之间的焊接过程,并缩小它们的封装尺寸(多轴陀螺仪的 系统封装面积仅为3×5平方毫米),用一块硅片可一次性快速生产大量产品, 实现低成本量产。
MEMS陀螺仪的特点
缺点: 陀螺仪根据精度划分,有超高精度、中高精度陀螺仪和低精度陀螺仪。MEMS
2、CRS02系列角速度传感器(微机械陀螺仪) 是 用于测量运动物体角速度的微型惯性器件。陀螺 仪应用Corioli效果,采用硅素超微精密环型传 感件设计而生产一耐震动的高精度类比输出电压。 陀螺仪量得的是角速度资料, 经积分旋转,而经 微分可得角加速度资料。惯性系统最大的一个缺 点, 就是陀螺仪的误差会随着工作时间而累积, 这样的误差是无法接受的,需要以各种滤波和定 位方法, 去修正位置的误差。 它的主要用途是 导航、汽车安全系统、遥控直升机、车装/船双 卫星天线、航天、工业用、安定架、测量仪器、 船双电子罗盘补偿等
2、日前,意法半导体(ST)新推出13款单轴和双轴陀螺 仪。这种陀螺仪有以下值得关注的地方:
①这种全新高性能角运动传感器
可运用于手势控制的游戏机和遥
控指向产品、数字摄像机或数码
相机的图像稳定功能,以及GPS
导航辅助系统。
②意法半导体的陀螺仪包括关断模式
(当整个器件完全关断时)和睡眠模式,