电容式传感器的位移特性实验报告

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∆max 与满量程输出 的百分比来表示,即
1 ∆
δH = ± ·
× 100%
2
由表 2 数据求得正反行程差,其中最大的值为∆Hmax,根据理论拟合直线
求出yFS = 52.28 − (−564.6) = 616.88mv,由此求得迟滞误差δH,如表 5 所示
表 5 迟滞误差
xi/mm
10
10.5
11
11.5
yi
-564.6
-547.0
-529.4
-511.7
-494.1
-476.5
-458.9
-441.2
-423.6
-406.0
-388.4
-370.7
xi
12
12.5
13
13.5
14
14.5
15
15.5
16
16.5
17
17.5
yi
-353.1
-335.5
-317.9
-300.2
72
72
72
72
∑ = 1062, ∑ = −18445, ∑ = −203594, ∑ 2 = 17607
=1
=1
=1
=1
因为
k=
∑ − ∑ ∑
∑ 2 − ( ∑ )
b=
2
∑ 2 ∑ − ∑ ∑
-418
-403
-388
X/mm
12
12.5
13
13.5
14
14.5
15
15.5
16
16.5
17
17.5
U/mv
-372
-356
-339
-322
-304
-286
-269
-251
-231
-211
-192
-171
X/mm
18
18.5
19
19.5
20
20.5
21
21.5
22
22.5
23
23.5
U/mv
-149
二、 实验数据:
将电容传感器实验模板的输出端 Vo 与数显单元 Vi 相接(插入主控箱 Vi 孔),
然后调节 Rw 到中间位置,接入±15V 电源,旋动测微头改变电容传感器动极板
的位置,每隔 0.5mm 记下位移 X 与输出电压值,如表 1 所示。
表 1 实验数据—传感器输出电压与位移
正行程
反行程
-530
-532
-534
-531
-526
-520
-515
-507
-502
-496
-489
-485
三、 数据处理:
1、输入—输出特性曲线
由表 1 电容传感器的输出电压值与输入位移量可画出该传感器的输入输出
特性曲线,如图 1 所示。
图 1 电容传感器特性曲线
200
输出电压U/mv
100
0
-100
-200
由表 3 可得满量程输出+ =597,− =590,最后根据公式

δL = ±
× 100%

即可求得该电容传感器的非线性误差,如表 4 所示
表 4 校准值与理论拟合值的偏差
xi/mm
△y+
△y-
xi/mm
△y+
△y-
6
-31.6
-40.6
15
21.6
16.6
6.5
-25
-30
15.5
法和软件方法:硬件补偿方法是在电路中增加如电阻、电位器、二极管等硬件来
实现对传感器的输入输出特性曲线进行线性化补偿;软件补偿法常采用插值法、
查表法和模拟曲线法。其中插值法应用最广泛,其补偿精度与采样点货测量点的
多少或密集程度有密切联系,采样点越多,补偿精度就越高。但采样点增多势必
造成产品制造成本增加,因此采用插值法补偿时采样点一般为 5 到 10 个。
22.5
-17.97
-17.97
14
21.4
17.4
23
-17.35
-17.35
14.5
21
18
23.5
-11.72
-13.72
△max+
-31.6
yFS+
597
δL+
5.293%
△max-
-40.6
yFS-
590
δL-
6.881%
求 δL+与 δL-的平均值得到该传感器的最终线性度δL=±6.087%
性曲线仍然存在一定的非线性误差。而引起它非线性的原因,可能是由于实验机
械老化、温度漂移、肉眼读取的位移值 X 存在一定读数误差和实验过程中的操
作不当等。
因此如何提高传感器的线性度是一个值得思考的问题。对于大多数生产厂家
和用户都希望传感器的线性度指标最好,即传感器的线性度误差最小。由于传感
器在材料和制造工艺方面存在着一定的局限性,提高线性度的方法主要为硬件方
实验四
电容式传感器的位移特性实验
一、 实验原理:
利用平板电容 C=εS/d 和其它结构的关系式通过相应的结构和测量电路可
以选择 ε、S、d 中三个参数中,保持两个参数不变,而只改变其中一个参数,则
可以有测谷物干燥度(ε 变)测微小位移(变 d)和测量液位(变 S)等多种电容
传感器。变面积型电容传感器中,平板结构对极距特别敏感,测量精度受到影响,
-300
-400
-500
-600
正行程
反行程
28.5
27
25.5
24
22.5
21
19.5
18
16.5
15
13.5
12
10.5
9
7.5
6
4.5
3
1.5
0
位移X/mm
由图 1 可看到该特性曲线不完全是一条直线,因此截取该传感器的中间线性
区域做数据分析。
2、理论拟合直线与非线性误差
截取输入量x ∈ (6,23.5)mm区域,得到表 2
18
18.5
19
19.5
20
20.5
21
21.5
22
22.5
23
23.5
U+/mv
-149
-127
-106
-85
-64
-43
-25
-3
15
35
52
64
U-/mv
-147
-125
-104
-82
-61
-40
-21
-1
17
35
52
66
由表 2 可知校准次数 n=72,设 xi 为自变量位移,yi 为应变量输出电压,得
21.3
15.3
7
-19.4
-24.4
16
18.9
13.9
7.5
-14.7
-20.7
16.5
16.5
13.5
8
-11.1
-16.1
17
15.1
11.1
8.5
-6.5
-10.5
17.5
11.8
8.8
9
-0.9
-6.9
18
7.4
5.4
9.5
3.8
-3.2
18.5
3
1
10
8.4
1.4
19
-0.4
-2.4
10.5
半径。当两圆筒相对移动 Δl 时,电容变化量 ΔC 为:
∆C =
2πεd
2πε( − ∆)
2πε∆


=
= 0
ln(r2 /r1 )
ln(r2 /r1 )
ln(r2 /r1 )

于是,可得其静态灵敏度为:
=

2πε( + ∆) 2πε( − ∆)
4πε
=[

]/∆ =

五、 思考题:
1、简述什么是传感器的边缘效应,它会对传感器的性能带来哪些不利影响。
对于平行板型电容器,其极板之间存在静电场。理想平行板电容器的电场线
是直线,但实际中在靠近边缘的地方会变弯,相当于在传感器电容中并联了一个
电容,而且越靠边就越弯到边缘时最弯,这种现象叫做边缘效应。
带来的不利影响:会引起极板间的电场分布不均,导致非线性问题仍然存在,
4、静态灵敏度
灵敏度表示传感器在稳态工作情况下输出量变化量∆y 对输入量变化量∆x 的
比值,即:
K=
()
=
= ‘()


由公式可看出它就是输出—输入特性曲线的斜率,在这里用理论拟合直线的
斜率代替,因此得到
k = 35.24826255 mv/mm
5、迟滞误差
迟滞指正反行程中输出—输入特性曲线的不重合程度,用最大输出差值
∆H
xi/mm
∆H
6
-9
15
-5
6.5
-5
15.5
-6
7
-5
16
-5
7.5
-6
16.5
-3
8
-5
17
-4
8.5
-4
17.5
-3
9
-6
18
-2
9.5
-7
18.5
-2
10
-7
19
-2
10.5
-7
19.5
-3
11