微 处 理 机MICROPROCESSORS
硅基螺旋电感模型及Q值优化
高 丹,朱明华,徐元森
(中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050)
摘 要:分析了硅基螺旋电感的集总π模型,讨论了高频下衬底对Q值的影响,并用Matlab仿
真了Q值随几何尺寸改变而变化的情况。对于0.35μmCMOS工艺,铜制电感的Q值比同等条件
下铝制电感高38.5%,另外增加连线金属的厚度可以有效提高Q值。
关键词:电感;π模型;Q值;谐振;衬底损耗
中图分类号:TN4 文献标识码:A 文章编号:1002-2279(2008)01-0025-03
DesignAspectsofSpiralInductorsonSilicon:ModelingandOptimizing
GAODan,ZHUMing-hua,XUYuan-sen(ShanghaiInstituteofMicrosystemandInformationTechnology,theChineseAcademyofSciences,Shanghai200050,China)
Abstract:Alumpedphysicalmodelofspiralinductoronsiliconisanalyzed,andthesubstratelossesathighfrequencyareconsidered.TheimpactsofdifferentgeometricdimensionstoQaresimulatedbyMatlab.Inaddition,qualityfactorofcopperinductorismuchbetterthanthatofaluminumone,andQvaluecanalsobeimprovedbyincreasingthethicknessofmetal.Keywords:Inductor;πmodel;Qualityfactor;Resonance;Substrateloss