第一章 硅的晶体结构
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自然界物质存在的形态有气态物质、液态物质和固态物质。固态物质可根据它们的质点(原子、离子和分子)排列规则的不同,分为晶体和非晶体两大类。具有确定的熔点的固态物质称为晶体,如硅、砷化镓、冰及一般金属等;没有确定的熔点、加热时在某一温度范围内就逐渐软化的固态物质称为非晶体,如玻璃、松香等。
所有晶体都是由原子、分子、离子或这些粒子集团在空间按一定规则排列而成的。这种对称的、有规则的排列,叫晶体的点阵或晶体格子,简称为晶格。最小的晶格,称为晶胞。晶胞的各向长度,称为品格常数。将晶格周期地重复排列起来,就构成为整个晶体。晶体又分为单晶体和多晶体。整块材料从头到尾都按同一规则作周期性排列的晶体,称为单晶体。整个晶体由多个同样成分、同样晶体结构的小晶体(即晶粒)组成的晶体,称为多晶体。在多晶体中,每个小晶体中的原子排列顺序的位向是不同的。非晶体没有上述特征,组成它们的质点的排列是无规则的,而是“短程有序、长程无序’’的排列,所以又称为无定形态。一般的硅棒是单晶硅,粗制硅(冶金硅)和利用蒸发或气相沉积制成的硅薄膜为多晶硅,也可以为无定形硅。
硅(S1)的原子序数为14,即它的原子核周围有14个电子。这些电子围绕着原子核按一层层的轨道分布,第一层2个,第二层8个,剩下的4个排在第三层,如图所示。另图为硅的晶胞结构。它可以看作是两个面心立方晶胞沿对角线方向上位移1/4互相套构而成。这种结构被称为金刚石式结构。硅(Si)锗(Ge)等重要半导体均为金刚石式结构。1个硅原子和4个相邻的硅原子由共价键联结,这4个硅原子恰好在正四面体的4个顶角上,而四面体的中心是另一硅原子。
硅单晶的制备方法:按拉制方法不同分为无坩埚区熔(FZ)法与有坩埚直拉(CZ)法。区熔拉制的单晶不受坩埚污染,纯度较高,适于生产电阻率高于20欧/厘米的N型硅单晶(包括中子嬗变掺杂单晶)和高阻 P型硅单晶。由于含氧量低,区熔单晶机械强度较差。大量区熔单晶用于制造高压整流器、晶体闸流管、高压晶体管等器件。直接法易于获得大直径单晶,但纯度低于区熔单晶,适于生产20欧/厘米以下的硅单晶。由于含氧量高,直拉单晶机械强度较好。大量直拉单晶用于制造MOS集成电路、大功率晶体管等器件。外延片衬底单晶也用直拉法生产。硅单晶商品多制成抛光片,但对FZ单晶片与CZ单晶片须加以区别。外延片是在硅单晶片衬底(或尖晶石、蓝宝石等绝缘衬底)上外延生长硅单晶薄层而制成,大量用于制造双极型集成电路、高频晶体管、小功率晶体管等器件。
1 第一章 硅的基本性质
硅属元素周期表第三周期ⅣA族,原子序数l4,原子量28.085。硅原子的电子排布为1s22s22p63s23p2,原子价主要为4价,其次为2价,因而硅的化合物有二价化合物和四价化合物,四价化合物比较稳定。地球上硅的丰度为25.8%。硅在自然界的同位素及其所占的比例分别为:28Si为92.23%,29Si为4.67%,30Si为3.10%。硅晶体中原子以共价键结合,并具有正四面体晶体学特征。在常压下,硅晶体具有金刚石型结构,晶格常数a=0.5430nm,加压至l5GPa,则变为面心立方型,a=0.6636nm。
硅是最重要的元素半导体,是电子工业的基础材料,它的许多重要的物理化学性质,如表1.1
所示。
表1.1 硅的物理化学性质(300K)[4,6] 性 质 符号 单位 硅(Si)
原子序数
原子量或分子量
原子密度或分子密度
晶体结构
品格常数
熔 点
熔化热
蒸发热
比热
热导率(固/液)
线胀系数
沸点
密度(固/液)
临界温度
临界压强
硬度(摩氏/努氏)
弹性常数
表面张力
延展性
折射率
体积压缩系数 Z
M
a
Tm
L
cP
K
ρ
Tc
Pc
γ
n 个/cm3①
A
℃
kJ/g
kJ/g
J/(g·K)
W/(m·K)
1/K
℃
g/cm3
℃
MPa
N/cm
mN/m
m2/N 14
28.085
5.00×1022
金刚石型
5.43
1420
1.8
16(熔点)
0.7
150(300K)/46.84(熔点)
2.6×10-6
2355
2.329/2.533
4886
53.6
6.5/950
C11:16.704×106
C12:6.523 ×106
C44:7.957×106
736(熔点)
脆性
3.87
0.98×l0-11
①本书中关于分子、原子、离子密度、浓度的单位简写为cm-3或cm-2。
2
. .
.页脚 第一章
P4
问题 对14种布拉菲点阵中的体心立方,说明其中每一个阵点周围环境完全相同
答:①单看一个结晶学单胞可知,各个顶点上的阵点等价,周围环境相同。
②将单个结晶学单胞做周期性平移后可知,该结晶学单胞中的体心阵点亦可作为其他结晶学原胞的顶点阵点,即体心阵点与顶点阵点也等价,周围环境也相同。
综上所述,体心立方中每一个阵点周围环境完全相同。
问题
在二维布拉菲点阵中,具体说明正方点阵的对称性高于长方点阵。
答:对称轴作为一种对称要素,是评判对称性高低的一种依据。正方点阵有4条对称轴而长方点阵只有两条对称轴,故正方点阵的对称性高于长方点阵。
P9
问题 晶向族与晶面族概念中,都有一个“族”字。请举一个与族有关的其他例子,看看其与晶向族、晶面族有无相似性?
答:“上班族”、“追星族”…
它们与晶向族、晶面族的相似性在于同一族的事物都有某一相同的性质。
问题 几年前一个同学问了这样的问题:2e晶面该怎么画?你如何看待他的问题?应该指出,这位同学一定是动了脑筋的!结论是注重概念
答:晶面无意义、不存在。晶向是晶面的法向量,相同指数的晶面与晶向是一一对应的。在晶体中原子排布规则中,各阵点是以点阵常数为单位长度构成的离散空间,阵点坐标值均为整数,晶向指数也应为整数,因此晶面指数应为整数时晶面才有意义。(晶体学的面与数学意义下的面有区别,只有指数为整数的低指数面才有意义。)
问题 说明面心立方中(111)面间距最大,而体心立方中(110)面间距最大。隐含了方法
答:①面心立方中有晶面族{100}、{110}、{111},它们的面间距分别为
因此面心立方中{111}面间距最大。
②体心立方中有晶面族{100}、{110}、{111},其面间距分别为
因此体心立方中{110}面间距最大。
自然界物质存在的形态有气态物质、液态物质和固态物质。固态物质可根据它们的质点(原子、离子和分子)排列规则的不同,分为晶体和非晶体两大类。具有确定的熔点的固态物质称为晶体,如硅、砷化镓、冰及一般金属等;没有确定的熔点、加热时在某一温度范围内就逐渐软化的固态物质称为非晶体,如玻璃、松香等。
所有晶体都是由原子、分子、离子或这些粒子集团在空间按一定规则排列而成的。这种对称的、有规则的排列,叫晶体的点阵或晶体格子,简称为晶格。最小的晶格,称为晶胞。晶胞的各向长度,称为品格常数。将晶格周期地重复排列起来,就构成为整个晶体。晶体又分为单晶体和多晶体。整块材料从头到尾都按同一规则作周期性排列的晶体,称为单晶体。整个晶体由多个同样成分、同样晶体结构的小晶体(即晶粒)组成的晶体,称为多晶体。在多晶体中,每个小晶体中的原子排列顺序的位向是不同的。非晶体没有上述特征,组成它们的质点的排列是无规则的,而是“短程有序、长程无序’’的排列,所以又称为无定形态。一般的硅棒是单晶硅,粗制硅(冶金硅)和利用蒸发或气相沉积制成的硅薄膜为多晶硅,也可以为无定形硅。
硅(S1)的原子序数为14,即它的原子核周围有14个电子。这些电子围绕着原子核按一层层的轨道分布,第一层2个,第二层8个,剩下的4个排在第三层,如图所示。另图为硅的晶胞结构。它可以看作是两个面心立方晶胞沿对角线方向上位移1/4互相套构而成。这种结构被称为金刚石式结构。硅(Si)锗(Ge)等重要半导体均为金刚石式结构。1个硅原子和4个相邻的硅原子由共价键联结,这4个硅原子恰好在正四面体的4个顶角上,而四面体的中心是另一硅原子。
硅单晶的制备方法:按拉制方法不同分为无坩埚区熔(FZ)法与有坩埚直拉(CZ)法。区熔拉制的单晶不受坩埚污染,纯度较高,适于生产电阻率高于20欧/厘米的N型硅单晶(包括中子嬗变掺杂单晶)和高阻 P型硅单晶。由于含氧量低,区熔单晶机械强度较差。大量区熔单晶用于制造高压整流器、晶体闸流管、高压晶体管等器件。直接法易于获得大直径单晶,但纯度低于区熔单晶,适于生产20欧/厘米以下的硅单晶。由于含氧量高,直拉单晶机械强度较好。大量直拉单晶用于制造MOS集成电路、大功率晶体管等器件。外延片衬底单晶也用直拉法生产。硅单晶商品多制成抛光片,但对FZ单晶片与CZ单晶片须加以区别。外延片是在硅单晶片衬底(或尖晶石、蓝宝石等绝缘衬底)上外延生长硅单晶薄层而制成,大量用于制造双极型集成电路、高频晶体管、小功率晶体管等器件。 目前,市场上所供应的单晶硅多是以有坩埚直拉(CZ)法制备而成的,下面是直拉硅单晶生长控制主要过程示意单晶硅与多晶硅的区别