PVD和CVD涂层方法
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PVD和CVD涂层方法涂层方法目前生产上常用的涂层方法有两种:物理气相沉积(PVD) 法和化学气相沉积(CVD) 法。
前者沉积温度为500℃,涂层厚度为2~5µm;后者的沉积温度为900℃~1100℃,涂层厚度可达5~10µm,并且设备简单,涂层均匀。
因PVD法未超过高速钢本身的回火温度,故高速钢刀具一般采用PVD法,硬质合金大多采用CVD法。
硬质合金用CVD法涂层时,由于其沉积温度高,故涂层与基体之间容易形成一层脆性的脱碳层(η相),导致刀片脆性破裂。
近十几年来,随着涂覆技术的进步,硬质合金也可采用PVD法。
国外还用PVD/CVD相结合的技术,开发了复合的涂层工艺,称为PACVD法(等离子体化学气相沉积法)。
即利用等离子体来促进化学反应,可把涂覆温度降至400℃以下(目前涂覆温度已可降至180℃~200℃),使硬质合金基体与涂层材料之间不会产生扩散、相变或交换反应,可保持刀片原有的韧性。
据报道,这种方法对涂覆金刚石和立方氮化硼(CBN)超硬涂层特别有效。
用CVD法涂层时,切削刃需预先进行钝化处理(钝圆半径一般为0.02~0.08mm,切削刃强度随钝圆半径增大而提高),故刃口没有未涂层刀片锋利。
所以,对精加工产生薄切屑、要求切削刃锋利的刀具应采用PVD法。
涂层除可涂覆在普通切削刀片上外,还可涂覆到整体刀具上,目前已发展到涂覆在焊的硬质合金刀具上。
据报道,国外某公司在焊接式的硬质合金钻头上采用了PCVD法,结果使加工钢料时的钻头寿命比高速钢钻头长10倍,效率提高5倍。
涂层成份又有哪些呢?各自的区别在哪里,应用面怎样。
通常使用的涂层有:TiC、TiN、Ti(C.N)、Gr7O3、Al2O3等。
以上几种CVD的硬质涂层基本具备低的滑动摩擦系数,高的抗磨能力,高的抗接触疲劳能力,高的表面强度,保证表面具有足够的尺寸稳定性与基体之间有高的粘附强度。
PVD与CVD涂层工艺比较PVD与CVD涂层工艺比较沉积温度涂层厚度涂层表面状态主要涂层材料涂层结合强度对环境影响主要应用领域物理气相沉积500℃或更低,沉积温度低刀具变型不,基体的硬度强度不降低。
玻璃工艺中的表面改性与涂层技术1. 前言玻璃作为一种传统的材料,因其优异的透明度、化学稳定性和机械性能,在许多领域有着广泛的应用。
随着科技的进步和工业的发展,对玻璃的性能要求也越来越高。
表面改性和涂层技术作为玻璃加工的重要手段,能够显著提升玻璃的性能,拓宽其应用范围。
本文将详细探讨玻璃工艺中的表面改性和涂层技术。
2. 表面改性技术表面改性技术是指通过物理或化学方法改变玻璃表面性质的技术。
常见的表面改性方法有:化学蚀刻、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)等。
2.1 化学蚀刻化学蚀刻是利用化学反应去除玻璃表面一定厚度的物质,以改变其表面形貌和粗糙度的方法。
常用的蚀刻剂有氢氟酸、硫酸等。
化学蚀刻可以实现对玻璃表面的精细加工,用于制作微孔、微通道等结构。
2.2 物理气相沉积(PVD)PVD技术是通过真空条件下,将蒸发源的固体材料蒸发并沉积在玻璃表面,形成一层均匀、致密的薄膜。
常见的PVD方法有真空蒸发、磁控溅射等。
PVD技术可以用于制备各种功能性薄膜,如防指纹膜、抗反射膜等。
2.3 化学气相沉积(CVD)CVD技术是通过在真空条件下,将气体前驱体在加热或光照的条件下分解,在玻璃表面沉积一层薄膜。
CVD技术可以实现对玻璃表面进行纳米级加工,用于制备纳米结构薄膜。
3. 涂层技术涂层技术是在玻璃表面涂覆一层或多层涂层,以改善玻璃的性能和增加其功能。
常见的涂层方法有溶胶-凝胶法、喷涂法、 roll-to-roll 涂层等。
3.1 溶胶-凝胶法溶胶-凝胶法是通过溶液中的金属盐或氧化物与醇或酸反应,形成溶胶,随后溶胶凝胶化形成涂层。
该方法可以实现对玻璃表面进行精细调控,制备出具有特定性能的涂层,如光学涂层、抗菌涂层等。
3.2 喷涂法喷涂法是将涂料通过喷枪喷涂在玻璃表面,形成均匀的涂层。
喷涂法适用于大面积涂层制备,效率高,成本低。
常见的喷涂方法有空气喷涂、高压喷涂等。
3.3 roll-to-roll 涂层roll-to-roll 涂层是一种连续涂层制备技术,通过滚轴将涂料均匀涂覆在玻璃表面。
涂层刀具的涂层材料、涂层方法及进展方向在切削加工中,刀具性能对切削加工的效率、精度、表面质量有着决议性的影响。
刀具性能的两个关键指标硬度和强度(韧性)之间好像总是存在着冲突,硬度高的材料往往强度和韧性低,而要提高韧性往往是以硬度的下降为代价的。
在较软的刀具基体上涂覆一层或多层硬度高、耐磨性好的金属或非金属化合物薄膜(如TiC、TiN、Al2O3,等)构成的涂层刀具,较好的解决了刀具存在的强度和韧性之间的冲突,是切削刀具进展的一次革命。
涂层刀具是近20年来进展最快的新型刀具。
目前工业发达国家涂层刀具已占80%以上,CNC机床上所用的切削刀具90%以上是涂层刀具。
1涂层刀具、涂层材料及涂层方法涂层刀具的特点涂层刀具结合了基体高强度、高韧性和涂层高硬度、高耐磨性的优点,提高了刀具的耐磨性而不降低其韧性。
涂层刀具通用性广,加工范围显著扩大,使用涂层刀具可以获得明显的经济效益。
一种涂层刀具可以代替数种非涂层刀具使用,因而可以大大削减刀具的品种和库存量,简化刀具管理,降低刀具和设备成本。
但是刀具在现有的涂层工艺进行涂层后,因基体材料和涂层材料性质差别较大,涂层残留内应力大,涂层和基体之间的界面结合强度低,涂层易剥落,而且涂层过程中还造成基体强度下降、涂层刀片重磨性差、涂层设备多而杂、昂贵、工艺要求高、涂层时间长、刀具成本上升等缺点。
常用的涂层材料及性质常用的涂层材料常用的涂层材料有碳化物、氮化物、碳氮化物、氧化物、硼化物、硅化物、金刚石及复合涂层八大类数十个品种。
依据化学键的特征,可将这些涂层材料分成金属键型、共价键型和离子键型。
涂层材料的性质金属键型涂层材料(如TiB2、TiC、TiN、VC、WC等)熔点高、脆性低、界面结合强度高、交互作用趋势强、多层匹配性好,具有良好的综合性能,是最一般的涂层材料。
共价键型涂层材料(如B4C、SiC、BN、金刚石等)硬度高、热胀系数低、与基体界面结合强度差、稳定性和多层匹配性差。
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PVD和CVD涂层方法
涂层方法目前生产上常用的涂层方法有两种:物理气相沉积(PVD) 法和化学气相沉积(CVD) 法。
前者沉积温度为500℃,涂层厚度为2~5μm;后者的沉积温度为900℃~1100℃,涂层厚度可达5~10μm,并且设备简单,涂层均匀。
因PVD法未超过高速钢本身的回火温度,故高速钢刀具一般采用PVD法,硬质合金大多采用CVD法。
硬质合金用CVD法涂层时,由于其沉积温度高,故涂层与基体之间容易形成一层脆性的脱碳层(η相),导致刀片脆性破裂。
近十几年来,随着涂覆技术的进步,硬质合金也可采用PVD法。
国外还用PVD/CVD相结合的技术,开发了复合的涂层工艺,称为PACVD法(等离子体化学气相沉积法)。
即利用等离子体来促进化学反应,可把涂覆温度降至400℃以下(目前涂覆温度已可降至180℃~200℃),使硬质合金基体与涂层材料之间不会产生扩散、相变或交换反应,可保持刀片原有的韧性。
据报道,这种方法对涂覆金刚石和立方氮化硼(CBN)超硬涂层特别有效。
用CVD法涂层时,切削刃需预先进行钝化处理(钝圆半径一般为0.02~0.08mm,切削刃强度随钝圆半径增大而提高),故刃口没有未涂层刀片锋利。
所以,对精加工产生薄切屑、要求切削刃锋利的刀具应采用PVD法。
涂层除可涂覆在普通切削刀片上外,还可涂覆到整体刀具上,目前已
发展到涂覆在焊的硬质合金刀具上。
据报道,国外某公司在焊接;.
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式的硬质合金钻头上采用了PCVD法,结果使加工钢料时的钻头寿命比高速钢钻头长10倍,效率提高5倍。
涂层成份又有哪些呢?各自的区别在哪里,应用面怎样。
通常使用的涂层有:TiC、TiN、Ti(C.N)、Gr7O3、Al2O3等。
以上几种CVD的硬质涂层基本具备低的滑动摩擦系数,高的抗磨能力,高的抗接触疲劳能力,高的表面强度,保证表面具有足够的尺寸稳定性与基体之间有高的粘附强度。
PVD与CVD涂层工艺比较
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PVD与CVD涂层工艺比较
涂层
涂层表面主要涂层对环境
主要应用领域结合强沉积温度涂层厚度
状态材料影响
度
1.高速钢通用刀具:TiN
钻头、丝锥、物立铣刀。
涂层为压应TiCN
℃或更低,500刀理2.~25μm, 力,有利于抑高速钢精密复杂TiA1N
沉积温度低气刀具。
齿轮涂层较薄具:拉刀、制裂缝的扩A1o32刀具变型不,低无污染刀相,刃口锋 3.展;刃口可不整体硬质合金A1CrN
基体的硬度沉利。
具作钝处理;表。
MoS2强度不降低。
可转位螺纹刀片、积4.面致密,粗糙WC/C 等。
度低。
切断、切槽刀片。
1000℃,520μm沉积温度~TiN
涂层为拉应化学硬质合金可转为刀或更厚, 1. 高,基体TiC
排出的废气力,易生成裂气片:车刀片、铣刀片适合于开硬度、的TiCN
缝;刃口必须相高对环境等。
发多层厚强度降低A1o32作钝化处理;沉有污染。
膜涂层,金刚石2.涂层。
,需开发ZrO2积表面较粗糙。
专门的基高耐磨性。
等。
金刚石
体用于涂层。
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