电子超纯水系统工程设计方案

《电子工业纯水站设计规范》(初稿) 2007.101. 总则 (2)2. 术语 (3)3. 纯水站房 (6)3.1. 一般规定 (6)3.2. 设备布置 (7)3.3. 管道布置 (8)4. 纯水制备工艺 (10)4.1. 一般规定 (10)4.2. 预处理 (12)4.3. 脱盐及深度处理 (15)4.4. 精处理（抛光） (17)4.5. 微粒、总有机碳、细菌、溶解氧和二氧化硅 (17)4.6. 水箱、水泵及管道 (18)5. 纯水输送 (19)5.1. 一般规定 (19)5.2. 管道设计 (19)5.3. 管材与附件 (20)6. 纯水回收和节水 (21)6.1. 一般规定 (21)6.2. 纯水回收 (21)6.3. 节水措施 (22)7. 药品贮存、计量和输送 (22)7.1. 一般规定 (22)7.2. 酸、碱及盐 (23)8. 控制及仪表 (24)8.1. 纯水制备过程测量与控制 (24)8.2. 纯水站监控系统设计选型 (24)8.3. 现场控制系统分区设计 (25)8.4. 集中监控系统设计 (25)附录A水质全分析报告 (27)附录B 离子交换器设计参数 (28)附录C 电子级水质标准（ASTM D5127-1999） (30)本规范用词说明 (31)1.0.1. 为确保电子工业纯水站出水满足电子产品生产工艺要求，使设计做到技术先进，经济合理，安全适用，制定本规范。

1.0.2. 本规范适用用于新建、扩建和改建的电子工业纯水站工程设计。

1.0.3. 设计应贯彻执行国家的技术经济政策，合理选择水源，节约能源，节约水资源，节约用地，保护环境，改善劳动条件，提高经济效益。

1.0.4. 水站设计应根据主体工程建设规划、生产特点等综合考虑，并经技术经济比较，择优确定设计方案，当主体工程为分期建设时，应按最终需用纯水容量（规模）全面规划、合理布局，考虑扩建条件。

1.0.5. 设计应为施工安装，维护管理，检修、检（监）测和安全运行创造必要的条件。

2t/h超纯水处理设备设计方案2012年3月目 录一、公司简介 (2)二、设计依据 (2)三、设计范围及原则 (3)四、出水水质及水量要求 (3)五、简易工艺流程 (4)六、系统工艺要求及说明 (4)七、设备性能 (9)八、售后服务承诺 (18)九、系统配置清单 (19)十、工程造价 ................................................... 错误！未定义书签。

一、公司简介二、设计依据1、根据地区性水质条件设定水质条件，根椐用户地区同类厂家的水质资料及用水量等基础资料进行设计。

2、工业用水软化除盐设计规范GB 109-87。

3、RO系统设计参照《给排水设计手册》及美国陶氏 公司RO膜元件技术手册。

4、系统排水按室外排水设计规范GBJ14-87。

5、建筑给排水设计规范GBJ15-88。

6、反渗透设备标准按《反渗透水处理设备标准》CJ/T119-2000。

7、电气装置安装工程电气设备按试验标准GB50150-91。

8、管道的设计按纯化水用水标准进行设计。

9、通用电器设备配电设计规范GB50055-93。

10、城市区域环境噪声标准GB3096—93；11、电气安装工程盘柜及二次回路接线工程施工及验收规范GB50171-92三、设计范围及原则1、进入纯水站的水源为自来水，根据客户地区的水质情况，其变化系数K≤1.5，处理系统排放的浓废水可直接排入市政综合管网。

2、纯水处理设施具有较大的适应性、应急性，可以满足水质及水量的变化，并考虑在突发或事故状态下的各种应急用水。

3、采用工艺具有可靠性，运行稳定，运转费用低，管理维护量特别小，纯水系统采用集成电路控制,自动化程度高。

4、系统管道均采用UPVC管路。

5、系统处理过程中选用工作泵均为多级离心泵，具有启动及运转功率小，无死角，噪音低，工作稳定等特点。

6、本工程设计范围为接入纯水处理站的给水管道起纯水出口为止的整个处理工艺、基础、电气等各专业的设计。

超纯水系统设计方案目录一、设计条件及出水水质 3二、设计基本资料 4三、主要组件设备说明 5四、工艺方案流程及说明 11五、调试及售后服务内容 12一、设计条件及出水水质进水主要水质指标：东莞市自来水用户对出水要求：出水量：超纯水9吨/小时出水水质：主机系统超纯水：电阻率≥18MΩ.㎝@25℃；出水温度：常温。

水质检测：随机自带有电导率仪，出水电导率在线显示。

设备最终产水量：纯水10吨/小时@25℃；超纯水9吨/小时@25℃；系统总进水量：15m3/h；一级反渗透的回收率≥60%；第一级反渗透的浓水直接排放；CEDI装置回收率：85～95%,浓水回收为RO系统原水。

控制方式： PLC自动&手动控制。

二、设计基本资料设计依据（1）《中华人民共和国环境保护法》（2）《中华人民共和国水污染防治法》（3）《给排水构筑物施工及验收规范》（GBJ125-1989）（4）《给排水管道工程施工及验收规范》（GB50268-1997）（5）《给排水工程结构设计规范》（GBJ69-1984）（6）《低压电器设计规范》（GB50054-1995）（7）《水处理设备制造技术条件》（JB|T2932-1999）（8）相关反渗透膜生产厂家所提供技术资料。

、设计原则1．采用成熟、先进的工艺，运行可靠，操作简单方便。

2．对反渗透膜清洗系统目前的建设投资于今后的运行费用做综合技术经济分析，尽可能用最少的资金达到理想要求。

3．根据厂方的实际情况，采用先进设备，占地少，投资省，运行费用低，操作管理方便。

4. 对回收统总费用投入的增量与回收系统运行的可靠性及发生故障时对环境的危害性作综合技术经济分析，尽可能用最少的资金投入达到系统运行安全可靠，操作简单方便。

5. 认真执行国家经济建设方针、政策和国家现行的技术标准、规范，遵守法律、法规。

三、主要组件及设备说明原水箱原水箱为RO系统的缓冲水箱，这里配置一台容积为5 m3的PE水箱。

工程纯水设备方案设计规范一、前言随着人类社会的不断发展，环境保护和健康成为人们日益关注的焦点。

水是生命之源，提供给人类生活和生产中不可或缺的要素。

然而，随着工业化和城市化的快速发展，水资源的污染和短缺问题日益严重，纯净水的重要性愈发凸显。

工程纯水设备作为一种重要的水处理工程，具有广泛的应用领域，包括制药、电子、化工、饮料、食品等行业，因此其设计规范至关重要。

本文将围绕工程纯水设备方案设计规范展开探讨，包括设计原则、设备选型、施工安装、运行维护等方面，旨在为相关企业和工程技术人员提供有效的指导。

二、工程纯水设备方案设计原则1. 依法合规：纯水设备方案设计需符合国家相关法律、法规和标准，如《工业制水水质标准》（GB/T 6682-209）等。

2. 安全可靠：纯水设备对水质的处理必须稳定可靠，确保用户的用水安全。

3. 高效节能：设计应以实现高效节能为目标，采用先进的处理工艺和设备，降低生产和运行成本。

4. 灵活可扩展：根据用户需求对纯水设备进行合理的扩展设计，以适应未来的业务发展和变化。

5. 周期综合成本考虑：在设计过程中需充分考虑设备的维护和更换成本，以及整个生命周期内的运营成本。

三、工程纯水设备方案设计流程1. 方案确定根据用户需求、水质状况和用水量确定纯水设备的设计方案。

方案确定需综合考虑工艺流程、设备选型、结构布局、管道连接等因素。

2. 设备选型根据方案确定的工艺流程，按照国家标准和产品性能指标，选择合适的纯水设备，包括反渗透设备、离子交换树脂、超纯水设备等。

3. 结构布局根据设备的选型和工艺流程，确定纯水设备在现场的结构布局，包括设备摆放、管道连接、电气布置等。

设计出施工图纸，对纯水设备进行施工安装，确保设备的安全性和可靠性。

5. 调试验收对纯水设备进行调试和试运行，保证设备的水质和运行满足设计要求。

6. 运行维护提供设备的运行维护手册，指导用户进行日常运行维护工作，确保设备长期稳定运行。

四、工程纯水设备选型原则1. 根据水质根据原水水质，选择适合的纯水处理工艺和设备。

第一章概况1。

1工程概况：本工艺方案是根据用户要求,以系统运行可靠、经济合理为原则，采用相关设计标准和规范，结合我公司多年工程经验，以地下水做为原水水源而编制的.本系统采用“预处理+反渗透+EDI装置"水处理工艺，该方案设计合理、运行稳定、产水的品质满足要求，并已在多项类似工程中得到应用及检验.设备具有安装方便、使用方便、操作方便、维护方便;运行稳定、节能、环保、自动化程度高，经济实用等特点.1。

2工程设计参数（1)安装场所：水处理车间内，介质温度：5～45℃,安装面积：≤200m3；（2）原水水质: 按西北地区地下水设计,原水设计温度不小于5℃;(3）产水技术指标:我公司对超纯水系统作出质量保证：在设计进水温度、水质条件下，过滤器、反渗透、EDI及抛光混床的出水水质及水量满足用户的要求.整个水处理系统按全自动运行方式进行设计.1。

3公用设施条件1)供水：取水口通过提升泵送至纯水车间。

❖正常流量：大于产水流量❖温度：≥10℃2）供电:依据我方提出容量，由买方将动力线送至电控柜上。

❖供电电源：380V/ 50Hz /三相五线制❖使用最大功耗：35KW3）药品供应：调试及运行过程中所用消耗品以及水电由买方提供。

预处理、反渗透、EDI 系统采用的絮凝剂、清洗剂、碱等药品由我方根据水质情况计算或试验确定药品种类、配药浓度、加药量，全部药品宜采用汽车运输。

A\凝聚剂化学成分：高分子聚合物（SMST）纯度:30％配制浓度：10％包装：25Kg/桶B\氢氧化钠化学成份:NaOH纯度：45％包装：桶装或其他运输方式：汽车运输配制浓度：45％加药量：1—2ppm1.5工程范围我方提供一套完整的化学水处理系统,即从原水箱进口母管（包括阀门、仪表）到纯水泵出口1。

0 米为止所有的设备，包括过滤器及其加药装置、反洗设备,反渗透装置、EDI 装置及其加药装置、化学清洗系统装置等设备、附件和所供设备内部管道、阀门及其附件、所供设备之间的连接管道、阀门及其附件、和所供设备内部管道、阀门及其附件、所供设备之间的连接管道、阀门及其附件、以及整套工艺流程所要求的热工仪表、化学分析仪表、控制系统、电气设备、电缆与桥架等(买方供电至MCC柜）。

超纯水工程设计方案1. 项目背景超纯水是指纯净度高于电子级水和生化级水的一种水质标准，其纯度远超纯净水，可用于半导体制造、生物制药、实验室研究等领域。

超纯水的制备工艺涉及多种技术，包括反渗透、电离交换、超滤、紫外灭菌等过程。

本设计方案旨在为某生物制药企业设计一套超纯水处理系统，满足其生产需要。

2. 设计原则•安全性：确保超纯水符合各项标准，不含有害物质。

•稳定性：保证超纯水质量稳定，满足企业生产需求。

•经济性：在保证质量的前提下，尽量节约能源和原材料。

•可维护性：确保设备易于维护和保养，降低维护成本。

3. 工艺流程本超纯水处理系统采用反渗透、电离交换和紫外灭菌等工艺步骤，主要包括原水处理、预处理、反渗透处理、电离交换处理、紫外灭菌等流程。

4. 原水处理原水处理是超纯水制备的第一步，主要用于降低水中固体颗粒和有机物的含量。

原水处理包括预氧化、混凝、澄清、过滤等工艺步骤，可通过氧化剂、絮凝剂和混凝剂等物质实现。

5. 预处理预处理是为了进一步净化水质，去除残留的有机物和微生物。

预处理工艺主要包括深层过滤、活性炭吸附等步骤，可有效净化水质，并减少对后续工艺设备的腐蚀和污染。

6. 反渗透处理反渗透是超纯水处理的关键步骤，通过高压逆渗透膜，将水中溶解固体颗粒、有机物和微生物高效去除，得到高纯度的水。

在反渗透模块的选择上，应考虑膜的通量、截留率和抗污染性能，以确保制备出的超纯水符合使用要求。

7. 电离交换处理电离交换是为了进一步去除水中残余固体颗粒和有机物。

通过阳离子交换树脂和阴离子交换树脂，可有效去除水中残余离子和微量有机物，使水质达到超纯级别。

8. 紫外灭菌紫外灭菌是为了彻底消除水中残留的微生物。

通过紫外光的照射，可以高效地杀灭水中的细菌、病毒和其他微生物，确保水质的卫生安全。

9. 设备选型对于反渗透设备、电离交换设备和紫外灭菌设备，应选择具有良好性能和稳定品质的供应商的产品，确保设备的可靠性和使用寿命。

.5吨/小时反渗透纯水设备技术方案大连正清水处理设备有限公司2015年2月一、公司简介：大连正清水处理设备有限公司位于风景秀丽、气候宜人的海滨城市—辽宁▪大连。

公司坐落于大连市经济技术开发区东北七街10-4-9号，地理位置优越，拥有标准化车间，软硬件设施齐全，是一家专业致力于水处理设备研发，设计制造，工程安装及售后服务为一体的专业化公司。

公司主营产品有水过滤设备、软化水设备、超滤（UF）设备、RO反渗透纯水设备、苦咸水淡化设备、EDI超纯水设备、除铁除锰设备等大中小型水处理设备及水处理设备耗材，广泛应用于饮用水、饮料、乳制品、酿酒、供暖、生活饮用水处理、污水处理、工业废水、游泳池循环水、市政废水排放与回用、冶金、石油、化工、电厂、造纸、养殖、种植等行业的供水需求。

公司技术力量雄厚，拥有专业技术研发队伍，相继从美国、意大利、韩国、日本等国家引进最先进的水处理技术，不断创新，形成了独特的产品优势，产品销往全国各地并出口到美国、俄罗斯、越南、马来西亚、泰国、日本、菲律宾、澳大利亚等多个国家。

多年来，公司产品凭借先进的技术，精湛的工艺，优良的品质和完善的售后服务，受到了国内外广大用户的好评。

二、设计前言：1、设计基础资料：1.1.、系统产水指标：1.2、系统设备性能指标：A、预处理装置：B、反渗透装置1.3、原水水质及产水水质：原水水质：原水为市政自来水，电导率值：≤280μs/cm。

产水水质：系统产水电导率值：≤10μs/cm。

2、系统化学药品：高效阻垢剂3、规定和标准：（1）《反渗透水处理设备标准》（CJ/T119-2000）；（2）RO系统设计参照《给排水设计手册》及海德能公司RO 设计计算软件；（3）《建筑给排水设计规范》（GB50015-2010）；（4）《环境工程设计手册》；（5）《工业管道工程质量检验评定标准》（GB5014-93）；（6）《排水管道维护安全技术规范》（CJJ6-2009）；（7）《电器装置安装工程施工及验收规范》（GBJ232-82）；（8）《工业自动化仪表工程施工及验收规范》（GBJ93-86）如果上述规范或标准对某些专用材料不合适时，则可采用材料生产厂的标准，供方将提供反渗透膜所遵循的设计导则及设计和运行，并提供设计标准计算书，如美国海德能公司反渗透膜元件设计导则。

【纯水、超纯水、中水回用工程业绩】一、引言在当今社会，水资源的保护和合理利用已经成为全球性的关注点。

随着工业和城市化的发展，水资源的净化和再利用变得更加迫切。

纯水、超纯水和中水回用工程业绩作为一种重要的水资源利用方式，已经在工业生产和日常生活中发挥着越来越重要的作用。

本文将从深度和广度的角度探讨这一主题，并进一步评估其在不同领域中的应用和潜在发展。

二、纯水的意义和应用1. 纯水的定义纯水是指经过多重净化处理，去除了杂质和离子的水，通常具有极低的电导率和极高的纯净度。

纯水的生产工艺通常采用反渗透、离子交换等技术，目的是得到纯度高、化学稳定的水。

2. 纯水在工业生产中的应用纯水在电子、光伏、医药等高科技产业中具有广泛的应用。

在电子行业，纯水作为清洗电路板、半导体生产工艺的重要原料；在医药行业，纯水用于制药生产和实验室分析。

3. 纯水技术在环境保护中的作用纯水技术在环境保护领域也发挥着重要的作用。

纯水可以用于废水处理、工业废水回用等环保工程，有助于提高水资源的再利用率和减少对自然水体的污染。

三、超纯水的特点和发展1. 超纯水的生产工艺超纯水是在纯水基础上进一步提纯而成，通常采用深度过滤、电去离子、紫外辐照等技术。

超纯水的电导率极低，微生物和有机物含量接近于零。

2. 超纯水在半导体和光伏行业的应用超纯水是半导体和光伏产业的关键原料之一，用于清洗芯片、太阳能电池片等高精密电子元件。

超纯水的纯度和稳定性对产品的质量和性能有着直接影响。

3. 超纯水技术在洁净室环境中的作用超纯水技术也在洁净室环境中发挥着关键作用。

洁净室是半导体、医药等领域对空气质量要求极高的场所，供水系统的纯净度对保证洁净室内空气质量至关重要。

四、中水回用工程的意义和前景1. 中水回用工程的定义和范围中水回用工程是指将生活污水、工业废水等通过处理，达到再次利用标准的工程技术。

中水回用工程涉及的范围广泛，包括城市污水处理厂、工业园区、生态农业等领域。

超纯水系统设计方案目录一、设计条件及出水水质 3二、设计根本资料4三、主要组件设备说明5四、工艺方案流程及说明11五、调试及售后效劳容12一、设计条件及出水水质1.1 进水主要水质指标：市自来水1.2 用户对出水要求：出水量：超纯水9吨/小时出水水质：主机系统超纯水：电阻率≥18MΩ.㎝25℃；出水温度：常温。

1.3水质检测：随机自带有电导率仪，出水电导率在线显示。

1.4 设备最终产水量：纯水10吨/小时25℃；超纯水9吨/小时25℃；1.5系统总进水量：15m3/h；1.6一级反渗透的回收率≥60%；1.7第一级反渗透的浓水直接排放；1.8 CEDI装置回收率：85～95%,浓水回收为RO系统原水。

1.9 控制方式：PLC自动&手动控制。

二、设计根本资料2.1 设计依据〔1〕"中华人民国环境保护法"〔2〕"中华人民国水污染防治法"〔3〕"给排水构筑物施工及验收规"〔GBJ125-1989〕〔4〕"给排水管道工程施工及验收规"〔GB50268-1997〕〔5〕"给排水工程构造设计规"〔GBJ69-1984〕〔6〕"低压电器设计规"〔GB50054-1995〕〔7〕"水处理设备制造技术条件"〔|T2932-1999〕〔8〕相关反渗透膜生产厂家所提供技术资料。

2.2、设计原那么1．采用成熟、先进的工艺，运行可靠，操作简单方便。

2．对反渗透膜清洗系统目前的建立投资于今后的运行费用做综合技术经济分析，尽可能用最少的资金到达理想要求。

3．根据厂方的实际情况，采用先进设备，占地少，投资省，运行费用低，操作管理方便。

4. 对回收统总费用投入的增量与回收系统运行的可靠性及发生故障时对环境的危害性作综合技术经济分析，尽可能用最少的资金投入到达系统运行平安可靠，操作简单方便。

超纯水设备工程方案设计一、需求背景超纯水是指去离子水，即水中除了H2O分子之外，其他成分都被去除的水。

超纯水广泛应用于半导体制造、光伏制造、食品饮料、医药生产、实验室研究等领域。

随着工业技术的不断发展，超纯水的需求不断增加，因此对超纯水设备工程方案的设计和建设提出了更高的要求。

本文将就超纯水设备工程方案设计进行详细讨论。

二、项目概述本项目是为某半导体制造厂设计的超纯水设备工程方案。

该厂主要生产半导体产品，需要大量高质量的超纯水来满足生产需求。

因此，超纯水设备工程方案的设计将直接影响到厂家的生产效率和产品质量。

本项目的主要目标是设计一套稳定、高效、节能的超纯水设备系统，满足客户的生产需求。

三、工艺流程1. 原水处理：原水主要来自自来水厂供水管网。

需要将原水进行初级处理，包括过滤、软化、除氯等工序。

初级处理后的水进入反渗透系统。

2. 反渗透除盐：经过反渗透系统处理的水通过半透膜，去除水中的盐分、重金属、微生物等杂质，得到初级超纯水。

3. 离子交换：初级超纯水通过离子交换树脂柱，去除硅酸盐、离子等杂质，得到高纯水。

4. 纳滤/EDI：高纯水通过纳滤膜、电渗析装置，进一步去除微量离子、有机物，得到超纯水。

5. 消毒保鲜：超纯水通过紫外线消毒、微孔过滤等工艺，确保水质无菌无菇。

四、设备选型1. 过滤设备：采用颗粒过滤器、活性炭过滤器等进行初级处理；2. 反渗透设备：选用高效反渗透膜，高压泵等设备，确保去除水中盐分的效果；3. 离子交换树脂：选用具有高效交换能力的离子交换树脂，并配置自动化控制系统；4. 纳滤/EDI设备：采用超滤膜、电渗析装置，确保超级纯水的质量；5. 消毒设备：选用紫外线消毒灯、微孔过滤器等，确保水质符合纯净水要求。

五、管道布局超纯水设备需要考虑管道的布局，应确保管道设计合理、通畅。

在设计管路时，需要考虑设备之间的距离，以及管道的材质、防腐蚀措施等。

六、自动控制系统为了确保超纯水设备的稳定运行，需要配置自动控制系统。

抛光混床超纯水系统及废水回收系统设备方案书10.8T/H 二级反渗透+EDI+抛光混床超纯水系统及废水回收系统设备方案书京东方光科技T-Module项目组目录一、技术规范 (1)1、设计要求 (1)2、设计依据 (2)3、系统对外界要求 (2)4、工艺流程描述 (3)二、系统及设备技术要求 (4)1、各主体设备的技术要求 (4)1.1、预处理部分 (4)〔1〕原水储槽 (4)〔2〕原水泵 (4)〔3〕石英砂过滤器 (4)〔4〕活性炭过滤器 (5)〔5〕过滤水储槽 (7)〔6〕RO保安过滤器 (7)1.2、RO脱盐部分 (7)〔1〕高压泵 (7)〔2〕反渗透装置 (8)1.3、EDI脱盐部分 (10)〔1〕全自动电离子再生除盐装置 (10)1.4、精巧过滤器部分 (10)〔1〕TOC脱除器 (10)〔2〕精巧过滤器装置 (10)〔3〕0.2μm微孔膜滤器 (10)〔3〕0.1μm微孔膜滤器 (10)1.5、回水部分 (11)〔1〕UV杀菌器 (11)1.6、废水回收部分 (11)〔1〕废水箱 (11)〔2〕UF进水 (11)〔3〕超滤装置 (11)三、技术资料及工程质量 (11)1、技术文件资料 (11)2、设备监造检查所需要的技术资料 (11)四、外表与操纵系统 (12)1、操纵系统说明 (12)2、自动操纵系统 (12)3、要紧操纵回路 (13)〔1〕预处理过滤器的操纵 (13)〔2〕超滤系统的操纵 (13)〔3〕阻垢剂加药量操纵 (14)〔4〕反渗透系统(RO)操纵 (14)〔5〕高压泵的爱护系统 (14)〔6〕RO启停爱护 (14)〔7〕EDI电再生除盐系统的操纵 (14)〔8〕EDI系统启停爱护 (14)〔9〕抛光混床系统启停爱护 (15)〔10〕抛光混床系统的操纵 (15)4、操纵系统功能描述 (15)5、外表 (15)五、要紧设备参数 (16)1、预处理部分 (16)〔1〕原水箱 (16)〔2〕原水泵 (16)〔3〕石英砂过滤器 (16)〔4〕活性炭过滤器 (16)〔5〕过滤器反洗泵 (16)〔6〕过滤器水储槽 (17)〔7〕一级反渗透增压泵 (17)〔8〕加药装置 (17)〔9〕5μm保安过滤器 (18)2、RO脱盐部分 (18)〔1〕1级高压泵 (18)〔2〕1级RO反渗透主机 (18)〔3〕一级RO产水箱 (19)〔4〕2级进水泵 (19)〔5〕pH调剂装置 (19)〔6〕保安过滤器 (20)〔7〕2级高压泵 (20)〔8〕2级RO反渗透主机 (20)〔9〕反渗透膜清洗装置 (21)3、EDI脱盐部分 (21)〔1〕EDI给水泵 (21)〔2〕EDI电再生装置 (22)〔3〕纯化水箱 (22)4、纯水精巧器部分 (22)〔1〕纯水输送泵〔带变频器〕 (22)〔2〕TOC脱碳器 (23)〔3〕一级精滤器装置 (23)〔4〕二级精滤器装置 (23)〔5〕0.2μm膜滤器 (23)〔6〕0.1μm膜滤器 (24)〔7〕UV杀菌器 (24)5、废水回收部分 (24)〔1〕废水收集箱 (24)〔2〕纯水输送泵 (24)〔3〕超滤装置 (24)六、设备要紧供货清单 (25)七、设备供货范畴 (29)1、设备范畴 (30)2、设备参数及技术要求〔详见设备配置清单〕 (30)3、交货期 (30)第八章运行费用 (30)8.1设备功率 (30)8.2使用药剂一览表 (30)九、耗材一览表 (31)十、技术服务、技术培训及售后服务 (32)一、技术规范1、设计要求〔1〕预处理系统出力：〔原水供应小于22 m3/h〕出力：≥17.3m3/h〔2〕1级反渗透系统出力和出水水质：出力：≥15m3/h回收率：≥70%产水电导率：≤20μs/cm〔3〕2级反渗透系统出力和出水水质：出力：≥12m3/h回收率：≥80%产水电导率：≤5μs/cm〔4〕EDI系统出力和出水水质：出力：≥10.8m3/h回收率：≥90%电阻率：≥15MΩ·cm〔25℃〕备注：纯水电阻率最高17MΩ·cm〔25℃〕，最低15MΩ·cm。

超纯水系统工艺及其施工(Ultrapure Water System Technics and Construction)中国电子系统工程第二建设公司：吴纯傲文摘: 本文根据建设制备18.2MΩ以上的超纯水站为实际案例，介绍超纯水制备的基本工艺，特别注重说明了水处理不同阶段所用管道材质，并根据安装实际经验对超纯水管道施工作了详细阐述。

关键词：超纯水系统洁净CPVC管PVDF管Abstract: Take example of pure water above 18.2MΩ in F AB to explainthe production process flow and basic technics, especially in choosing pipeline materials at difference stage. And illuminate the construction of pure water pipeline in detail base on practical experience.Key words Ultrapure water system, Clean, CPVC pipe, PVDF pipe.一、超纯水系统总体介绍随着电子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。

为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是其中最关键的因素之一。

高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。

超纯水系统总体来说一般可分为三个部分：超纯水制造区（CUB部分）、超纯水抛光循环区（FAB部分）、超纯水输送管网（FAB各使用区）。

其中超纯水制造区最为复杂其又可分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。

预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔（有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池）；一次纯水部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔（DG）、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透；超纯水部分主要包括：MDG（脱氧膜组）、TOC-UV杀菌器、混床（MB）及终端过滤器。

12T/H水处理设备多介质+活性炭+双级反渗透+EDI技术方案(一)工程概况2.1工程概述本公司根据用户提供的原水水质特点以及综合考虑系统的运行费用及系统占地等情况，工艺技术采用预处理工艺为多介质过滤器、活性炭过滤器作为系统的预处理方案，采用双级反渗透系统作为本系统的一次除盐系统，采用EDI除盐体系为二次除盐技术，保证系统产水满足客户需求。

并保证在满足用户的需求情况下，尽量减少成本及运行费用。

2.2设备制造标准2.2.1工艺系统设计遵照下列规范1）PL/T5068-1996《化学水设计技术规范》2）GB150《钢制压力容器》3）JB2932《水处理设备制造技术条件》4）ZBG98020-90《水处理设备系列型谱》5）JB2932-86《水处理设备制造技术条件》6）GB/T5226《电器元件标准组装制造》7）JB/T4709-99《钢制压力容器无损检测》8）GB-52261-2002《机械安全机械电器设备第一部分：通用技术条件》9）HG21501《衬胶管道和管件》10）HGJ229-83《水处理设备橡胶衬里技术条件》11）TJ36-79《工业企业设计卫生标准》2.2.2接口法兰及其它符合下列要求进口设备的制造工艺和材料，符合美国机械工程师协会（ASME）和美国材料试验学会（ASTM）工业法规涉及的标准和相当标准。

1、JB/T74-94《管路法兰技术条件》2、GB9845《钢制搅拌器形式及参数》3、GB12224《钢制阀门一般要求》4、GB1047《管子和管路附件的公称通径》5、JB3366《自动化装置通用技术条件》6、计量泵采用美国石油协会标准API676及GB7783《计量泵试验方法》2.2.3自控设计执行下列标准及规范（1）《过程检测和控制流程图用图形符号和文字代号》GB2625-81（2）《分散控制/集中显示仪表、逻辑控制及触摸屏系统用流程图符号》SHB-Z04-95 2.2.4电气专业执行的主要设计规范与标准（1）《10kV及以下变电所设计规范》GB50053-94（2）《低压配电设计规范》GB50054-95（3）《爆炸及火灾危险环境电力装置设计规范》GB50058-92（4）《建筑物防雷设计规范》GB50057-94（5）《通用用电设备配电设计规范》GB50055-1993（6）《电热设备电力装置设计规范》GB50056-1993（7）《电力工程电缆设计规范》GB50217-1994（8）《电力设施抗震设计规范》GB50260-1996（9）《并联电容器装置设计规范》GB50227-1995（10）《工业与民用电力装置的过电压保护设计规范》GBJ64-1983（11）工业与民用电力装置的接地设计规范》GBJ65-19832.3设备特点（1）根据项目原水特征，结合已有的纯化水工艺实例，在确保出水达标的前提下，采用成熟、可靠、技术先进的处理工艺。

第一章：公司介绍1.1 公司简介公司是一家专业从事水处理工程的高科技企业。

多年来，一直致力于中国水处理事业的发展，采纳全球先进的技术和设备，产品已遍及电子、光学、化工、电镀、涂装、线路板、化妆品、医疗、制药、食品、饮料、生物工程等行业和领域。

公司拥有一支专业技术研发队伍，优良的装备及器材，有配套完善的生产制造工厂，完美的设计，精良的施工质量，完善的售后服务质量，为客户提供快捷优质的服务。

公司与GE-OSMONI CS（奥斯莫尼斯）、Pentair、IONRURE、LG、SIEMENS、+GF+ SIGNET、OMRON、WOLO、GRUNDFOS、BAYER、DOW（陶氏）、SIATA、罗门哈斯、海德能、阿图祖、唯赛勃、富莱克等公司建立长期良好的合作关系，以先进的技术、完善的管理、优良的服务立足于行业之中，以诚信、严谨、求实、创新的精神为用户提供优质的产品和专业的服务。

1.2 公司产品种类反渗透装置钠滤装置超滤装置XN TM 系列EDI膜块XN TM 系列RO-EDI设备XN TM 系列EDI设备水处理耗材RO反渗透膜精密滤器家用纯水机及耗材玻璃钢罐阴阳离子交换树脂1.3 公司经营范围1）中水废水回用设备：电镀、石油化工、钢铁、市政、纺织印染等工业领域的中水和废水回用。

2）电子工业用超纯水设备：单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线框架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺用纯水。

3）饮用纯净水：房产物业、社区、企事业单位、宾馆、直饮水工程。

4）电子行业锅炉补给水和除盐水设备：各种蒸汽锅炉、火力发电厂、热水炉、石化热力锅炉等补给水。

5）一般工业用纯水设备：镀膜玻璃、电镀、表面涂装、纺织印染、工业配液、工业产品清洗等用水。

6）饮料和食品行业水处理设备：饮用纯净水、蒸馏水、矿泉水、天然水、矿化水、啤酒生产用水用纯水。

12英寸半导体集成电路超纯水深度除有机工艺优化设计摘要：该工程为某12英寸半导体集成电路项目超纯水系统，原水为当地市政自来水，处理能力450 m3/h，针对TOC、尿素、电阻率等难点水质指标进行了深度优化设计。

关键词：半导体；集成电路；超纯水制备；有机物Optimized design of 12-inch semiconductor integrated circuit ultrapure water deep removal of organic technologyZhong Jian-hui、Rong Yu-zhou(China Electronics System Engineering No.2 Construction Co., Ltd.Jiangsu Wuxi 214000, China)Abstract: The project is an ultra-pure water system for a 12-inch semiconductor integrated circuit project. The raw water is local municipal tap water with a processing capacity of 450 m3/h. It has been deeply optimized for difficult water quality indicators such as TOC, urea, and resistivity.Keywords: Semiconductor; integrated circuit; ultrapure water preparation; organic matter引言12 英寸半导体集成电路包含清洗、氧化、光刻、刻蚀、离子注入、去胶、扩散、化学气相沉积、金属化工艺、化学机械研磨等制造过程，其中，几乎每一项生产工艺中都需要使用超纯水进行冲洗，由于半导体的制程精度高，制造难度大，其对超纯水水质的要求高，技术难度大。

化妆品超纯水设备工程方案一、项目背景随着人们生活水平的不断提高，对化妆品的需求也越来越大。

而化妆品中所使用的水质要求也越来越高，超纯水成为了化妆品生产过程中的重要原材料之一。

因此，化妆品超纯水设备工程成为了必不可少的一项工程。

二、项目概述化妆品超纯水设备工程是指利用现代科学技术，将自来水等原始水源进行多级过滤、反渗透净化等一系列工艺，生产出符合化妆品行业标准的超纯水工程设备。

其目的是为了满足化妆品生产工艺中所需的水质要求，确保化妆品的质量和安全性。

三、工程目标1.生产化妆品所需的超纯水，满足国际化妆品行业标准。

2.提高生产效率，降低生产成本。

3.确保产品的质量和安全性。

四、工程内容1.原水处理工艺原水处理是化妆品超纯水工程的第一步，其目的是去除原始水中的杂质和微生物。

处理工艺包括：混凝沉淀、过滤、消毒等。

2.超滤反渗透工艺经过原水处理后的水质，还需要进行超滤和反渗透处理，以去除细微的颗粒物、金属离子、有机质和微生物等杂质。

3.离子交换树脂处理工艺经过超滤反渗透的水质，还需进行离子交换树脂处理，其中包括阳离子交换树脂和阴离子交换树脂的处理，以确保水质纯净度。

4.超纯水贮存和配送系统经过多道工艺处理后的超纯水，需要进行贮存和配送。

超纯水贮存和配送系统需要具备相应的贮存容器、输送管道、监控仪表等设备。

五、工程流程1.原水处理：原水-混凝沉淀过滤-活性炭吸附-消毒处理-水贮存2.超滤反渗透：原水-超滤-反渗透-水贮存3.离子交换树脂处理：反渗透后水-阳离子交换树脂-阴离子交换树脂-超纯水贮存4.超纯水贮存和配送：超纯水-贮存-监控-配送六、工程设计1.设备选型：根据工程需要、工艺要求和预算情况，选用合适的原水处理、超滤反渗透、离子交换树脂处理以及贮存和配送系统设备。

2.工艺设计：根据实际情况制定相应的工艺流程，并进行工艺参数的设计和调整。

3.设备布局：根据工厂厂房的实际情况，进行设备的排布和布局设计。

4.安全控制：对工程设备进行安全控制设施设计，确保工程运行过程中的安全性。