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6.4转速测量仪表 2.光电码盘转速检测法
光学码盘式传感器 --- 用光电方法将被测角位移转化成数字电信号
特点:高精度、高分辨力、可靠性好
1 --- 光源;2 --- 柱面镜;3 --- 码盘;4 --- 狭缝;5 --- 元件
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(3) 光栅传感器特点
①精度高:测长±(0.2+2×10-6L)μm,测角±0.1″ ②量程大:透射式---光栅尺长(米),反射式---几十米 ③响应快:可用于动态测量 ④增量式:增量码测量 → 计数 断电→数据消失 ⑤要求高:对环境要求高→温度、湿度、灰尘、振动、移动 精度 ⑥成本高:电路复杂
特例:当 =0, w1=w2 → B= → 光闸莫尔条纹 当 =0, w1≠w2 → 纵向莫尔条纹
莫尔条纹
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莫尔条纹特性: 方向性:垂直于角平分线,当夹角很小时 → 与光栅移动方向垂直 同步性:光栅移动一个栅距 → 莫尔条纹移动一个间距一方向对应 放大性:夹角θ很小 → B>>W → 光学放大 → 提高灵敏度 可调性:夹角θ↓→ 条纹间距B↑ → 灵活 准确性:大量刻线 → 误差平均效应 → 克服个别/局部误差 → 提高精度
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6.2位移测量仪表
3.光栅传感器 光栅传感器是新型的高精度、大位移、数字式位移传 感器。
在长度和角度测量中应用的光栅,常称为计量光栅。 计量光栅根据光栅走向分为透射光栅和反射光栅两种 ;根据刻线型式又可分为黑白光栅和相位光栅两种; 根据形状和用途分为长光栅和圆光栅两种。