计算全息用于非球面检测的研究
- 格式：pdf
- 大小：139.11 KB
- 文档页数：3
维普资讯
第１ ０卷
第２ 期
哈 尔 滨 理 工 大 学 学 报
Ｊ ＯＵＲＮＡＬ ＨＡＲＢ Ｎ Ｉ ＵＮＩ Ｖ．Ｓ Ｉ Ｃ ．＆ Ｔ ＥＣＨ．
Ｖｏ． ０ Ｎｏ ２ １１ ．
Ａｐ ． ０ ５ ｒ ，２ ０
２０ 年 ４ ０５ 月
计 算 全 息 用 于 非 球 面 检 测 的 研 究
较， 然后得 出测量结果． 如果被测表 面是 非球面 ， 用
息图（ Ｇ 作为零位补偿器 ， Ｃ Ｈ） 用来检测非球面成为
这种方法就存在测量准确 度受到 限制 的问题 ， 因为 参考面与被测面之 间的差 异太大． 解决这个 问题最 常用的方法是制作第二个光学 系统（ 零透镜或零反 射镜） 将被测元 件产生 的波前 转换 成球 面波或平 ，
。
（） １
级数形式为
ｚ （ ＋ ＋ （ ＋ ＋ ｙ） ｙ）
其中： 是物体表面的相位误差 ； 是测试板的 ∞ ∞
放置误差 ； 是整个系统 的设置误差． ∞ 即辅镜 的制 作与安置误差 ， 包括计算全息透镜 的误差． 全息测量
ｌＲ ＋ ＋ ¨ ６５ ＇ （ ） … Ｙ 。 （） ４ 的设计包括所期望的参考波前 的环形位置计算 ， 及 ｅ 尺是顶点 曲率半径 ， 坐标原点 与测试和参考光束 相匹配 的振 幅宽度． 波面各点 其 中， 是非球面系数 ， 此 旋转对称轴选作 ｚ轴． 的法线和被检凸面的相应点 的法 线相重合． 常情 选在顶点上 ， 通 半径为 尺的球面方程 的级数形式为 况下 ， 被检非 球面 的方 程是 已知 的 ， Ｇ Ｃ Ｈ再现 的标
非球面的再现类似于精密制作 的闪耀光栅．
激光器
球 面
１ 计算全息补偿干涉测量法原理
图 １ 计算全息 补偿干涉测量 法检测非球面
计算全息根据标准非球面 的波前制成 ， 时， 测量 光线垂直照射到被 测面． 如果 物体 面形完 好地满足
非球面的形状， 物体产生的波前与计算全息图的波 前相匹配． 被测面的误差将 引起 反射 回来 的波面的
维普资讯
９ ８
哈 尔
滨 理
工 大 学
学 报
第９ 卷
计算 全息 的制作过程采用数字定量计算 ， 准确度高． 计算全息图的质量主要 由计算 机 的存储容量 、 计算 速度和成图设备的分辨率决定 ． 而激 光直写和 电子 束直写装置的出现 ， 以获得高质量 的计 算全息元 可 件． 这使得利用计算全息 补偿干涉测 量法测量非球 面成为可能并应用 于实际．
是钠光波长 ， 采用高精 密度 的 Ｏ ｎｒ ｆ ｅ 补偿 器得 到实 测指标 Ｐ 值为 ０ ４ ９７ ． ．７ 由此可见 ， 采用本文所用
波形产生畸变 ， 这可 以通过相移 干涉测量获得 畸变
２ 计算全息的设计
以二次旋 转曲面为例 ， 一般 的二次旋转 曲面的 方程为
＋Ｙ ＝２ Ｚ—ｅ ２ Ｒ Ｚ （） ３
的数值 ． Ｊ对于被测表面相位 的畸变主要有三个相 位起作用 ， 以用公式表示为 可
∞ ∞ ｌ ｆ＋ ∞ ｉ ＋ ∞
球面波前． Ｃ Ｄ将参 考光 束 与检 测光 束 同时接 用 Ｃ 收， 从接收屏幕上看到的干涉 图应该是球面波形 ， 也
式 （ ）～ ４ 的两倍 （ ５ （） 双程 ） 即是球 面波与非球 面波 的光程差 ， 根据光程差 的相位干涉 图， 其相位差为
，＝ ｚ 【 （ ） ｙ △＝ ） ＋ （＋ ＋‘ ． ． ］
收稿 日 ： ０４— ９— ３ 期 ２０ ０ ２
现代光学检测中非常著名 的方法 ， 的优点是所 用 它
的球面辅助镜只需 检测球 心即可 ， 因此大大 降低 了 成本 ．
计算全息 法检测非球 面仍然属 于干涉测量法 ，
基金项 目： 哈尔滨市 青年科学研究 基金资助项 目（０４ Ｆ Ｘ００ ２０Ａ Ｑ Ｊ５ ） 作者简介 ： 乔玉 晶（９２ ， ， １７ 一）女 哈尔滨理 工大学讲师．
乔玉晶 ， 吕 宁
（． １哈尔 滨理工大学 机械动力工 程学院 ， 黑龙江 哈尔滨 １０８ ； ５０ ０
２． 哈尔滨理工大学 计算机与控制学院， 黑龙江 ， 哈尔滨 １０８ ） ５００
摘
要 ： 了实现对非球 面的高精确度检测 ， 出， 用计 算全息补偿干涉测量原理检测二元 为 提 采
Ａｂ ｔａ ｔ Ｆ ｒｔｓｉｇ ａ ｐ ｅｉ ｕ ｆｃ ｒ ｒ ｃｓ ｌ ｓｒ ｃ ： ｏ ｅ ｔ ｓ ｈ ｒ ｓ ｒａ ｅ ｍｏｅ ｐ ｅ ｉｅｙ，ｔｅ ａ ｔｏｓ ｐ ｅｅ ｔｔｅ ｃ ｍｐ ｔｒｇ ｎ ｒｔｄ ｈ ｌｇ ａ ｎ ｃ ｈ ｕｈ ｒ ｒ ｓｎ ｏ ｕｅ ｅ ｅａｅ ｏｏ ｒｍ ｈ
Ｔｈ ｓ ａ ｃ ｆＣＧＨ ｆ ｒＴ ｓｉｇ Ａｓ ｈ ｒ ｒ ｃ ｅ Ｒｅ ｅ ｒ ｈ ｏ ｏ ｅ ｔ ｐ ｅ ｉ Ｓｕ ｆ ｅ ｎ ｃ ａ
ＱＡ ｕ ｊ ｇ ， Ｌ ｉ ＩＯ Ｙ —ｉ ｎ ＵＮｎ ｇ
（ ． ｃ ａｉａ ＆ Ｐ ｗ ｒＥ ｇ ｅｒ ｇＣ ｌ ｇ ，ＨａｂｎＵ ｉ．Ｓ ｉ ｅｈ ， ｒｉ ５ ０ ０， ｈｎ ； １ Ｍｅｈｎｃｌ ｏ ｅ ｎｉ ｅ ｎ ｏ ｅｅ ｎ ｉ ｌ ｒｉ ｎｖ ｃ．Ｔ ． Ｈａｂｎ１ ０ ８ Ｃ ｉａ ｃ ２ Ｃ ｍｐ ｔ ． ｏ ｕｅ Ｃ ｎｒｌ ｏｌ ｅ ａｂｎＵ ｉ．Ｓ ｉ ｅｈ ， ｒｉ ５０ ０，Ｃ ｉａ ｒ＆ ｏ ｔ ｌｇ ，Ｈ ｒｉ ｎｖ ｃ．Ｔ ． Ｈａｂｎ１０ ８ ｏＣ ｅ ｃ ｈｎ ）
（ Ｇ ）ｕｅ ｒ ｅｔ ｇａｐ ｅ ｃｓｒ ｃ ，ａｄａａ ｚ ｔ ｐ ｃｌ ａ ａ ｉ ｕｅ ｒ ｅｔ ｇａｐｅｉ ｓｒ ｃ ． Ｃ Ｈ ｓ ｆ ｓｎ ｓｈｒ ｕｆ ｅ ｎ ｌ ｅ ｈ ｏ ｔａ ｐｔ ｔ ｔ ｓ ｓｄｆ ｓｎ ｓｈｒ ｕｆ ｅ ｄｏ ｔｉ ｉ ａ ｎ ｙ ｅ ｉ ｈ ｈ ｏｔ ｉ ｃ ａ
载频 为
维普资讯
第２ 期
乔玉晶等 ： 计算全息用于非球面检测 的研究
１ ／Ｔ＝ｓｎ ／ ≥ １ ５ ｙ ｉａ Ａ ． Ｂ
２ Ｉ Ｌ （ 杀 １ ０ １ ）
０４９ ， ．８ 环带宽度 是 ０１ 采用传 统 的泰曼格林 ３ ． ． 干涉仪测量仿真结果 的 Ｐ 值为 ０４ ７６ ． ．９ 这里 的
这个转换 波前 可 以用 常规的干涉测量法与参 现代光学系统 的高性能要求使得非球面的设计 面波． 水平不断提高 ， 同时也要求对非球 面进行精确测量． 考波前相 比较得 出测量结果． 但是 ， 高精密度零位光 常用 的测量球面 的方法¨ 是在 Ｔ ｙ ａ — ｒ ｎ干 学元件的制作是困难且 昂贵 的， ｗｍ ｎ Ｇｅ ｅ 尤其测 量非对 称波 成本 也 会更 高 一． Ｊ 因此 ， 计算 全 涉仪下 ， 将被测球面或平 面与参考球 面或平 面相 比 前变得更加 困难 ，
由式（ ） ７ 可求出透过率最大与最小值的位置分别为
２ｒ（ｉ ． ） ，）＝ ｎｒ ， ｓ ｏ Ａ （ ｙ ２ ， ｔ ｎ／ ｘ ｒ （） ８
２ｒ（ｉ ． ） ，） ２ｒ／ １２ ］ ， ｓ ｏ Ａ （ ｙ ： ，［， ／ ） ｒ ｎ／ ｘ ｒ７ ＋（ ／： ， ，± ， ７ ０ ±ｌ ２ … ， （） ９
ｄ ｄ ｉｇｔ ｅｐ ｓｔ ｎ ｏ ｅ ｕｎ ｏ ｉｏ ｆＣＧＨ ｓｒｐ ｓｆｒｔｓ ｎ ｉａｙ ａ ｉＨ ｙ ｈ ｉ ｔｉｅ ｅｔ ｇ ｂｎ ｒ ｘａ ｙ ｓ ｍｍｅｒｃ ａ ｐ ｅ ｃ ｓ ｒ ｃ ，ａ ｄ ｏ ｔｉｉ ｇｔｅ ＣＧＨ ｏ ｉ ｔ ｓ ｈ ｆ ｕ ｆ ｅ ｎ ｂ ａｎｎ ｉ ｉ ａ ｈ ｐ ｔ ｒ ｑ ａｉｎ Ａｃ ｏ ｄｎ ｏ ｔｅ ｒｓ ａｃ ｅ ｕｔ ｈ ｕ ｈ ｒ ｉ ｌｔ ｎ ｎ ｌｚ ｅ ｏ ｔ ａ ｅｔ ｇ ｐ ｔ ．Ｔ ｅ ａｔ ｎ ｅ ｕ ｔ ． ｅ ｏ ｃ ｒ ｉｇ ｔ ｈ ｅ ｅ ｒｈ ｒｓ ｌ，ｔｅ ａ ｔｏｓ ｓ ｍｕ ａｅａ ｄ ａ ａｙ ｅ ｔ ｐ ｉ ｌｔｓｉ ａ ｈ ｃ ｎ ｈ ｈ ｒ ｓ ｌ ｏ ｉ ｌｔ ｎ ｓ ｏ ｓｔｅ ｔｓ ｎ ｔｏ ｆＣ ｅｕｔ ｆ ｍｕ ａｉ ｈ ｗ ｅｔ ｇｍｅ ｄ ｏ ＧＨ ｏ ｅ ｓｔ ｇｆｒｄｆ ａ ｔ ｎ Ｃ ａｕ ｅ ｔｅａ ｐ ｅｉ ｕｆｃ ｓ ｏ ｈ ｉ ｈ ｃ ｍｐ ｎ ａｉ ｉｒ ｃｉ ａ ｍｅ ｓ ｒ ｓ ｈ ｒ ｓ ｒ ｅ ｎ ｏ ｏ ｎ ｈ ｃ ａ ｗｉ ｈ ｉｈ ｒｐ ｅ ｉｉｎ ｔａ ｏ ｖ ｎｉｎ ｌｍｅ ｏ ｈ ｔ ｔｅｈｇ ｅ ｒｃｓｏ ｎ ｃ ｎ ｅ ｔ ａ ｔ ｄ，ａ ｄ ｔｅ ＲＭＳ ｉ ｅ ｓ ｈ ｏ ｈ ｎ ｈ ｓｌｓ． Ｋｅ ｒ ｓ ＣＧＨ ；ｃ ｍｐ ｎ ａｅ ｄｆ ａ ｔ ｎ ｍｅ ｓ ｒｍｅ ｔ ｙ ｗｏ ｄ ： ｏ ｅ ｓｔ ｉ ｒｃｉ ａ ｕｅ ｎ ；ｗａ ｅｆ ｎ ｔ ｎ ｆ ｏ ｖ ｕ ｃｉ ｏ
中， 干涉 条纹 可 以免 受 振动 和 空气 的影 响 ， 因此 ， Ｃ Ｈ可制成相位全息 图， 种计算 全息图对离轴 的 Ｇ 这
载波用一离轴 的 即与一沿 轴 成 角传播 的 平面波与波函数 干涉 ， 这样解决 了位相元件 中存在 的多衍射级 次的干扰 ， 其全息透过率为 ： ｈｘＹ ＝Ｉ ｐｉ， （ｉ ． ） ＋ ｘ［ ， ，） Ｉ＝ （ ，） ｅ ［ ｔ ｓ ＣＳ２ｒ（ｉｏＡ ，） ｝ （） ｛ ＋ Ｏ［ｑ ｓ ． ） － ｎ／ ｘ Ｙ］ ７
旋转对称非球 面， 分析 了检测光路 ， 推导出全息图条纹位置计 算公 式 ， 到 了用于非球 面检测的计 得 算全息图样 ， 并对测量光路进行 了仿真分析 ， 结果表 明， 计算全息补偿干 涉测量法测量的均方差值
比传 统 的 干 涉测 量 法 小．
关键词 ： 计算全息 ； 补偿干 涉测量 ； 波函数 中图分类号 ： Ｐ ９ ． １ Ｔ ３ １４ ３ 文献标识码 ： Ａ 文章编号 ： ０ ７ ２ ８ （０ ５ ０ — ０ ７ ０ １０ — ６３ ２０ ）２ ０９ — ３
准波函数 （ ｙ 一般不直接采用被检非球 面面形 ，）
第１ ０卷
第２ 期
哈 尔 滨 理 工 大 学 学 报
Ｊ ＯＵＲＮＡＬ ＨＡＲＢ Ｎ Ｉ ＵＮＩ Ｖ．Ｓ Ｉ Ｃ ．＆ Ｔ ＥＣＨ．
Ｖｏ． ０ Ｎｏ ２ １１ ．
Ａｐ ． ０ ５ ｒ ，２ ０
２０ 年 ４ ０５ 月
计 算 全 息 用 于 非 球 面 检 测 的 研 究
较， 然后得 出测量结果． 如果被测表 面是 非球面 ， 用
息图（ Ｇ 作为零位补偿器 ， Ｃ Ｈ） 用来检测非球面成为
这种方法就存在测量准确 度受到 限制 的问题 ， 因为 参考面与被测面之 间的差 异太大． 解决这个 问题最 常用的方法是制作第二个光学 系统（ 零透镜或零反 射镜） 将被测元 件产生 的波前 转换 成球 面波或平 ，
。
（） １
级数形式为
ｚ （ ＋ ＋ （ ＋ ＋ ｙ） ｙ）
其中： 是物体表面的相位误差 ； 是测试板的 ∞ ∞
放置误差 ； 是整个系统 的设置误差． ∞ 即辅镜 的制 作与安置误差 ， 包括计算全息透镜 的误差． 全息测量
ｌＲ ＋ ＋ ¨ ６５ ＇ （ ） … Ｙ 。 （） ４ 的设计包括所期望的参考波前 的环形位置计算 ， 及 ｅ 尺是顶点 曲率半径 ， 坐标原点 与测试和参考光束 相匹配 的振 幅宽度． 波面各点 其 中， 是非球面系数 ， 此 旋转对称轴选作 ｚ轴． 的法线和被检凸面的相应点 的法 线相重合． 常情 选在顶点上 ， 通 半径为 尺的球面方程 的级数形式为 况下 ， 被检非 球面 的方 程是 已知 的 ， Ｇ Ｃ Ｈ再现 的标
非球面的再现类似于精密制作 的闪耀光栅．
激光器
球 面
１ 计算全息补偿干涉测量法原理
图 １ 计算全息 补偿干涉测量 法检测非球面
计算全息根据标准非球面 的波前制成 ， 时， 测量 光线垂直照射到被 测面． 如果 物体 面形完 好地满足
非球面的形状， 物体产生的波前与计算全息图的波 前相匹配． 被测面的误差将 引起 反射 回来 的波面的
维普资讯
９ ８
哈 尔
滨 理
工 大 学
学 报
第９ 卷
计算 全息 的制作过程采用数字定量计算 ， 准确度高． 计算全息图的质量主要 由计算 机 的存储容量 、 计算 速度和成图设备的分辨率决定 ． 而激 光直写和 电子 束直写装置的出现 ， 以获得高质量 的计 算全息元 可 件． 这使得利用计算全息 补偿干涉测 量法测量非球 面成为可能并应用 于实际．
是钠光波长 ， 采用高精 密度 的 Ｏ ｎｒ ｆ ｅ 补偿 器得 到实 测指标 Ｐ 值为 ０ ４ ９７ ． ．７ 由此可见 ， 采用本文所用
波形产生畸变 ， 这可 以通过相移 干涉测量获得 畸变
２ 计算全息的设计
以二次旋 转曲面为例 ， 一般 的二次旋转 曲面的 方程为
＋Ｙ ＝２ Ｚ—ｅ ２ Ｒ Ｚ （） ３
的数值 ． Ｊ对于被测表面相位 的畸变主要有三个相 位起作用 ， 以用公式表示为 可
∞ ∞ ｌ ｆ＋ ∞ ｉ ＋ ∞
球面波前． Ｃ Ｄ将参 考光 束 与检 测光 束 同时接 用 Ｃ 收， 从接收屏幕上看到的干涉 图应该是球面波形 ， 也
式 （ ）～ ４ 的两倍 （ ５ （） 双程 ） 即是球 面波与非球 面波 的光程差 ， 根据光程差 的相位干涉 图， 其相位差为
，＝ ｚ 【 （ ） ｙ △＝ ） ＋ （＋ ＋‘ ． ． ］
收稿 日 ： ０４— ９— ３ 期 ２０ ０ ２
现代光学检测中非常著名 的方法 ， 的优点是所 用 它
的球面辅助镜只需 检测球 心即可 ， 因此大大 降低 了 成本 ．
计算全息 法检测非球 面仍然属 于干涉测量法 ，
基金项 目： 哈尔滨市 青年科学研究 基金资助项 目（０４ Ｆ Ｘ００ ２０Ａ Ｑ Ｊ５ ） 作者简介 ： 乔玉 晶（９２ ， ， １７ 一）女 哈尔滨理 工大学讲师．
乔玉晶 ， 吕 宁
（． １哈尔 滨理工大学 机械动力工 程学院 ， 黑龙江 哈尔滨 １０８ ； ５０ ０
２． 哈尔滨理工大学 计算机与控制学院， 黑龙江 ， 哈尔滨 １０８ ） ５００
摘
要 ： 了实现对非球 面的高精确度检测 ， 出， 用计 算全息补偿干涉测量原理检测二元 为 提 采
Ａｂ ｔａ ｔ Ｆ ｒｔｓｉｇ ａ ｐ ｅｉ ｕ ｆｃ ｒ ｒ ｃｓ ｌ ｓｒ ｃ ： ｏ ｅ ｔ ｓ ｈ ｒ ｓ ｒａ ｅ ｍｏｅ ｐ ｅ ｉｅｙ，ｔｅ ａ ｔｏｓ ｐ ｅｅ ｔｔｅ ｃ ｍｐ ｔｒｇ ｎ ｒｔｄ ｈ ｌｇ ａ ｎ ｃ ｈ ｕｈ ｒ ｒ ｓｎ ｏ ｕｅ ｅ ｅａｅ ｏｏ ｒｍ ｈ
Ｔｈ ｓ ａ ｃ ｆＣＧＨ ｆ ｒＴ ｓｉｇ Ａｓ ｈ ｒ ｒ ｃ ｅ Ｒｅ ｅ ｒ ｈ ｏ ｏ ｅ ｔ ｐ ｅ ｉ Ｓｕ ｆ ｅ ｎ ｃ ａ
ＱＡ ｕ ｊ ｇ ， Ｌ ｉ ＩＯ Ｙ —ｉ ｎ ＵＮｎ ｇ
（ ． ｃ ａｉａ ＆ Ｐ ｗ ｒＥ ｇ ｅｒ ｇＣ ｌ ｇ ，ＨａｂｎＵ ｉ．Ｓ ｉ ｅｈ ， ｒｉ ５ ０ ０， ｈｎ ； １ Ｍｅｈｎｃｌ ｏ ｅ ｎｉ ｅ ｎ ｏ ｅｅ ｎ ｉ ｌ ｒｉ ｎｖ ｃ．Ｔ ． Ｈａｂｎ１ ０ ８ Ｃ ｉａ ｃ ２ Ｃ ｍｐ ｔ ． ｏ ｕｅ Ｃ ｎｒｌ ｏｌ ｅ ａｂｎＵ ｉ．Ｓ ｉ ｅｈ ， ｒｉ ５０ ０，Ｃ ｉａ ｒ＆ ｏ ｔ ｌｇ ，Ｈ ｒｉ ｎｖ ｃ．Ｔ ． Ｈａｂｎ１０ ８ ｏＣ ｅ ｃ ｈｎ ）
（ Ｇ ）ｕｅ ｒ ｅｔ ｇａｐ ｅ ｃｓｒ ｃ ，ａｄａａ ｚ ｔ ｐ ｃｌ ａ ａ ｉ ｕｅ ｒ ｅｔ ｇａｐｅｉ ｓｒ ｃ ． Ｃ Ｈ ｓ ｆ ｓｎ ｓｈｒ ｕｆ ｅ ｎ ｌ ｅ ｈ ｏ ｔａ ｐｔ ｔ ｔ ｓ ｓｄｆ ｓｎ ｓｈｒ ｕｆ ｅ ｄｏ ｔｉ ｉ ａ ｎ ｙ ｅ ｉ ｈ ｈ ｏｔ ｉ ｃ ａ
载频 为
维普资讯
第２ 期
乔玉晶等 ： 计算全息用于非球面检测 的研究
１ ／Ｔ＝ｓｎ ／ ≥ １ ５ ｙ ｉａ Ａ ． Ｂ
２ Ｉ Ｌ （ 杀 １ ０ １ ）
０４９ ， ．８ 环带宽度 是 ０１ 采用传 统 的泰曼格林 ３ ． ． 干涉仪测量仿真结果 的 Ｐ 值为 ０４ ７６ ． ．９ 这里 的
这个转换 波前 可 以用 常规的干涉测量法与参 现代光学系统 的高性能要求使得非球面的设计 面波． 水平不断提高 ， 同时也要求对非球 面进行精确测量． 考波前相 比较得 出测量结果． 但是 ， 高精密度零位光 常用 的测量球面 的方法¨ 是在 Ｔ ｙ ａ — ｒ ｎ干 学元件的制作是困难且 昂贵 的， ｗｍ ｎ Ｇｅ ｅ 尤其测 量非对 称波 成本 也 会更 高 一． Ｊ 因此 ， 计算 全 涉仪下 ， 将被测球面或平 面与参考球 面或平 面相 比 前变得更加 困难 ，
由式（ ） ７ 可求出透过率最大与最小值的位置分别为
２ｒ（ｉ ． ） ，）＝ ｎｒ ， ｓ ｏ Ａ （ ｙ ２ ， ｔ ｎ／ ｘ ｒ （） ８
２ｒ（ｉ ． ） ，） ２ｒ／ １２ ］ ， ｓ ｏ Ａ （ ｙ ： ，［， ／ ） ｒ ｎ／ ｘ ｒ７ ＋（ ／： ， ，± ， ７ ０ ±ｌ ２ … ， （） ９
ｄ ｄ ｉｇｔ ｅｐ ｓｔ ｎ ｏ ｅ ｕｎ ｏ ｉｏ ｆＣＧＨ ｓｒｐ ｓｆｒｔｓ ｎ ｉａｙ ａ ｉＨ ｙ ｈ ｉ ｔｉｅ ｅｔ ｇ ｂｎ ｒ ｘａ ｙ ｓ ｍｍｅｒｃ ａ ｐ ｅ ｃ ｓ ｒ ｃ ，ａ ｄ ｏ ｔｉｉ ｇｔｅ ＣＧＨ ｏ ｉ ｔ ｓ ｈ ｆ ｕ ｆ ｅ ｎ ｂ ａｎｎ ｉ ｉ ａ ｈ ｐ ｔ ｒ ｑ ａｉｎ Ａｃ ｏ ｄｎ ｏ ｔｅ ｒｓ ａｃ ｅ ｕｔ ｈ ｕ ｈ ｒ ｉ ｌｔ ｎ ｎ ｌｚ ｅ ｏ ｔ ａ ｅｔ ｇ ｐ ｔ ．Ｔ ｅ ａｔ ｎ ｅ ｕ ｔ ． ｅ ｏ ｃ ｒ ｉｇ ｔ ｈ ｅ ｅ ｒｈ ｒｓ ｌ，ｔｅ ａ ｔｏｓ ｓ ｍｕ ａｅａ ｄ ａ ａｙ ｅ ｔ ｐ ｉ ｌｔｓｉ ａ ｈ ｃ ｎ ｈ ｈ ｒ ｓ ｌ ｏ ｉ ｌｔ ｎ ｓ ｏ ｓｔｅ ｔｓ ｎ ｔｏ ｆＣ ｅｕｔ ｆ ｍｕ ａｉ ｈ ｗ ｅｔ ｇｍｅ ｄ ｏ ＧＨ ｏ ｅ ｓｔ ｇｆｒｄｆ ａ ｔ ｎ Ｃ ａｕ ｅ ｔｅａ ｐ ｅｉ ｕｆｃ ｓ ｏ ｈ ｉ ｈ ｃ ｍｐ ｎ ａｉ ｉｒ ｃｉ ａ ｍｅ ｓ ｒ ｓ ｈ ｒ ｓ ｒ ｅ ｎ ｏ ｏ ｎ ｈ ｃ ａ ｗｉ ｈ ｉｈ ｒｐ ｅ ｉｉｎ ｔａ ｏ ｖ ｎｉｎ ｌｍｅ ｏ ｈ ｔ ｔｅｈｇ ｅ ｒｃｓｏ ｎ ｃ ｎ ｅ ｔ ａ ｔ ｄ，ａ ｄ ｔｅ ＲＭＳ ｉ ｅ ｓ ｈ ｏ ｈ ｎ ｈ ｓｌｓ． Ｋｅ ｒ ｓ ＣＧＨ ；ｃ ｍｐ ｎ ａｅ ｄｆ ａ ｔ ｎ ｍｅ ｓ ｒｍｅ ｔ ｙ ｗｏ ｄ ： ｏ ｅ ｓｔ ｉ ｒｃｉ ａ ｕｅ ｎ ；ｗａ ｅｆ ｎ ｔ ｎ ｆ ｏ ｖ ｕ ｃｉ ｏ
中， 干涉 条纹 可 以免 受 振动 和 空气 的影 响 ， 因此 ， Ｃ Ｈ可制成相位全息 图， 种计算 全息图对离轴 的 Ｇ 这
载波用一离轴 的 即与一沿 轴 成 角传播 的 平面波与波函数 干涉 ， 这样解决 了位相元件 中存在 的多衍射级 次的干扰 ， 其全息透过率为 ： ｈｘＹ ＝Ｉ ｐｉ， （ｉ ． ） ＋ ｘ［ ， ，） Ｉ＝ （ ，） ｅ ［ ｔ ｓ ＣＳ２ｒ（ｉｏＡ ，） ｝ （） ｛ ＋ Ｏ［ｑ ｓ ． ） － ｎ／ ｘ Ｙ］ ７
旋转对称非球 面， 分析 了检测光路 ， 推导出全息图条纹位置计 算公 式 ， 到 了用于非球 面检测的计 得 算全息图样 ， 并对测量光路进行 了仿真分析 ， 结果表 明， 计算全息补偿干 涉测量法测量的均方差值
比传 统 的 干 涉测 量 法 小．
关键词 ： 计算全息 ； 补偿干 涉测量 ； 波函数 中图分类号 ： Ｐ ９ ． １ Ｔ ３ １４ ３ 文献标识码 ： Ａ 文章编号 ： ０ ７ ２ ８ （０ ５ ０ — ０ ７ ０ １０ — ６３ ２０ ）２ ０９ — ３
准波函数 （ ｙ 一般不直接采用被检非球 面面形 ，）
