ch8.1

（2）射线辐照法
• 各种射线或粒子束辐照气体→气体电离而产 生等离子体。 • 方式：利用放射性同位素发出的α、β、γ射线、 利用X射线、利用带电离子束等。 • （3）光电离法 • （4）激光等离子体 • （5）热电离法
• 8.2.3两种刻蚀方法的比较 • 湿法刻蚀：刻蚀速度较快，选择性较高，但各向 同性腐蚀，横向有腐蚀，图形转换时保真度较低 • 干法刻蚀：其纵向刻蚀速率远远大于横向刻蚀、 各向异性腐蚀，但选择性较差。能获得相当准确 的图形转移
多晶硅栅
• 重惨杂多晶硅，ρ还是很高，不适合作为 MOS器件的金属层。 • 再增加一层金属硅化物， ρ↓,导电性能↑ • 多晶硅+硅化金属层=多晶硅化金属导电层 • 硅化钨是最早的也是最为普遍使用的一种 金属硅化物（还有硅化钛）。
• 溴化氢（HBr）也是常用的腐蚀气体. • 因为在≤0.5µm的制程中，栅极氧化层的厚 度≤ 10nm，以HBr来刻蚀的多晶硅对SiO2 的选择比将高于以Cl为主的等离子体。 • 刻蚀步骤：刻蚀金属硅化物(包括天然氧化 层，用CF4、SF6、Cl及HCl气体等）→腐 蚀多晶硅
（2）氢的作用：在CF4中加入氢气，
加氢气后
HF对SiO2刻蚀速率与氟相 比要慢得多， 加氢后 对SiO2的腐蚀速率会稍微↓ 对Si腐蚀速率明显↓ →SiO2和 Si的刻蚀选择比↑ • 当氢加太多时，聚合物产生， 妨碍Si或SiO2与F或CF2的 接触→刻蚀停止。
氢在CF4-H2内的比例
• • • • • •
8.3.3金属的干法刻蚀 1.铝的刻蚀
• 刻蚀剂： 氯化物（添加气体，产生离子轰击） +氯气（化学刻蚀 剂）。 2Al(s)+3Cl2(g) → 2AlCl3 （挥发） 添加气体： SiCl4、CCl4、BCl3，多采用BCl3 用BCl3添加气体的目的： (1)BCl3+O2+H2O（空气中）反应易进行以吸收水汽及 氧气； (2)BCl3在等离子体内可形成BClx原子团及BCl3+（正 离子），其中BCl3+是产生离子轰击的重要离子来源之 一。并各向异性刻蚀↑。

Ch8 标准件和常用件本章重点：1．螺纹及螺纹紧固件的画法及其标注；2．键、销连接的画法。

本章难点：1．螺纹及螺纹紧固件的画法及其标注；2．螺纹及螺纹紧固件的选用。

构成一台机器零件一般可归结为：非标准件、标准件、常用件。

1．标准件结构形状各部分尺寸等都严格按照国家标准的规定进行制造的零件，统一称为标准件。

例如：螺钉、螺母、螺柱、轴承、垫片、键、销等。

注：机械、电器等各个行业对标准件的需求量很大，通常是由专业化的工厂用专用设备和专用工具进行大批量生产，生产效率高、成本低、产品符合标准，用户只需选购。

2．常用件是指在机器和设备中的一些常用零件和部件，如齿轮、弹簧等3．国家标准对标准结构、标准零件、标准部件规定了规定画法和规定标记方法。

§8—1螺纹及螺纹紧固件一．螺纹1．螺纹的形成在一个作匀速运动的圆柱表面上，再用一只笔沿着平行与此同时圆柱体轴线方向作匀速直线运动，所画出的轨迹，就是圆柱螺纹线。

根据这种方法，将圆柱形工件夹持在车床上作匀速转动，车刀沿工件轴线方向作匀速直线运动，在工件表面就切出了螺纹。

螺纹分为外螺纹、内螺纹。

（1）外螺纹：在圆柱体的外表面形成的螺纹，称为外螺纹。

（2）内螺纹：在内表面（孔）形成的、螺纹，称为内螺纹。

（3）对直径较小的孔或轴：通常采用丝锥和板牙加工内螺纹和外螺纹。

（4）大批量生产螺纹紧固件的工厂，则是用自动搓丝机和攻丝机等专用设备加工。

2．螺纹的要素（1）螺纹的牙型：通过螺纹轴线剖切螺纹，所得牙型的剖面形状，称为牙型。

常用的牙型有三角形、梯形、锯齿形。

（2）螺纹的大径（螺纹的最大直径，又叫公称直径）：是指切于外螺纹的牙尖或内螺纹的牙底的假想圆柱的直径。

对标准螺纹而言，根据螺纹的大径，在相应的标准中可以查到这种螺纹的小径和中径（中径是指一假想圆柱表面的直径，在大径和小径之间，其母线通过牙型上的沟槽和凸起宽度相等的假想圆柱面的直径）等尺寸，所以通常只标注大径。

（3）螺纹的旋向：螺纹的旋向可分为左旋和右旋两种。

测试方法：CPSC-CH-E1001-8.1测定金属材料中总铅的标准操作程序儿童产品（包括儿童的金属手饰）2010年6月21日修定该文件提供了关于测试方法的详细信息，而这些方法被美国消费品安全委员会的实验室用来测试儿童金属产品中总铅的含量。

所描述的方法用来测定金属中总铅的含量，而不限于儿童的金属手饰。

该版本替代了先前发布的测试方法CPSC-CH-E1001-8，主要是在编辑上有一些变化。

美国消费品安全委员会得出结论，这些测试方法足以测试大多数消费品里的总铅含量。

对一些合金产品可能需要一些调整，但应基于足够的化学知识和针对基选择合适的酸.所选择的方法应是那些能很好证明它们能完全消解样品。

如果与申请不一致，或不能证明有很好的效果或不熟悉方法，那么这些方法不能被使用。

该方法适用于金属和金属部件，美国消费品安全委员会不建议用于其它一些材料，这些材料在具体的条件下不溶解或会与酸反应，生成一些不符合实验室安全的物质。

一般方法是将样品磨成粉末，采用HCL和HNO3的组合来完全消解样品，然后采用ICP进行测试。

其它的一些方法，比如ICP-MS，FLAA和GFAA在合适的条件下可作为一种对ICP-OES的替代。

定义：1.样品-一个单一的消费产品或一组来自于同一批的完全一样的产品。

2.部件-样品里的单个分部件。

诸如手镯的一些物件可破解成一些部件，比如珠子，挂钩，吊坠。

每一部分都要分析。

3.仪器侦测极限（IDL）-对试剂空白测量十次的3倍标准偏差。

4.方法侦测极限（MDL）-试剂空白，2～3倍的仪器侦测极限。

重覆测试该空白7次。

计算方法侦测极限如下：MDL=t×S,t=3.14(99%的置信区间)，S=标准偏差。

5.实验室试剂空白（LRB）-铅测试时使用的萃取或消解介质。

LRB数据用来评估实验室环境的污染。

6.校正空白-用硝酸酸化的去离子水（用去离子水将3ml浓硝酸稀释成100ml）7.标准储备溶液-从声誉好的供应商购买铅标准溶液1000ppm，用来制备校正溶液。

第八章无线对讲系统第一节总则8.1.1说明A.无线对讲系统是一个以放射式的双向通讯系统，使用于联络保养、保安、操作及服务的人员，在酒店内非固定的位置执行职责。

B.本系统采用数字中继台与数字手持机相结合的无线对讲系统，整个系统须为一独立400MHz 内部对讲系统。

C.本项目需要申请4个频点，给工程部及保安分队等使用，暂定30 部对讲机。

D.承包单位须负责为本项目系统的设计、供应、安装、测试及试运转以使业主满意之无线电对讲机系统。

E.承包单位须提供完整的布线，包括无线对讲系统所需要的配件。

F.承包单位所提供的设备、仪器、工具、控制配件等必须是最新的型号，替换部件须能够在损坏责任期完结后的五年内提供。

G.所有同一种类的设备及材料须为同一厂家的产品。

而设备的相类似项目必须可互相交换的。

H.设备及系统在接受采用后一年内可能出现的任何由于不正当的手工，设计错误，部件故障所引至的损坏，承包单位必须使系统正常而达到业主满意的程度，而一切费用由承包单位负责。

有关的部件在保养期内一年内更替须提供在替换后一年新的保养期。

I.样本须提交批核，所有设备及配件必须在业主批核后才能订货。

J.承包单位须提供应用于本系统之线管及所需之一切附件，应尽量减少使用线槽，如有必要，亦应包括在合约价内。

K.以下的资料须与议标书一起提交：1. 由当地无线电委员会或有关部门所发给之认可证书。

2. 完整的中∕英文说明书、图纸及规格包括电及所有提供设备的每个项目。

3. 完整的价目表。

4. 两年维修期的推荐部件及其单价。

所有备件须在业主要求时才可订货。

L.放射的网络及无线电接收须有足够的功率可覆盖办公楼的所有地方。

M.系统的操作方式须是当地无线电委员会或有关部门所认可的双频双向自动重复方式。

N.承包单位须与当地无线电委员会或有关部门联络关于系统操作的频率，最大有效功率、频道空间、认可频道、频率容忍度等。

O.本承包单位负责向当地无线电委员会申请不少于6个频点为全局使用。