JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书

电子显微镜学习心得及简单的操作流程1月12、13号进行了由天美科学仪器有限公司派到敝公司的维修工程师为期两天的电子显微镜安装。

随后的1月16、17号两天我们所有的新老技术都参加了电子显微镜的培训。

通过培训我们了解到了电子显微镜的结构、工作原理、工作条件、以及一些日常的维护保养，电子显微镜被广泛应用于高分子材料、金属材料、陶瓷、治金、生物、地质、半导体、仿生学等各个领域。

通过电子显微镜可以方便地观察到物质的微观结构，晶体生长规律，检测各种材料的老化及其疲劳损害程度，分析各种材料中的各种成分的分布规律及其各种元素之间的比例关系。

能谱分析（EDS）的使用方法：选择合适的试样位置后，开始采集，待采集完成后，选择适合的谱图进行计算，从而得到试样中相应元素的定量分析数据，并且还具有线、面分析功能及其粒度分析统计功能。

下面就这几天的学习简单制作了如下操作流程，仅供大家参考！处，启动电子显微镜。

把钥匙拧到START 2. 1.开启电源开关。

键泄出里面的真空气体。

AIR点击 4. 3.待电脑开启之后，点击OK键注意手的位置。

6. 双手轻轻拉出真空罩，*5.等待字样的进度条完全消失，电脑连续“嘟”三声，说明样品台里面真空气体完全泄出。

进度条7.用手轻轻取出样品。

8.用碳胶带把样品贴在样品台上，注意不要用手直接接触样品台。

10.把样品台放入轻轻放入。

9.以样品的最高点为基准，测出高度。

待样品台自动调整到指定的位置，12.输入尺寸和高度，点击Stage Move 11. OK然后点击一只手轻轻搭住真空罩，另一只手14. 13.把样品台轻轻推入真空罩，样品台的高度必须低于真空罩口的高度。

点击EV AC键，开始抽真空。

键，自动调整亮度。

点击B/C 16. ON15.点击键，加高压。

调整后的图像。

18. ，自动聚焦。

FOCUS点击17.放大图像、聚焦、调整亮度对比的20.控制图像横向、纵向移动的操作台19. X为横轴，Y为纵轴。

GAOSUO Digital MicroscopeUser Manual（中文）首先非常感謝貴司（您）購買了GAOSUO數碼顯微鏡數碼顯微鏡應用範圍非常廣泛主要有以下方面.1工業方面：a 、工業檢視，例如電路板、精密機械等b 、印刷檢視，SMT焊接檢查c 、紡織檢視d、IC表面檢查2美容方面A、皮膚檢視B、發根檢視C、紅外理療（特定產品）3生物應用A、微生物觀察B、動物切片觀察4其他A、擴視器，協助視障人士閱讀B、寶石鑒定GAOSUO數碼顯微鏡使用簡單，只需要同電腦USB介面連接就可以使用，本產品還配備測量軟體，可做簡單的量測，非常的方便。

為了更詳細的介紹本產品，敬請耐心的閱讀產下面的產品介紹，使用方法，注意事項。

規格：傳感器：高性能感光晶片主控晶片：專用主控16Bit DSP放大倍率：200X.300X .600X. 500X.800X (各款機型)拍照/錄影：內置輔助光源：8顆白光LED燈靜態解析度：640x480 最高可達1600x1200(可按需定制)數碼變焦：多段式成像距離：手動調節0~無限遠影像解析度：標準640*480固定底座：配用升降支架光盤：內含驅動，測量軟體，說明書支援系統：WIN XP/VISTA；WIN 7 32位和64位電源：USB（5V DC)電腦介面：USB 3.0、2.0 & USB 1.1 相容動態幀數: 30f/s Under 600 LUX Brightness照度範圍：0 ~ 30000LUX線控可調硬體需求：奔騰主頻700M Hz或以上；1G硬碟CD ROM 光碟機；64MB 記憶體支援語言：中文（簡）中文（繁體）英(其他語言需要定制)產品顏色：磨砂黑色，其他顏色可定制主體尺寸112 mm ( 長) 33 mm ( 外徑)單機包裝重量380g安全警告及注意事項1. 勿自行拆解本產品，以避免靜電擊穿精密晶片。

2. 勿用酒精等有機溶劑清潔產品。

3. 勿用手指觸摸鏡頭，以免表面造成刮痕和贓汙。

6700F操作规程早上来时，打开tool界面，查看电镜状态，并先计录下SIP1、SIP2的值。

（只需计早上开机时的值，中午和晚上无需计）打开自动控制器侧面的开关。

一、 放进样品：1．确认高压处于关闭状态，高压开关按钮为蓝色或黑色。

2．点击打开窗口，从窗口中选择和要使用的样品座相对应的图形（用鼠标左键点击）。

点击下方“Exchange”或“Home”按钮。

3．调整样品台Z轴为8mm，T轴为0°（唯一的）。

Z轴T轴X轴Y轴4．确认样品交换室操作面板上“EXCH POSN”灯点亮。

样品座卡抓5．按“VENT”按钮，此时样品交换室进氮气，“VENT”闪烁，待交换室达到大气压后，“VENT”点亮。

6．松开交换室锁扣，打开样品交换室，将已固定好样品的样品座，按箭头方向放到送样杆末端的卡抓内。

样品台固定方法：首先将样品固定在样品台上，再将样品台放到样品座的圆筒槽内，调节样品座下方的螺丝，调整样品表面与样品座圆筒槽上表面齐平。

调好后，拧紧样品座上的固定螺丝，将样品台固定。

样品表面样品座圆筒槽表面样品表面样品座圆筒槽表面样品表面样品座圆筒槽表面样品台样品座圆筒槽样品台高度调节螺丝样品座7．关闭样品交换室门，扣好锁扣。

8．按“EV AC”按钮，开始抽真空，“EV AC”闪烁，待真空达到一定程度时，“EV AC”点亮。

9．将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，停留1秒钟，确认“HLDR”灯点亮。

10．将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外（非常重要，否则易引起送样杆损坏），将送样杆竖起卡好。

导板末端台阶末端台阶导板二、 样品的移动：1．用鼠标右键点击需要观察的区域，该区域即移动到屏幕中心。

2．使用操纵杆：通过左右倾斜操纵杆控制样品水平左右移动，通过前后倾斜操纵杆控制样品水平上下移动，通过扭拧操纵杆控制样品水平旋转。

Y方向X方向三、 图像调整及保存：1．观察条件：5.14-E-004样品放入样品室后，打开“PVG”，查看真空度，达到后，且“HT”变蓝时，才可以准备加高压。

1. S—4300F型扫描电子显微镜操作规程：①将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。

推紧预抽室门按下EV AC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1推入样品后关闭MV1；②换样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1取出样品，关闭MV1重复第一步；③打开主机面板上display power 开关，接通操作系统开关，按照计算机提示进入WINDOWS操作界面；④点击桌面上的PC—SEM文件夹，进入扫描电镜操作平台；⑤打开LOCK开关，拨向AOUT OPEN方向，点击SEM操作界面上的vacc打开高压对话框。

将电流设置在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节，调节范围1kv~20kv，点击ON，打开高压系统；⑥调节样品位置，选择所需结构。

利用桌面上AUTO按钮调节图像的对比度和亮度，调节扫描速度，得到一幅满意的图像。

打开光路调节键，利用Beam、Aperture、StigX、StigY、STIGMATOR/ALIGNMENT相互配合调节光路系统；⑦选择选区扫描速度，调节高倍像中的像散，最终得到一幅高清晰图像，⑧存图像数据：点击Speed 3，点击M键，关闭Image窗口选择Yes，确定存储路径点击Save完成图像的抓取；2.注意事项：①换样品时样品杆只能在X方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等；②样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；③样品台锁定系统打开后，样品台只允许X、Y向的移动，不得做其他运动；③每次更换样品前后必须观察P1、P2、P3三级离子泵的真空情况，其中P1、P2不得小于3*10/-7，P3不得小于7*10/-7，如低于上述标准不得加高压；④如使用数码打印机打印图像，必须使SEM操作平台提前检索到打印机；⑤磁性材料的测试必须提前和管理人员联系，弱磁性材料必须经管理人员认可后方可上机实验，强词性材料不得上机测试，否则将停止其上机资格；⑥粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜；。

JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书目錄l.i 的............................................................... . (2)2•範圍............................................................... . (2)3權責............................................................... . (2)4.參考資料............................................................... .. (2)5.儀器介紹............................................................... .. (2)6 •操作程序...............................................................7 •注意事項............................................................... .. (8)■1•目的本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡Z工作原理及操作方法等基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。

2•範圍HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。

3•權責3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。

修訂方式亦同。

3.2本工作指導書供相關操作人員參考。

4•參考資料捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。

5.儀器介紹5.1External view of JSM-6700F5.2General view of column6 •操作程序6.1 開啟SEM OPE switch6.2打開SEM電腦主機&螢幕6.3點選操作軟體視窗-JEOL PC-SEM 6700（桌面）6.4確認SEM操作前步驟0K,檢視以下數值：a・氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力上5Kgc.確認tilt 位］［在0b・確認EDS及BEI detector已伸出chamber夕卜d・確認STAGE ± WD在8mm及螢幕上WD在8mme・確認STAGE 歸至原位X=35.00> Y二25.00、R=0.00（Soft:stage/exchange一選擇holder ・-exchange）f・確認放大倍率縮至最小（250倍）g・確認加速電壓是否在10KVh・確認ROTATION與BEAM SHIFT是否已歸位i・確認Probe Current是否在7j・確認EXCHANGE CHAMBER抽真空k・確認I.close （橘色燈亮）6.5將樣品置入試片載台a.試片大小需符合JEOL specimen holders,將試片處理完後放置於樣品holder ±,試片高度不可超過樣品holder ±方0.5公分，並確認試片己固定好。

GAOSUO Digital MicroscopeUser Manual（中文）首先非常感謝貴司（您）購買了GAOSUOX數碼顯微鏡數碼顯微鏡應用範圍非常廣泛主要有以下方面.1工業方面：a 、工業檢視，例如電路板、精密機械等b 、印刷檢視，SMT焊接檢查c 、紡織檢視d、IC表面檢查2美容方面A、皮膚檢視B、發根檢視C、紅外理療（特定產品）3生物應用A、微生物觀察B、動物切片觀察4其他A、擴視器，協助視障人士閱讀B、寶石鑒定GAOSUO數碼顯微鏡使用簡單，只需要同電腦USB介面連接就可以使用，本產品還配備測量軟體，可做簡單的量測，非常的方便。

為了更詳細的介紹本產品，敬請耐心的閱讀產下面的產品介紹，使用方法，注意事項。

規格：傳感器：高性能感光晶片主控晶片：專用主控16Bit DSP放大倍率：1X ~ 500X拍照/錄影：內置輔助光源：8顆白光LED燈靜態解析度：640x480 最高可達1600x1200(可按需定制)數碼變焦：多段式成像距離：手動調節0~無限遠影像解析度：標準640*480固定底座：萬向金屬底座(可選配用升降支架)光盤：內含驅動，測量軟體，說明書支援系統：WIN XP/VISTA；WIN 7 32位和64位電源：USB（5V DC)電腦介面：USB 2.0 & USB 1.1 相容動態幀數: 30f/s Under 600 LUX Brightness照度範圍：0 ~ 30000LUX線控可調硬體需求：奔騰主頻700M Hz或以上；1G硬碟CD ROM 光碟機；64MB 記憶體支援語言：中文（簡）中文（繁體）英(其他語言需要定制)產品顏色：磨砂黑色，其他顏色可定制主體尺寸112 mm ( 長) 33 mm ( 外徑)單機包裝重量380g安全警告及注意事項1. 勿自行拆解本產品，以避免靜電擊穿精密晶片。

2. 勿用酒精等有機溶劑清潔產品。

3. 勿用手指觸摸鏡頭，以免表面造成刮痕和贓汙。

JSM-6700F 场发射扫描电镜操作规程1 试样准备1.1 样品要求：表面导电，固态，无磁性，无挥发性气体,干燥样品，最大高度差3mm 。

体相样品可以直接测量，粉末样品需分散固定在一定的介质上。

非导电样品利用离子溅射仪对表面喷镀金属使其导电。

1.2 试样处理：利用双面胶将样品固定在样品托上，进行镀金（导电样品可以省略），然后利用导电胶或导电胶带将样品表面与样品台短接，导电胶需要彻底干燥后方可进行测试。

1.3 样品台安装：将样品托放入样品台内，调节其高度与样品台上表面平行，固定样品托。

2 进样操作2.1 点击工具栏上的样品台更换Stage Exchange 按钮，在弹出的窗口中点击Exchange 。

2.2 按充气按钮VENT 向样品交换室充气，至橙色指示灯长亮。

2.3 打开舱门，把样品台平面向内沿轨道推到底，检查密封圈是否脱落后关闭舱门。

2.4 按抽气按钮EVAC 对样品交换室抽真空，至橙色指示灯长亮。

2.5 将进样杆拉到水平状态，缓缓送入仪器内部。

推到底后确认样品台就位灯HLDR 点亮，即可抽出进样杆（一定要全部拉出后，才可向上复位）。

2.6 点击工具栏上PVG 按钮显示真空计窗口，当真空度值小于5×10-4 Pa 时开始加高压，设定好高压值后点击HT 按钮，使其由篮转绿。

2.7 当电流值达到10 µA 时，打开截止阀 ，按钮灯熄灭后开始测试。

3 取样操作3.1 关闭截止阀 ，按钮灯亮。

3.2关闭高压HT ，按钮颜色由绿转篮。

3.3 点击工具栏上的样品台更换Stage Exchange 按钮，在弹出的窗口中点击Exchange ，等待样品台中置灯 点亮(如果不亮进行样品台矫正Maintenance －Stage －Calibtation －Auto )。

3.4 此时把进样杆拉到水平状态，缓缓送入仪器内部。

推到头后再缓缓抽出进样杆。

（一定要拉到底，方可向上复位）此时样品台就位灯HLDR 应该熄灭3.5 按充气按钮VENT 为样品交换室充气，至橙色指示灯长亮3.6 打开舱门，把样品台沿轨道取出后关闭舱门（检查密封圈是否脱落）。

SEM Instructions (JEOL JSM-6500 F)User: emc-userPw: (See System Administrator)Domain: CVMBSDOMA) Sample Preparation3 holders:1)holds 1 stub, most tilt2)bulk holder – deepest, use for pin stubs3)2BH: multiple samples (eight 10 mm stubs or six 12 mm stubs)- wear powder free gloves, use C sticky tape to attach samples- height adjustments are on the holder bottoms; top of sample should be as tall as the holder B) Loading a SampleOpen program, select specimen exchange window (6th from the right)Select holderPress exchange 1 if exchange position light is not on. This will modify x, y and the rotation to their exchange positions. Adjust tilt and z manually- Specimen exchange position: tilt – 0 (manual), z – 10 mm (manual), x and y – 4(motorized)- make sure the specimen exchange position button is lit and the gun valve is closed- press vent chamber button until it lights- unclip door- load sample holder so that ÅÆ axis is parallel to the axis of insertion (points into chamber)- check o-ring and lock door- press evacuation button. Will flash in pre-evac, lit continuously when it’s operating- turn on chamberscope screen and light- to load the sample: drop black handle to the horizontal with a slow, smooth, continuous motion, slide in. Hldr button will light when it’s in. Make sure pin on bottom of rod is not twisted! Pull arm out all the way- until you can see the red line, lift up into original position.- when the chamber is < 2e-4 Pa, open the gun valve – now you are imaging, and start being charge for time ($42/hour)C) SettingsHT- high tension. Use a low kV for delicate samples (ie. 1kV for PDMS), change by stepping by increments of 5 (bottom of screen)SEI detector- turn on: turn off when changing specimensCol mode: SEMOL aperture: 4Mode: 3Focus: z working distance, start at 10.Probe current: spot size, start at medium (6-13); small (1-6), large (13-18)Scan rotation: initially offDFC (dynamic focus control): offD) Alignment- start at ~1400x mag. Focus- press align button(1)gun alignment: probe current at 13; turn HT wobbler on (separate box); reduced image,pick a feature. Minimize x and y motion of center of screen by tuning x and y knobs:image should appear to be moving in and out (but not up and down or side to side); HT wobbler off.(2)ol aperture: probe current at 7; turn HT wobbler on (separate box); small view, pick afeature. Minimize x and y motion of center of screen by tuning x and y knobs: imageshould appear to be moving in and out (but not up and down or side to side); HT wobbler off.(3)Stig center X: turn wobbler on- on panel (not HT wobbler). Adjust so image is notmoving(4)Stig center Y: same as aboveOnce sample is aligned in reduced image, chose fine view in full screen mode, a hit freeze to take a picture.E) Saving Images- save as .tif, bitmaps or jpegs on d driveExport images (retains scale bar, simply saving them does not)-- move files to server (L drive) when finishedF) Shutdown- gun valve closed- rbei out (retract backscatter detector, if relevant)- leave at low kV (3) and high magnification (less stress on scan gen)- SEI det. off-species exchange window: exchange 1, z=10, tilt=0 etc (exchange position light on), retrieve sample-push “vent” (closes gate valve-remove sample from instrument-press “evac”-exit program (don’t save stage points)-log off-turn IR chamberscope off。

FESEM JSM-6700F 中文操作手册页数索引一电子显微镜原理*************************1 二机台外观介绍***************************16 三操作软件功能介绍***********************19 四机台操作*******************************23 五基本保养*******************************29电子显微镜主要是利用高加速电压之入射电子束打击在试片后，产生相关二次讯号来分析各种特性，可参阅图3-3，一般的二次讯号包括直射电子、散射电子、二次电子、背向散射电子、Auger电子及X射线等。

电子显微镜的发展以穿透式电子显微镜（TEM：Transmission Electron Microscope）为最早，在1931年即已提出；扫描式电子显微镜（SEM：Scanning Electron Microscope）则在1935年提出。

由于早期发展的SEM分辨率未臻理想，影像处理及讯号处理技术无法突破，一直到1965年以后，SEM才正式普获研究学者的青睐。

此后SEM的发展相当快速，不但机台性能的大幅提高，且各项材料分析附件日益增多，应用的范围也不断地扩大，几乎包含各个研究领域，目前应用在材料、机械、电机、电子材料、冶金、地质、矿物、生物医学、化学、物理等方面最多。

扫描式电子显微镜由于景深（Depth of Focus）大，对于研究物体之表面结构功效特别显著，例如材料之断口、磨损面、涂层结构、夹杂物等之观察研究。

近年来由于技术的进步，SEM已将电子微探仪（Electron Probe Micro-analyser；EPMA）结合在一起（两者主要功能之比较表请见表3-4），在观测表面结构时，能够同时分析显微区域之定性及定量成份分析，使得扫描式电子显微镜成为用途最广的科学仪器之一。

图3-5为SEM-EMPA组合之系统式意图。

电子显微镜的使用流程概述电子显微镜（Electron Microscope）是一种利用电子束来观察物质微观结构和进行材料分析的高分辨率仪器。

本文介绍了使用电子显微镜的基本流程。

步骤1.准备样品–选择合适的样品进行观察，并确保样品表面光洁无杂质。

–若需要观察液态样品，需要使用特殊的样品室或者薄膜技术进行样品制备。

2.打开显微镜–确保电子显微镜连接正常，与电源供应充分接触。

–打开显微镜电源开关，待显微镜启动完成。

3.调节放大倍数–根据观察需求，调节电子显微镜的放大倍数。

–通常，较低的放大倍数适合初步观察，而较高的放大倍数则适合详细分析。

4.调节对比度和亮度–调节电子显微镜的对比度和亮度，以获得清晰的图像。

–对于不同类型的样品，可能需要相应的对比度和亮度设置。

5.定位样品–将样品放入电子显微镜的样品台上。

–通过样品台的移动控制，调整样品的位置，使其能够被电子束准确扫描。

6.调整聚焦–使用电子显微镜的聚焦控制，调整焦距，以在样品表面产生清晰的图像。

–根据观察需求，适当调整焦距，以显示所需的细节和清晰度。

7.开始观察–当样品位置和焦距调整完毕后，可以开始观察。

–注意观察时的仪器振动、光照和温度等因素，以确保观察结果可靠。

8.调整参数–在观察过程中，根据需要，可以调整电子显微镜的参数，如对比度、亮度、放大倍数等。

–这些参数的调整可以进一步提高观察的准确性和详细度。

9.记录观察结果–使用适当的记录方法，记录电子显微镜的观察结果。

–可以使用文字描述、绘图或者拍摄照片等方式进行记录。

10.关闭显微镜–在使用完毕后，关闭电子显微镜。

–确保样品台上没有残留的样品。

–清除电子显微镜周围的杂物，并保持整洁。

注意事项•在操作电子显微镜之前，应详细阅读显微镜的使用手册，并按照要求操作。

•使用电子显微镜时，应注意个人安全，避免对眼睛和皮肤造成伤害。

•尽量避免样品中的尘埃、杂质等对观察结果的影响，有需要的话可以进行样品清洁处理。