(6) 特殊蒸发方法—化合物和合金材料
a.闪蒸蒸发 又称瞬间蒸发,把薄膜 材料做成细小颗粒或粉 末状,通过一定装置使 其以极小的流量逐渐进 入高温蒸发源。使每个 颗粒都在瞬间完全蒸发, 以保证薄膜的组分比例 与合金相同。
闪蒸蒸发设备示意图
b.多源蒸发 将合金薄膜所需的元素各 自置于单独的蒸发源中, 同时加热,并独立控制各 蒸发源的温度,以使薄膜 的组分比例满足合金要求。 要求各蒸发源参数能独立 控制和指示,蒸发源间分 隔开,避免相互污染。
六硼化镧薄膜的电子束蒸发法制备 基底选用玻璃和钽片, 使用的设备为南光H44500-3 型超高真空镀 膜机。基底固定在一个不锈钢底座上, e型电子枪为加工的块状 LaB6 , 用来代替原设备中的钨阴极, 试验装置的基本结构如图。 实验过程中冷阱中持续添加液氮, 真空度控制在8×105~3×10- 4Pa 之间, 电子束加速级电压控制在4500V 左右, 电 流为80mA, 蒸发时间为15min 。蒸发过程中通过控制电子束能 量来实现对多晶材料蒸发速率的控制, 通过蒸发时间来控制蒸发薄
一、薄膜和薄膜材料分类
1、薄膜材料的概念
采用一定方法,处于某种状态的一种或几种物质 (原材料)的基团(离子、原子或分子)以物理或 者化学方式附着于衬底材料表面,在衬底材料表 面形成一层新的物质,这层新物质就称为薄膜。
简而言之,薄膜是由离子、原子或分子的沉积过 程形成的二维材料。
2、薄膜的基本特征
多源蒸发装置示意图
c.反应蒸发(属化学成膜) 把活性气体导入真空室,使活性气体的原子、分子与来自 蒸发源的原子、分子在衬底表面反应,生成所需化合物。 这种方法在制作高熔点 化合物薄膜时经常被采 用。 例如:在空气或氧气中 蒸发Si来制备SiO2薄膜