半导体应变片
半导体应变片的敏感栅为半导 体,灵敏系数高,用数字欧姆 表就能测出它的电阻变化,可 作为高灵敏度传感器的敏感元 件。
几何尺寸变化引起的电阻变化远小于由材
料电阻率变化引起的电阻变化,前者可忽
略不计,可得
△R R
L E
从而可得半导体应变片灵敏度系数为
KS=πLE
最突出优点
半导体应变片的最突出优点是灵敏度大,S 可达60~150,
加工方法有关的常数。
令 Ks (1 2) C(1 2)
而dl/l=ε,这样式成为
△R R
dR R
KS
(若导体截面为宽b厚t的矩形的导体,也可通过类 似推导得出)
Ks取决于以下两个因素:
1)几何尺寸:电阻丝材料本身的机械性能,即由于 金属丝拉伸后,(2+1)项表达的几何尺寸变化; 2)物理性质:电阻丝受力后材料的单位应变系数电 阻变化率,即为d//dL/L项。材料发生变形时,其 自由电子的活动能力和数量均发生了变化的原因. 显然, Ks 愈大,单位纵向应变引起的电阻值相对 变化愈大,说明应变片愈灵敏。
感器
应变片的筛选
应变片的基地与覆盖层无破损折曲、敏 感栅平直、排列整齐、无绣斑、气泡、 无霉点
用低压(100V)高阻表检查绝缘电阻 量测应变片的初始电阻值。偏差小于
0.6欧姆 选用应变片时,要考虑应变片的性能参
数,主要有:应变片的电阻值、灵敏度、 允许电流和应变极限等。
应变片的精度
普通级:教学 精密级: 高精度传感器和精密测试 高精密级
电阻应变测量 电容应变测量 电感应变测量
(五)、优点
1 测量精度高,量程大(应变仪上所读出的最 大应变值),灵敏度高(应变仪上所读出的最 小应变值.一般应变片:1微应变);标距(任 何类型的应变计都不能测出一点的应变) (箔式应变片:0.2毫米)