半导体材料（3）-电子特气电子特种气体又称电子特气，是电子气体的一个分支，相较于传统工业气体，纯度更高，其中一些具有特殊用途。
电子特气下游应用广泛，是集成电路、显示面板、太阳能电池等行业不可或缺的支撑性材料。
生产过程特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。
气体合成是将原料在特定压力、温度、催化剂等条件下，通过化学反应得到气体粗产品。
气体纯化是通过精馏、吸附等方式将粗产品精制成更高纯度的产品。
气体混配是将两种或两种以上有效组分气体按照特定比例混合，得到多组分均匀分布的混合气体。
气瓶处理是根据载气性质及需求的不同，对气瓶内部、内壁表面及外观进行处理的过程，以保证气体存储、运输过程中产品的稳定。
气体充装是指通过压力差将气体充入气瓶等压力容器；气体分析检测即为对气体的成分进行分析、检测的过程。
电子特气分类根据制备方法和应用领域的不同，工业气体可以分为大宗气体和特种气体。
大宗气体包括空分气体(由空气分离得到)和合成气体，该类气体产销量大、对纯度要求低，主要用于化工能源、金属冶炼、机械制造等；特种气体可分为高纯气体、标准气体和电子特种气体。
电子特气的下游应用包括集成电路IC、显示面板(LCD、OLED)、光伏、LED等。
图1.工业气体的分类及应用资料来源：华特气体、浙商证券集成电路制造需经过硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注入等工艺环节，这个过程中需要的高纯特种气体和混合气体的种类超过50种，且每一种气体应用在特定的工艺步骤中。
此外，在显示面板、LED、光伏电池片等器件的制造中的不同工艺环节均会用到多种特种气体。
表1. 电子特气在不同领域的应用资料来源：CNKI、东兴证券根据应用领域，将电子特气细分为刻蚀用气体、CVD 用气体、稀释气体、掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、发光二极管用气体等。
表2. 电子特气在不同领域的应用资料来源：CNKI、东兴证券市场结构及规模在全球电子特气市场中，半导体所消费的特种气体占总市场的73%，其次是显示面板占比约20%，化合物半导体与LED、光伏则分别占到4%、3%。
