清华大学微电子所-陈弘毅教授PPT(1-7章)_部分1
- 格式:pdf
- 大小:6.83 MB
- 文档页数:28
3/60微电子学研究所Institute o f Microelectronics电镀(Electroplating)7/60微电子学研究所Institute o f Microelectronics MEMS光刻体微加工技术)各向同性湿法刻蚀与刻蚀剂成分比例有关23/60微电子学研究所Institute o f Microelectronics MEMS光刻体微加工技术Question:What will happen in KOH etching?微电子学研究所刻蚀侧壁与底面垂直不能实现任意开口形状保护方法机械夹具/黑胶/浮片各向异性湿法刻蚀37/60微电子学研究所Institute o f Microelectronics39/60微电子学研究所Institute o f Microelectronics 简介MEMS光刻体微加工技术43/60微电子学研究所Institute o f Microelectronics简介MEMS光刻体微加工技术物理刻蚀利用粒子的能量进行轰击优缺点微电子学研究所Institute o f Microelectronics 电子、离子、中性基团、分子微电子学研究所Institute o f Microelectronics微电子学研究所Institute o f Microelectronics等离子体硅微电子学研究所Institute o f Microelectronicsm/min55/60微电子学研究所Institute o f MicroelectronicsMEMS光刻体微加工技术低温DRIE特性↓↓↓↓等离子体硅片源59/60微电子学研究所Institute o f Microelectronics1B1A’2B 1B’1A 2B’2A’2Ax-轴y-轴z-轴3轴加速C M O S 集成63/60微电子学研究所Institute o f MicroelectronicsMEMS光刻体微加工技术作业100:98:1. 画出刻蚀40秒, 100秒和600秒后的窗口截面图说明厚胶光刻中曝光衍射和散射、分辨率下降、以及曝光剂量不够的解决。
z.wang@
3/46微电子学研究所
Institute o f Microelectronics MUMPs 表面微加工的应用
板
多晶硅1
多晶硅2
支撑臂硅衬底
铰链固定点
(c)
(d)
(e)
(f)
Question: 顶层压应力如何变形?
顶层拉应力如何变形?
顶层拉应力
17/46微电子学研究所
Institute o f Microelectronics
19/46微电子学研究所
Institute o f Microelectronics
Clamped-clamped beams (bridges)
微电子学研究所
Microelectronics
)3x
23/46
简介表面微加工技术MUMPs 表面微加工的应用薄膜应力
微电子学研究所Institute o f Microelectronics
33/46Institute o
35/46Institute o
(d)
梳状叉指电容:静电驱动,电容检测,谐振工作,应用广泛
39/46微电子学研究所
简介表面微加工技术MUMPs 表面微加工的应用
表面微加工的应用
0.3 µm PSG on top (for doping purpose)
41/46微电子学研究所
Institute o f Microelectronics 表面微加工的应用
应用
43/46微电子学研究所
Institute o f Microelectronics
表面微加工的应用
Hinge。
清华大学微电子所研究生课程一、简介我所研究生一级学科名称为电子科学与技术,二级学科名称为微电子学与固体电子学。
研究方向有以下四个方面:微/纳电子器件及微系统;系统的芯片集成;微/纳米工艺学;微/纳器件和系统的CAD方法。
我所现有博士生导师13名;研究生课程共设置19门;目前在校学生数:博士生77人;硕士生:235人(包括工程硕士125人)。
2005年度录取人数:博士生14人;硕士生102人。
2005年度毕业人数:博士生8人;硕士生33人。
二、博士生导师情况介绍姓名职称研究方向李志坚院士教授半导体新器件、器件物理和器件模型、微电子机械系统陈弘毅教授超大规模集成电路设计技术(多媒体数字信号处理、算法的VLSI实现和系统的芯片集成技术)周润德教授超大规模集成电路设计技术(微处理器与嵌埋式系统设计,加密算法,低压,低功耗电路设计)许军教授SiGe/Si微波功率HBT器件与集成电路以及超高速应变硅MOS器件刘理天教授半导体新器件、器件物理和器件模型、微电子机械系统魏少军教授超大规模集成电路设计技术(多媒体数字信号处理、算法的VLSI实现和系统的芯片集成技术)陈炜教授纳米加工、纳米电子器件、超导量子器件和量子计算实现孙义和教授超大规模集成电路设计技术(多媒体DSP技术、VLSI测试方法和可测性设计、网络安全)陈培毅教授半导体新器件、器件物理和器件模型、新型半导体材料余志平教授半导体器件和电路计算机模拟(包括亚100nm硅CMOS器件模型;纳电子器件量子输运模型;基于版图和衬底耦合的RF(射频)电路分析,验证软件和电路单元自动生成。
王志华教授模拟与数模混合集成电路设计,生物与医疗微系统芯片设计,射频电子标签电路技术,集成电路设计方法学任天令教授新型微电子器件、微电子机械系统(MEMS)、新型半导体存储器、纳电子与自旋电子学王燕教授纳电子器件的量子输运模型,化合物半导体器件和电路计算机模拟三、课程设置本年度共开设研究生课程23门,新开课4门。