激光技术在半导体行业当中的应用

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激光技术在半导体行业当中的应用

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第8期2018年4月No.8April,2018

半导体行业是电子信息产业中的一部分,它是以半导体为基础发展起来的一个产业。半导体行业对社会的发展起着重要的积极作用,将激光技术应用到半导体行业中更能促进其转型发展,融入世界发展潮流。1 激光技术

激光是一种由于刺激而产生辐射强化的光,它具有亮度高、单色性好、方向性好等特点。它的高亮度体现在一台较为普通的红宝石激光器发出的激光亮度比太阳亮度都会高7个数量级;高强度体现在存在于地球上的任何一种材料,不管其熔点多么高,在强激光的照射下不超过3 s 即可开始气化,而无论是什么金属或钻石,激光都可以在其身上打孔。单色光是只具有单一频率的光波。激光不同于普通光,普通光属于自发辐射非相干光,而激光属于受激辐射相干光。

激光技术是兴起于20世纪60年代的新型技术,其诞生标志为一台红宝石激光器的研制问世,如今,我国已开发出将近30种激光加工技术。激光接近于单色光波,频率范围非常狭窄,但同时它可以在一个狭小的空间内集中高能量,激光具有单色波长、平行光束和同调色三大特征。激光技术大原理为在电管中以光和电流的能量来撞击特定的晶体或者电子易受激大的物质,从而使其自身原子的电子到达一种高能量状态,一段时间后,这些电子会回复到较为稳定的低能量状态,这时原子就会射出光子,从而放出多余的能量;随后,这些被放出的光子还会去撞击其他原子,激发越来越多的原子产生光子,产生连锁反应,而且光子都会向着同一个方向前进,从而形成较为集中并向着某个方向高度集中的光。

激光技术的应用非常广泛。它不仅可以应用为激光切割技术、激光加工技术、激光焊接、激光打孔,还可用于激光手术、激光武器和激光能源等应用中。由于激光的时间控制性和空间控制性都比较好,对加工环境、加工对象的尺寸、形状和材料都没有限制,所以其广泛应用于自动化加工。将激光加工系统和计算机数控技术组合应用可以构成高效自动化加工设备。光是一种频率很高的电磁波,它的相干性较好,所以它还被当作传递信息的载波。

目前为止,世界发明的激光种类多达几千种,比如最常见的异质结半导体激光,真空紫外分子激光,高功率激光和自由电子激光等类型。但是,即使激光种类众多,具有实用价值的激光却不是很多。所以,研究激光技术的科学家还在不断对于激光的性能、效率的提高和其脉冲宽度的压缩或输

出频率的灵活改变进行研究,并且不断取得新的突破[1]。

2 半导体行业

半导体器件是电子电路中必不可少的组成成分。半导体是人们为了生产生活需要,将两物质按照电学性质进行分类时确定的一个名称。它的导电性介于导体和绝缘体之间。半导体导电性能全是由其原子结构决定的。以元素半导体硅和锗为例,其原子序列分别是14和32,它们两个最外层电子数都是4。半导体具有自由电子和空穴两种载流子。而半导体的性质不同于导体和绝缘体,就是因为半导体拥有的载流子数目不同而载流子是能够运动的荷电粒子。电子和空穴都是载流子,它们相互运动即可产生电流。硅和锗是最为典型的元素半导体。

根据构成物质元素的不同,半导体可分为元素半导体和化合物导体,元素半导体由一种元素构成,化合物半导体由多种元素构成。而根据掺杂类型的不同,半导体可分为本征半导体、N 型半导体和P 型半导体;如果按照原子结构的排列规则不同,又可分为单晶半导体、多晶半导体和非晶态半导体。半导体行业具有技术密集、资金密集,高风险高回报和知识密集等特点。进入2010年以来,国家大力支持半导体行业的发展,2011年11月,国家税务总局和财政部联合发布了《关于退还集成电路企业采购设备增值税期末留纸税额》;2012年4月政府部门又发布了《关于进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展企业所得税政策的通知》;而于2014年,工信部又发布了《国家集成电路产业发展推进纲要》。近几年,我国半导体行业发展速度超快,半导体产业逐渐呈现向大陆地区转移的新趋势,为我国各行业的发展带来设备国产化的发展机遇。而且政府政策大力支持半岛体行业的发展,大基金入场将会加速产业转型升级,成熟化发展。半导体具有掺杂特性、热敏性和光敏性三大特点。3 激光技术在半导体行业中的应用

3.1 紫外DPSS 激光器在LED 晶圆划片中的应用

紫光DPSS 激光器是一种应用于印刷电路板和消费电子产品的激光器。由于它的加工重复性好且可靠性较高,所以广泛应用于表面处理、材料加工和微加工行业中。这种激光器可以用于塑料、陶瓷和金属材料的微加工。266 nm 和355 nm 多倍频DPSS 激光器在紫外波段就可输出几瓦的功率、kHz 量级高重复频率和高脉冲能量的激光。我们可以使用DPSS 激光器对硅片、蓝宝石、砷化镓和磷化钾等材料进行加工,

作者简介:韩仲夏(1988— ),男,天津人,助理工程师,学士;研究方向:LED 技术以及半导体器件研究等。

韩仲夏

(天津三安光电有限公司,天津 300000)

摘 要:随着科学技术的发展,激光技术不断取得新的成就,逐渐受到社会的广泛关注,很多行业都将激光技术应用其中。文

章就激光技术在半导体行业中应用进行分析。关键词:激光技术;半导体行业;辐射无线互联科技

Wireless Internet Technology

激光技术在半导体行业当中的应用