2021版关于多晶铸锭炉升级改造中安全防护措施总结探讨
- 格式:docx
- 大小:62.84 KB
- 文档页数:6
工程研究Engineering research■ 张卫东多晶铸锭炉技术改进及优化方法分析摘要:本文结合目前多晶 硅铸锭炉生产期间所用的设备、工艺步骤与控制系统进行了分析,同时对锭炉技术、优化方法进行了说明。
关键词:多晶硅;铸锭炉;技术改进;优化方法1多晶硅铸锭炉设备1.1设备就机械构造来看,铸锭炉有热区、炉体、功率柜、真空泵、控制柜与人机界面等区域。
就功能来看,它有保温、测温、压力控制、真空、辅助操作与加热等各种子系统[1]。
1.2作用从多晶硅体铸锭成型来看,铸锭炉发挥了关键性作用,利用硅料高温熔融、加热、结晶与定向冷凝等各种加工工艺以实现硅锭稳定、持续生产。
同时这也为规范多晶硅太阳能生产提供了很好的硅片原料。
1.3特点从多晶硅铸锭炉性能来看:它具有效率高、加热快、技术成熟等优势,它可以使用纯度较低的硅料,也就是说对材料的限制程度不高,利用一定的控制方式与技术就能减小杂志与晶界影响。
通过冷凝定向结晶技术就能很好的控制产品质量,所以铸锭炉综合效率与产值始终较大,产品成本小,可以大范围生产。
2多晶硅铸锭炉的工艺及常见故障事实上,规范太阳能生产对产品一致性与硅片性能有很大要求,所以必须严格多晶硅生产工艺与流程,并且严格生产设施与故障监控工作,这样才能在最短的时间内解决问题,最后达到保障质量的要求。
2.1工艺流程及参数总体工艺包含:填料、预热、融化、长晶与冷却[2],因为生产需要,所以在参数设置与流程配备上存在很大不同。
典型的参数配置与工艺流程如下所述:预热:其温度一般在1200°左右,真空度1.05mpa,时长15小时,整体保温;融化:温度在1200°-1500°间,真空度44.1mpa,时长5小时,开始时充入保护气,同时保障温度;长晶,其温度在1440°-1400°间,真空度为44.1mpa,时长10小时,持续充入保护气,并且保持常温;退火:温度一般在1400°-1000°间,时长8.5小时,冲入保护气,以达到降温的目的,真空度在44.1mpa;冷却:其温度为1000°-400°,真空度为52.5mpa,时长约6小时,充入保护气,以达到缓慢降温的目的。
炉窑整治工作总结
炉窑整治工作是工业生产中非常重要的一环,它关乎着生产质量、环境保护和员工健康。
在过去的一段时间里,我们对炉窑整治工作进行了全面的总结和评估,现在我将向大家分享我们的工作总结。
首先,我们对炉窑整治工作进行了全面的调研和分析,了解了当前炉窑的使用情况、存在的问题以及需要改进的地方。
通过这一步,我们明确了整治工作的重点和方向,为后续的工作奠定了基础。
其次,我们制定了详细的整治方案和工作计划。
我们明确了整治的时间节点、责任人和具体的整治措施,确保整治工作能够有条不紊地进行。
同时,我们也加强了对员工的培训和教育,提高了他们对整治工作的重视和参与度。
在整治工作的过程中,我们注重了安全生产和环境保护。
我们严格执行了相关的安全操作规程,确保了整治工作的安全进行。
同时,我们也加强了对废气、废水等环境污染的治理,保护了周边环境的清洁和健康。
最后,我们对整治工作进行了全面的检查和评估。
我们对整治后的炉窑进行了质量检测,确保了生产质量的提升。
同时,我们也对整治工作的效果进行了评估,总结了经验和教训,为今后的工作提供了借鉴。
总的来说,炉窑整治工作是一项复杂而又重要的工作,我们通过这次总结和评估,不仅提升了生产质量,也保护了环境和员工的健康。
我们将继续努力,不断完善炉窑整治工作,为企业的可持续发展贡献力量。
Safety is the goal, prevention is the means, and achieving or realizing the goal of safety is the basic connotation of safety prevention.(安全管理)单位:___________________姓名:___________________日期:___________________2021版高炉及烧结机计划检修安全措施2021版高炉及烧结机计划检修安全措施导语:做好准备和保护,以应付攻击或者避免受害,从而使被保护对象处于没有危险、不受侵害、不出现事故的安全状态。
显而易见,安全是目的,防范是手段,通过防范的手段达到或实现安全的目的,就是安全防范的基本内涵。
公司决定1月17日对2#高炉进行计划检修,1月16日开始烧结机停产检修。
这次检修点多面广,煤气设施作业,高处立体交叉作业,同时正处冬季严寒季节,危险因素多,安全系数小。
为确保安全,根据1月15日公司检修专业会议精神,结合本次检修的特点,制定如下安全措施,要求各有关单位及有关人员认真组织学习并严格执行。
一、组织领导及安全工作原则(一)组织领导设备检修总负责人:荣吉超。
各部门、单位负责人:陈德茂、蔡可辉、马建太、冯永成、孙智强、孙辉、刘守杰及各施工单位的负责人。
切、引煤气总指挥:纪永杰。
高炉切、引煤气负责人:池应海。
烧结车间切引煤气负责人:徐思营魏兆泉。
检修安全监督检查人:安环部和检修单位及参与检修单位的安全员。
(二)安全工作原则1、本着“管项目必须管安全”的工作原则,本次检修各项目负责人即为项目安全管理的第一责任人,履行工作前对作业人员进行安全告知和技术交底、督促办理相关安全手续、工作中对作业人员进行监督检查、工作完毕后试车组织及作业现场清理等职责。
2、本次检修作业项目均按照非重复性作业对待,工作前由项目负责人督促作业人员认真填写非重复性作业危险源预知安全卡和办理各种作业票。
多晶硅铸锭炉常见故障维护浅析作者:许高升孙玉虎张阳来源:《硅谷》2013年第14期摘要本文重点介绍了太阳能级多晶硅铸锭炉的常见故障和突发事件的应急处理办法。
关键词多晶硅;光伏;铸锭炉;设备维护中图分类号:TN304 文献标识码:A 文章编号:1671-7597(2013)14-0092-021 概述近年来,太阳能光伏企业作为一种绿色无污染的新能源产业,在我国得到了快速的发展。
多晶硅铸锭炉作为太阳能级多晶硅锭的主要和关键生产设备,正在被各大光伏企业广泛使用。
作为一种自动化程度较高的智能化大型生产设备,它价格昂贵、维护成本高。
一旦投料运行,它连续运行时间长,中间故障维修时间短,稍有不慎,将会造成重大生产损失。
因此,熟练掌握多晶硅铸锭炉常见故障的快速识别和解决方法,可对保证设备安全运行,提高产品质量,节约成本起到积极作用。
国内外生产多晶硅铸锭炉企业众多,在我国知名度和市场占有率较高的企业有美国极特先进太阳能有限公司,北京京运通特技股份有限公司,浙江精功科技等。
下面,我们就以极特DSS45OHP铸锭炉为例来阐述多晶硅铸锭炉常见故障的维护问题。
2 铸锭炉的常见故障分析多晶硅铸锭炉在自动运行时,必须保证机械和电器元件的各组成部分都有效、平稳、可靠、无故障。
因此,做好设备的日常合理的维护和保养,是非常必要的。
对设备的维护和保养,主要分为两个部分:一是定期的保养和维护;二是运行时发生事故的应急处理。
其中,第一条最重要,平时的维护和保养做好了,就能达到防患于未然,提前将潜在的问题发现和排除,杜绝和减少自动运行时故障的发生。
2.1 定期的保养和维护每炉检查项目:电阻、水流量、溢流丝、加热器螺丝松紧度、报警器是否正常、机械泵油位油压、进水温度及压力、TC管检漏、下炉体水平及清洁等。
周期性(3个月)检查和维护项目:比例阀清洁,隔热笼内部清洁,加热器清洁、高温计清洁、电柜内电器元件除尘、slimpaks电流校准、真空压力计校准等。
炉外精炼设备实施与安全生产范文随着现代工业的快速发展,炉外精炼设备在冶金行业中扮演着至关重要的角色。
炉外精炼设备通过对熔融金属进行各种物理和化学处理,可以改善金属的品质和性能,提高生产效率和质量。
然而,炉外精炼设备的实施与安全生产也面临着一系列的挑战和风险。
本文将探讨炉外精炼设备的实施与安全生产,并提出有效的措施和建议。
首先,炉外精炼设备的实施需要严格控制各种工艺参数。
在操作炉外精炼设备时,需要根据具体的金属类型和处理要求,合理设置温度、压力、流量等参数。
例如,对于钢铁冶炼过程中的脱氧过程,可以通过添加适量的氢气来减少氧气含量,从而降低钢中的氧化物含量。
此外,还需要定期检查和维护设备,确保其正常运行。
例如,对于精炼设备中的电加热器,需要定期检查电阻丝的损坏情况,以及电源和接线的安全性。
其次,炉外精炼设备的实施需要做好安全防护工作。
由于炉外精炼设备处理的是高温、高压的金属材料,存在一定的安全风险。
因此,需要在设备周围设置防护栏杆和标志牌,以提醒工作人员注意安全。
另外,还需要配备适量的个人防护装备,如防护眼镜、耳塞、手套等,以减少事故风险。
在进行设备维修和保养时,更要严格遵守操作规程,切勿将设备运行中的动作误操作,以免造成伤害。
另外,炉外精炼设备的实施需要进行全面的风险评估和管理。
在设备运行前,需要对设备可能存在的风险进行全面的评估,并采取相应的措施进行管理。
例如,对于可能产生的爆炸、火灾等风险,需要设置相关的防爆、防火设施,并制定相应的应急预案。
同时,还需要对设备进行定期检测和监测,及时发现和解决潜在问题。
在设备运行过程中,还需要严格遵守操作规程和操作程序,严禁超负荷或非法操作,以免引发事故。
总之,炉外精炼设备的实施与安全生产是一个复杂而细致的过程。
只有充分掌握相关的技术要求和操作规程,严格遵守安全操作程序,定期检查和维护设备,及时发现和解决问题,才能确保设备的正常运行和人员的安全。
同时,还需要注重员工培训和安全意识的提高,加强事故预防和应急处理能力的培养,从而有效降低炉外精炼设备的安全风险,保障生产的顺利进行。
多晶硅铸锭装备的自动化调节和优化控制随着科技的不断发展和工业领域的进步,多晶硅铸锭装备的自动化调节和优化控制在高温材料处理中变得越来越重要。
本文将深入探讨多晶硅铸锭装备的自动化调节和优化控制的相关内容,包括其背景、技术要求以及应用前景。
一、背景多晶硅铸锭装备是用于制造具有高纯度和高晶格质量的多晶硅的关键设备。
多晶硅在光伏、半导体等领域有广泛应用,其品质对产品的性能和质量有着决定性的影响。
因此,多晶硅铸锭装备的自动化调节和优化控制对于提高多晶硅的生产效率和质量非常重要。
二、技术要求1.温度控制:多晶硅铸锭装备中的高温环境对温度控制的要求非常高。
通过自动化调节和优化控制,实时监测温度变化,并根据设定的温度范围进行自动调节,以确保多晶硅的生长过程中温度的稳定性和一致性。
2.过程监测:多晶硅铸锭装备的自动化调节和优化控制需要对整个生产过程进行实时监测。
通过传感器、监测设备等技术手段,收集和分析数据,以及时发现和解决潜在问题,确保生产过程的稳定性和可控性。
3.质量控制:多晶硅的生产质量对于产品的性能和品质至关重要。
自动化调节和优化控制可以通过实时监测和数据分析,及时掌握生产过程中的质量变化,并进行自动调节和修正,确保多晶硅的质量符合标准要求。
4.能耗控制:多晶硅铸锭装备在高温条件下工作,对能源的消耗较大。
自动化调节和优化控制可以通过优化传热、降低能耗等措施,提高生产效率,降低能源消耗,实现可持续发展。
三、应用前景1.提高生产效率:多晶硅铸锭装备的自动化调节和优化控制可以提高生产效率,减少人为操作的错误,提高生产线的稳定性和一致性。
这将有效降低生产成本,提高企业的竞争力。
2.优化产品质量:多晶硅的质量对于最终产品的性能有直接影响。
自动化调节和优化控制可以实时监测生产过程中的质量变化,及时调节和优化生产参数,提高产品的一致性和稳定性,从而提高产品的质量。
3.降低能耗:多晶硅铸锭装备在高温条件下工作,能源消耗较大。
炉窑大修总结报告范文尊敬的领导:经过我们全体员工的共同努力,炉窑大修工作已经圆满完成。
在大修期间,我们坚持以安全为前提,在高质量、高效率的基础上,完成了各项工作任务。
以下是我们对炉窑大修工作的总结报告。
一、工作概况本次炉窑大修工作于XX年XX月XX日开始,历时XX天,共涉及XX项工程任务。
大修期间,我们分工合作,严格按照施工计划进行工作,确保了工作进度的顺利推进。
二、安全措施安全始终是我们工作的首要任务。
在炉窑大修期间,我们强化了安全意识,全面贯彻执行各项安全措施。
建立了安全管控机制,提高了现场人员的安全意识和操作技能。
通过定期组织安全培训和演练,有效预防了各类事故的发生。
整个大修期间,没有发生任何安全事故,确保了工作人员的身体健康和财产安全。
三、质量管理我们注重质量管理,全面提升工作的质量水平。
制定了严格的施工标准和质量要求,加强了现场质量检查和监控。
及时处理和解决了工程中的质量问题,保证了工作的顺利进行。
大修结束后,进行了质量验收,各项指标均符合要求。
四、工程进度在充分理解工期紧迫的前提下,我们提前制定了工作计划,明确各项工程任务的执行时间。
通过科学合理的资源调配,合理安排施工顺序,充分利用设备和人力,最大程度地缩短了工期,高效推进了大修工作。
最终,我们提前X天完成了工程任务,为企业节约了大量的时间和成本。
五、经济效益我们在大修工作中,积极采取措施,精细管理,努力提高成本控制水平。
从采购、合同签订、施工等各个环节,精确计算成本和费用,并及时发现问题,采取相应措施进行调整。
经过努力,我们成功降低了大修成本,实现了预期的经济效益。
六、团队协作炉窑大修过程中,我们重视团队协作,注重员工的沟通和配合。
通过定期召开工作例会,加强沟通交流,确保各项工程任务的无缝衔接。
同时,我们鼓励员工提出意见和建议,共同解决问题,不断提高工作效率。
在正式大修结束后,我们举行了庆功会,表彰了杰出的团队和个人,强化了团队的凝聚力和向心力。
铸造多晶硅锭常见问题铸造多晶硅锭常见问题本文介绍了多晶硅锭生产过程中遇到的各种异常情况,分析这些异常产生的原因,提出了一些相关的预防及改善措施。
1、硅液溢流多晶硅铸锭包括加热、熔化、长晶、退火、冷却五个工艺步骤,其中硅料在熔化过程中或熔化完以后可能会因其盛放的石英陶瓷坩埚破裂,从坩埚内流出,常简称硅液溢流。
高温硅液体流到溢流丝上面,使溢流丝熔断,触发溢流报警,系统进入紧急冷却。
一般溢流发生在熔化阶段及长晶阶段,特别是在熔化后期及长晶初期发生的溢流最为常见。
溢流以后不但意味着该炉次没有硅锭产出,而且轻则损失几公斤硅料,重则造成热场部件的重大损失甚至安全事故,因此溢流是多晶硅铸造最严重也是较为常见的生产异常。
造成硅液溢流的可能原因大概有以下几点。
1)坩埚隐裂。
用来盛放硅锭的坩埚为石英陶瓷材料,其制作方式有注浆成型和注凝成型两种方式,但不论哪种方式制作的坩埚,都会存在隐裂,气孔等缺陷,这些坩埚在出厂以前一般都会经历两道以上的采用显影液透光检查过程,但仍可能会有漏检的坩埚,另外坩埚在运输过程中或搬运过程中会遇到震动或磕碰,都会导致坩埚产生隐裂,如果这些缺陷在装料前没有检测到,很有可能在熔化过程中出现硅液溢流现象。
因此,坩埚拆箱以后,在喷涂前应该严格检测,使用强光灯源对坩埚五个面透光检测是一种较为方便有效的方法。
2)装料挤压。
装料过程中,靠近坩埚边角的位置特别是四个竖棱角位置,如果有大块儿的硅料靠近坩埚,硅料之间特别注意需要留有一定空隙,一般以2cm以上最佳,一旦装料过挤,可能引发溢流产生。
这是因为,硅料熔化从中上部开始,而硅的固体密度为2.33g/cm3,液体密度为2.53 g/cm3。
一旦装料过于拥挤,液体硅流到坩埚底部以后可能会因温度过冷而凝固,如果没有空间供其膨胀,会对坩埚壁产生挤压作用,导致坩埚破裂溢流。
越是靠近边角的位置,应力越集中,越容易因装料不合理而溢流,溢流的部位实际上也往往出现在坩埚四个立棱处附近,硅锭脱模后仔细观察溢流位置对应坩埚内壁,经常会发现硅料挤压氮化硅涂层和坩埚内壁的痕迹。
第1篇一、前言多晶硅作为一种重要的半导体材料,广泛应用于光伏、电子、化工等领域。
然而,多晶硅生产过程中存在诸多安全隐患,如火灾、爆炸、中毒等。
为了确保生产安全,预防和减少事故发生,本报告将对多晶硅生产过程中的安全隐患进行排查,并提出相应的防范措施。
二、多晶硅生产概述1. 生产原理多晶硅是通过将石英砂、焦炭、碳硅石等原料在高温下还原反应,生成硅蒸气,然后通过化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)等方法沉积在单晶硅棒或单晶硅片上,形成多晶硅。
2. 生产工艺流程(1)石英砂、焦炭、碳硅石等原料的预处理;(2)还原反应:将预处理后的原料在高温下还原生成硅蒸气;(3)化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)沉积硅;(4)多晶硅的切割、研磨、抛光等后处理。
三、安全隐患排查1. 火灾隐患(1)还原炉内温度过高,导致炉内物料燃烧;(2)还原炉内氧气浓度过高,引起氧化反应;(3)设备漏电,引起短路火灾;(4)静电积聚,引发火灾。
2. 爆炸隐患(1)还原炉内压力过高,导致爆炸;(2)设备管道泄漏,气体聚集形成爆炸性混合物;(3)还原反应剧烈,产生大量气体,导致爆炸。
3. 中毒隐患(1)还原反应产生的有害气体(如氢气、一氧化碳等)排放不充分,造成中毒;(2)设备密封不良,有害气体泄漏;(3)员工防护措施不到位,吸入有害气体。
4. 机械伤害隐患(1)设备操作不当,造成机械伤害;(2)设备维护保养不到位,导致设备故障;(3)设备运行时,员工未采取安全措施。
5. 电气安全隐患(1)设备绝缘性能下降,引起漏电;(2)设备接地不良,造成接地故障;(3)电气设备操作不当,引发触电事故。
四、防范措施1. 火灾防范措施(1)严格控制还原炉内温度,确保在安全范围内;(2)加强还原炉内氧气浓度监测,防止氧化反应;(3)加强设备维护保养,确保设备绝缘性能良好;(4)采取防静电措施,降低静电积聚。
2. 爆炸防范措施(1)严格控制还原炉内压力,确保在安全范围内;(2)加强设备管道泄漏检测,防止气体聚集形成爆炸性混合物;(3)优化还原反应工艺,降低气体产生量。
关于多晶铸锭炉升级改造中安全防护措施总结探讨引言多晶铸锭炉是现代光伏行业生产多晶硅的重要设备,其重要作用不言而喻。
然而,在长期的生产过程中,多晶铸锭炉也存在着一定的安全隐患,特别是在“十三五”期间,随着多晶硅需求的不断增长以及生产效率的提高,对多晶铸锭炉的安全防护措施提出了更高的要求。
本文对多晶铸锭炉升级改造中常见的安全隐患进行了总结,并对相应的解决方案进行了探讨。
安全问题的总结炉膛不稳定多晶铸锭炉炉膛的不稳定将直接影响到熔体质量、结晶质量等关键参数的控制,从而导致设备失效。
升级改造过程中,必须重视炉膛的安全稳定性问题。
机械故障多晶铸锭炉在生产过程中,各种机械故障时有发生。
例如炉门打不开、螺钉松动等情况都有可能发生。
人员操作不当多晶铸锭炉需要专业的人员操作,如果操作不当,将会导致严重的安全后果。
保护系统不完善多晶铸锭炉在生产过程中必须配备完善的保护系统,但是在一些老设备上,保护系统不完善,也会存在一定的安全隐患。
解决方案的探讨炉膛的安全稳定性问题在炉膛方面,升级改造可以从以下几个方面入手:1.加强炉壳保护。
针对炉壳进行加固,提高炉壳的抗震、抗热能力,从而保证炉膛的稳定性。
2.优化炉壳材料。
使用新型材料代替旧材料,例如使用更高级的陶瓷材料代替低级别的合金材料。
3.升级炉膛结构。
重新设计炉膛的结构,提高熔体流动性、炉膛稳定性等,从而加强对炉膛的安全防护。
机械故障的解决方案在机械故障方面,可以采用以下措施:1.加强设备的维护和保养工作。
定期对设备进行检查、维修和保养,以确保设备的正常运行。
2.安装安全保护装置。
例如安装机械故障自动快速断电保护装置和智能预警系统等。
3.优化设备设计。
在升级改造的过程中,对设备进行结构和组件的改造,从而减少机械故障的发生率。
人员操作不当的解决方案在人员操作方面,可以采用以下措施:1.建立责任制。
对操作人员进行培训,建立责任制,明确操作人员职责,从而保证操作人员的操作行为符合标准流程。
When the lives of employees or national property are endangered, production activities are stopped to rectify and eliminate dangerous factors.
(安全管理)
单位:___________________
姓名:___________________
日期:___________________
2021版关于多晶铸锭炉升级改造中安全防护措施总结探讨
2021版关于多晶铸锭炉升级改造中安全防护
措施总结探讨
导语:生产有了安全保障,才能持续、稳定发展。
生产活动中事故层出不穷,生产势必陷于混乱、甚至瘫痪状态。
当生产与安全发生矛盾、危及职工生命或国家财产时,生产活动停下来整治、消除危险因素以后,生产形势会变得更好。
"安全第一"
的提法,决非把安全摆到生产之上;忽视安全自然是一种错误。
目前铸锭设备改造存在的问题和光伏产业中的其它行业一样:低价拼杀。
行业缺乏准入门槛,部分客户眼光短浅,为降低采购成本只求低价;客户不顾安全,改造厂家压缩自身利润,导致最近出现一些安全事故。
为了行业的健康发展和客户的人身安全,在这里对铸锭改造过程的一些安全防护措施与大家做一些探讨。
导致安全隐患的主要有以下几点:
一、辅材(这里主要讲坩埚)
铸锭炉安全最重要的因素之一:坩埚质量,坩埚出现安全隐患是铸锭发生问题的根本原因,这就要求:
1、G6坩埚制造商不应对坩埚设备进行随意创新,在没有安全保障且技术成熟前推向市场须慎重,不要因为行业恶性竞争,玩弄概念,推出些概念性或功能性坩埚;
2、坩埚制造厂商对坩埚的制程控制、坩埚出厂质量的检测和管控
做到严格把关;
3、硅片厂质检部门到厂检验和铸锭部门使用前,都应对设备进行详细检验,杜绝走过场;
4、硅片厂采购部门不要一味得杀价,应当更注重质量而选择业内主流厂家的产品;同样,坩埚销售厂家不能为了赢得市场而忽产品质量,否则只会得不偿失。
“物美价廉”或许只是较为理想的状况,采购人员应当寻求性价比高的产品,在做好成本控制的同时,也对安全生产进行初层把关。
二、生产流程控制(以下主要阐述坩埚的喷涂、坩埚的硅料装填以及铸锭工艺)
1、坩埚喷涂G6喷涂和G5略有区别。
现在业内部分厂家为了降低成本而采用国产粉,而且尽量减少粉的用量,但是最终喷涂效果不甚理想。
之前企业都会采用日本宇部或者德国史泰克等进口粉,但现在厂家大多用国产粉取而代之,在具体用量上也没有严格的用量标准,多数厂家使用的分量在600-650g之间,也有部分厂家使用700-800g的粉,但实际上应当根据各个厂家的实际情况来决定粉量,例如:硅料配比、铸锭工艺,坩埚性能等,这需要一个摸索的过程。
笔者认为还是应当采用更为可靠的进口粉,并且混合用量控制在750g左右,特别
是在四个角和废弃层附近加喷量,如果是底部处理过的坩埚也要注意处理效果,粗石英砂发生粘锅现象的几率大于细石英砂,硅粉底侧处理的坩埚注意别破坏喷涂层;
2、坩埚底部和四周装填硅料应尽量用一些平整的硅块或者边料护底护边,四个角要留出空隙,底部装填前应尽量先用一下细料铺底。
由于各家料源和选用的工艺不同,厂家可在实际操作过程中不断进行摸索总结,在装填时要注意轻拿轻放。
笔者曾经走访过多个厂家,发现很多厂家在这方面都存在问题,G6装料量大不应急于求成,更不能由领导下行政命令来定每天装多少炉。
而大型硅片厂在流程控制更为专业;
3、物料转运过程中注意使用完好的转运小车,硅料加坩埚重量超1吨了,装料过程也是如此,处于生产一线的人员对这方面更为了解,对此笔者就不再赘述了。
4、根据实际情况对铸锭工艺进行优化:缩短运行时间,特别是熔化高温段的时间,尽量放缓降温的幅度。
如果全熔高效技术成熟,笔者还是主张用全熔(个人认为隔热笼半熔工艺的溢流风险大于全熔工艺),因此,为了降低风险,应由专业的工艺调试工程师进行操作;
三、铸锭炉改造的专业性(以下主要讨论铸锭炉的热场设计、专
业安装及安全装置的多重有效性)
1、G6热场(热场和隔热笼)设计是一个循序渐进的过程,实际上,目前有些厂家还在采用第一代的设计,但也有部分厂家已经进行多次更新并研发第三代热场了。
目前国内主流设备炉腔的尺寸大多是
1830-1850mm(京运通除外),隔热笼的尺寸大小也各有不同。
一方面要求笼子能放进坩埚和护板、且不得与加热器发生触碰,另一方面要求隔热笼的四个角尽量给炉壁留出空间。
这就要求设计工程师对尺寸进行合理的规划(排除溢流棉安装错误的状况,个人认为这是发生事故的最危险地带);
2、多晶铸锭炉热场需要由专业的设备安装工程师进行安装调试,由于炉腔尺寸比较小,如果上炉腔隔热笼发生偏离都可能导致安全事故,下炉腔的安装更是重中之重,例如溢流面的厚度、溢流棉的开孔准确度及铺设、溢流丝的铺设、导流空位的设置、石墨支撑柱的防护套安装。
尤其需要注意的是四个角上的安全防护,最近也发现改造厂家在隔热笼内保温板四个角加装了石墨块防溢流,这都是希望在发生溢流后兜住硅液。
总而言之,细节决定成败,厂家在安装调试多晶铸锭炉热场时应如履薄冰一般,做到稳扎稳打,尽量找专业的技术人员;
3、在多晶铸锭炉安全设置方面,除了上面所讲的设计和底部安装
防护措施外,还有泄压阀的检查和铸锭炉运行前的校温和烘烤。
不要小看这些细节,关键时刻往往关乎人员、设备的安全。
泄压阀设计本身就是铸锭炉一个重要的安全防护措施,这是前人对于安全问题上做出的经验总结,阀门是否安装正确直接关系到发生事故后能否泄压。
其次,校温过程似乎并不重要,但是实际炉温的监控是我们对腔体内部监控的唯一手段,而且能够保证铸锭工艺的稳定,然而很多改造厂家往往忽略了这个步骤。
至于烘烤方面,笔者就不再进行解释了,众所周知这是正式生产前的必要措施,通过烘烤可检查炉子的整体性能。
笔者认为G5升级改造安全是可控的,技术是可行的,大家还是无须用异样的眼观来看待这个新鲜事物。
以上这些经验,希望能对大家有所帮助。
由于个人技术水平有限,不足之处还请见谅,也希望更多的人对此指正探讨。
活在当下,且做且珍惜!
XX设计有限公司
Your Name Design Co., Ltd.。