真空设备的整体维护维修和保养一、整套设备的日常维护：（1）操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。
阅读并理解各种说明书。
（2）冷却水水压应保持0.1～0.2 Mpa之间，出水温度≤45℃。
（3）压缩空气压力在0.4～0.5 Mpa之间。
（4）开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。
（5）开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。
（6）经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。
（7）设备停止使用时，应将真空室内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。
（8）机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。
换油时一定要把废油放干净。
（9）扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。
（10）充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。
（11）设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。
（12）设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭真空室内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。
（13）气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。
（14）设备的整机电压要保证在350～420 V范围内。
三相要平衡。
（15）规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜，防止漏气。
以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。
（16）各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。
（17）设备工作时，注意观察各仪表的显示情况，及各泵的声音，以便及时发现异常，找出问题。
（18）设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10～40℃。
在拆修设备时，各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。
（19）设备在工作时，操作人员不得长时间离岗。
二、维修部分1．真空设备维修的要点：维修真空设备的要点是判断故障。
往往是真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，也许真空机组的抽气能力不够，也可能是漏率偏高，又或者两种可能都有。
