1图4 - 1 平板式电容器δ，ε三个参数中任何一项发生变化时，电容量就要随之发生变化。
- 2所示。
图中（a）、）也可做成差分式。
图是与被测物相连的可动板，当被测物体带动发生位移时，就改变了可动板与固定板之间的相互遮盖）所示的平板式单边直线位移式传感器，234 - 2 变面积型电容式传感器结构原理图（a ）单边直线位移式 （b ）单边角位移式 （c ）差分式式中，b ——极板宽度a ——极板起始遮盖长度 Δa ——动极板位移量ε——两极板间介质的介电常数 δ——两极板间的距离 C 0——初始电容量这种平极单边直线位移传感器的灵敏度S 为S = ΔC / d x = ε b / δ = 常数对于如图4 - 2（b ）所示的单边角位移型传感器，若忽略边缘效应，则电容变化量为()ααδαδααδαΔ2Δ2Δ2022C r εrεr εC ==--=∆式中，α——覆盖面积对应的中心角度 r ——极板半经∆α——动极板的角位移量 这种单边角位移式传感器的灵敏度为δθπd Δ0A εC S == 式中，A ——电容器起始覆盖面积4图4 - 3 变极距型电容式传感器结构原理图（a ）被测物与可动极板相连 （b ）被测物为可动极板 （c ）差分式设极板面积为A ，初始距离为δ0，以空气为介质时，电容量为C 0 = ε0A / δ0。
当间隙δ0减小 ∆δ变为δ时（设 ∆δ << δ0），电容C 0增加 ∆变为C ，即()()000001δδδδε/C A C C C ∆-=∆-=∆+= 电容C 与间隙δ之间的变化特性如图4 - 4所示。
电容式传感器的灵敏度用S 表示，其计算公式为2d d δεδAC S == 在实际应用时，为了改善其非线性、提高灵敏度和减小外界的影响，通常采用图4 - （c ）所示的差分式结构。
这种差分式传感器与非差分式的相比，灵敏度可提高一倍，并且非线性误差可大大降低。
差分式电容式传感器的灵敏度计算公式为S （差）= ∆C / C = 2∆δ / δ。
