微纳制造导论-封装技术

微电子封装技术论文范文(2)微电子封装技术论文范文篇二埋置型叠层微系统封装技术摘要：包含微机电系统(MEMs)混合元器件的埋置型叠层封装，此封装工艺为目前用于微电子封装的挠曲基板上芯片(c0F)工艺的衍生物。

cOF是一种高性能、多芯片封装工艺技术，在此封装中把芯片包入模塑塑料基板中，通过在元器件上形成的薄膜结构构成互连。

研究的激光融除工艺能够使所选择的cOF叠层区域有效融除，而对封装的MBMs器件影响最小。

对用于标准的c0F工艺的融除程序进行分析和特征描述，以便设计一种新的对裸露的MEMs器件热损坏的潜在性最小的程序。

cOF/MEMs封装技术非常适合于诸如微光学及无线射频器件等很多微系统封装的应用。

关键词：挠曲基板上芯片;微电子机械系统：微系统封装1、引言微电子机械系统(MEMS)从航空体系到家用电器提供了非常有潜在性的广阔的应用范围，与功能等效的宏观级系统相比，在微米级构建电子机械系统的能力形成了在尺寸、重量和功耗方面极度地缩小。

保持MEMS微型化的潜在性的关键之一就是高级封装技术。

如果微系统封装不好或不能有效地与微电子集成化，那么MEMS的很多优点就会丧失。

采用功能上和物理上集成MEMS与微电子学的方法有效地封装微系统是一种具有挑战性的任务。

由于MEMS和传统的微电子工艺处理存在差异，在相同的工艺中装配MEMS和微电子是复杂的。

例如，大多数MEMS器件需要移除淀积层以便释放或形成机械结构，通常用于移除淀积材料的这些工艺对互补金属氧化物半导体(CMOS)或别的微电子工艺来说是具有破坏性的。

很多MEMS工艺也采用高温退火以便降低结构层中的残余材料应力。

典型状况下退火温度大约为1000℃，这在CMOS器件中导致不受欢迎的残余物扩散，并可熔化低温导体诸如通常用于微电子处理中的铝。

缓和这些MEMS微电子集成及封装问题的一种选择方案就是使用封装叠层理念。

叠层或埋置芯片工艺已成功地应用于微电子封装。

在基板中埋置芯片考虑当高性能的内芯片互连提供等同于单片集成的电连接时，保护微电子芯片免受MEMS环境影响。

PVD工艺培训MEMS PVD工艺薄膜制备工艺与设备◆薄膜制备概述◆PVD原理与工艺◆现有设备介绍薄膜制备概述01PVD 原理与工艺02现有设备介绍03主要内容PVD 工艺培训发展历程二次大战期间，德国为了适应当时战争的需求，在镜片和反光镜上镀制铝膜，真空蒸发镀膜开始进入实际应用。

20世纪80年代以来，以真空技术为基础利用物理化学方法等方面，并且吸收了等离子体、电子束、分子束、离子束等系列新技术，把原始单一的真空镀膜技术发展到包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀膜、化学气相沉积、分子束外延、离子束流沉积以及薄膜厚度的测量和监控，薄膜的结构、形态、成分、特性等诸多技术在内，被称为“薄膜科学与技术”的新学科领域。

目前，随着高新技术的发展，作为新技术革命的光导、能源、材料和信息科学等领域所要求的具有特殊形态材料的薄膜，已经成为光学、微电子、传感器、信息、能源等一系列先进技术的基础，并已广泛渗透到当代科学技术的各个领域中，而且，开发和应用这些具有特殊用途的薄膜材料本身就是高新技术的重要组成部分。

薄膜应用20世纪60年代，随着高真空、超高真空技术的发展，真空镀膜进入高速发展时期，各种功能薄膜的应用已经扩展到工业生产各个领域，归纳起来，主要有以下几个方面：●电子工业用薄膜●光学工业用薄膜●机械、化工、石油等工业用薄膜●民用与食品工业用薄膜薄膜应用●电子工业用薄膜半导体电子元件中的电极、绝缘层等方面，传感器中的压电材料等方面，太阳能电池中的薄膜材料等诸多方面的应用。

●光学工业用薄膜照相机、望远镜、放映机等光学设备需要的减反射膜、反射膜，分光镜与滤光片的薄膜涂层，照明光源中的冷光镜膜，集成光学元件中的半导体膜等方面的应用。

●机械、化工、石油等工业用薄膜刀具、模具上的硬质薄膜，化学容器表面的耐腐蚀薄膜，涡轮发动机表面的耐高温薄膜以及其他极端特殊场合需要的特质薄膜等方面的应用。

●民用与食品工业用薄膜汽车、玩具、家电、钟表、工艺美术品等需要的装饰与保护用薄膜，药品、化妆品、食品行业包装需要的薄膜等方面的应用。

微电子工艺基础封装技术
一、引言
微电子技术是21世纪新兴的技术，它以半导体技术和微机技术为基础，以芯片封装、电路能力优化、软件设计、系统集成、测试技术、校准
技术、无线通信技术等应用技术为实现系统的技术手段，用来实现手机、
计算机、智能家居、汽车等众多领域的电子设备的发展及制造。

微电子封
装技术是微电子技术的基础与重要组成部分，也是微电子产品出厂前质量
检查与完善的重要手段。

本文着重介绍微电子封装技术，包括其基本原理、术语、分类、应用和实施过程等。

二、微电子封装技术的基本原理
微电子封装技术是将晶圆、芯片、元器件组合在一起，将原来的小型
数字电路重新包装，使其功能更加全面，外形更加紧凑，就是微电子封装
技术。

将电子元器件物理、电气封装在一起，形成由介质连接的板块，具
有较强的功能性、可调整性和可靠性，是构建高效能、高可靠性的微电子
系统的基本要素。

微电子封装的基本工艺包括：铆焊、封装、清洁和测试，这四个基本
步骤必须在一定的步骤中逐步完成，经过这些步骤，半导体器件可以被成
功封装到电路板中，以实现电路的功能，为其余的电子系统构建提供基础
支撑。

三、封装技术术语。

第3章微电子的封装技术
微电子的封装技术是集成电路行业中重要的技术之一，它是将微电子器件封装在一定的结构或材料形式中，使微电子器件具有完整的功能和稳定的性能的技术。

封装技术有助于提高微电子器件的可靠性和功能，并且可以实现对器件的封装封装，封装和测试，以及开发更先进的封装技术，有助于改善元器件的可靠性和功能。

封装技术包括单层封装技术、多层封装技术、全封装技术、焊接封装技术等。

单层封装技术是根据微电子器件的物理结构和电气特性，在其表面涂布一层化学稳定的涂层，使其功能更加稳定可靠的技术。

多层封装技术是根据微电子器件的结构和电气特性，在其表面使用多层封装技术，使其功能更加稳定可靠。

全封装技术是将微电子器件封装于一种全封装材料中，以保护微电子器件免受污染和外界环境的攻击，从而保证其功能的技术。

焊接封装技术是将微电子器件封装在一定的结构中，以保护微电子器件免受环境中的外界物质影响，以及改善器件的可靠性和可靠性的技术。

1微电子封装技术蔡坚*，贾松良清华大学微电子学研究所jamescai@2课程结构本课程共32学时， 教师：蔡坚副教授贾松良教授上课26学时。

参观工厂：2‾3学时，一次 课堂讨论及准备：3‾4学时：（SiP&SOC，失效实例分析） 成绩作业 开卷考试3课程内容本课程将面向当前发展迅速的微电子封装及电子组装制造产业，介绍微电子封装的基本概念及封装的基本工艺，兼顾传统的集成电路封装和先进的封装技术，同时介绍当前发展很快的无铅焊接技术、三维封装、MEMS 封装等研究和开发热点，课程还将介绍封装的选择、设计和封装可靠性及失效分析。

4Lecture 1 绪论：课程概述、封装基本概念、封装功能及发展趋势 Lecture 2 传统集成电路封装技术：传统封装技术流程介绍 Lecture 3 互连技术：一级封装的互连技术 Lecture 4 倒装焊技术：倒装焊技术的发展Lecture 5～6 新型封装技术：焊球阵列封装和芯片尺寸封装、圆片级和三维封装技术、微机电系统的封装 Lecture 8 课堂讨论/参观Lecture 9、10 电子组装制造：电子组装的发展趋势、二级封装的基本技术、PCB板及封装基板基本制造工艺Lecture 11 封装中的材料：微电子封装材料、电子产品无铅化以及绿色制造Lecture 12、13 微电子封装设计 Lecture 14 封装可靠性Lecture 15 微电子封装中的失效分析Lecture 16 课堂讨论/参观5教材与参考资料教材：《微电子封装技术》讲义、电子教案 主要参考资料: （讲义p. 121）R.R.Tammula等编著，微电子封装手册，贾松良等译校，电子工业出版社，2001.8C.Y Chang, S.M.Sze, ULSI Technolony, chapter10, McGraw-Hill, 1995王先春、贾松良等，集成电路封装试验手册，电子工业出版社，1992庄奕琪主编：微电子器件应用可靠性技术，电子工业出版社，1996M.C.Pecht，et al，Electronic Packaging Materials and TheirProperties, CRC Press.1999 ……6为什么开设本课程？1.封装是半导体三大产业之一：IC 设计；芯片制造；封装测试。

高分子材料的封装与微纳加工随着科技的不断进步，高分子材料在各个领域中发挥着重要作用。

为了提高高分子材料的性能并适应不同的应用需求，封装和微纳加工成为了研究的热点。

本文将介绍高分子材料的封装技术以及微纳加工技术对高分子材料的应用。

一、高分子材料的封装技术封装是将高分子材料包裹在一定的外壳中，以保护和增强材料的性能。

常用的封装技术包括：1.1 薄膜封装技术薄膜封装是将高分子材料涂覆到基片上，形成薄膜状的封装材料。

薄膜封装技术具有成本低、加工简单、封装效果好等优点，适用于一些较为脆弱且具有特殊性能要求的高分子材料。

1.2 注射封装技术注射封装是将高分子材料注入到模具中，通过加热固化形成封装结构。

注射封装技术具有材料利用率高、封装效果好等优点，适用于大批量生产高分子材料封装的需求。

1.3 粘合封装技术粘合封装是利用粘合剂将高分子材料黏结到其他材料上，形成封装结构。

粘合封装技术具有封装效果好、材料选择范围广等优点，适用于一些结构复杂的高分子材料的封装。

真空封装是将高分子材料置于真空环境下进行封装，通过排除空气中的水分和氧气，保持材料的稳定性。

真空封装技术具有防潮、防氧化等优点，适用于对材料性能要求较高的封装应用。

二、高分子材料的微纳加工技术微纳加工是使用微纳尺度的工艺对高分子材料进行加工和处理，以实现对材料性能的精细控制和调节。

常用的微纳加工技术包括：2.1 激光微纳加工激光微纳加工是利用激光器对高分子材料进行加热和蒸发，形成所需的微纳结构。

激光微纳加工技术具有精度高、加工速度快等优点，适用于制备微纳结构和微纳器件。

2.2 纳米压印技术纳米压印技术是利用纳米级的模具对高分子材料进行压印，以实现纳米级结构的制备。

纳米压印技术具有成本低、生产效率高等优点，适用于大面积制备纳米结构的需求。

2.3 电子束和离子束微纳加工电子束和离子束微纳加工是利用电子束或离子束对高分子材料进行加工，以实现微纳结构的制备和表征。

电子束和离子束微纳加工技术具有可控性好、适用于多种材料等优点，适用于对高分子材料进行精细加工的需求。