半导体器件物理 施敏 第二版
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《半导体器件物理》教学大纲课程名称: 半导体器件物理学分: 4 总学时:64 实验学时:(单独设课)其它实践环节:半导体技术课程设计适用专业:集成电路设计与集成系统一、本课程的性质和任务本课程是高等学校本科集成电路设计与集成系统、微电子技术专业必修的一门专业主干课,是研究集成电路设计和微电子技术的基础课程。
本课程是本专业必修课和学位课。
本课程的任务是:通过本课程的学习,掌握半导体物理基础、半导体器件基本原理和基本设计技能,为学习后续的集成电路原理、CMOS模拟集成电路设计等课程以及为从事与本专业有关的集成电路设计、制造等工作打下一定的基础。
二、本课程的教学内容和基本要求一、半导体器件简介1.掌握半导体的四种基础结构;2.了解主要的半导体器件;3.了解微电子学历史、现状和发展趋势。
二、热平衡时的能带和载流子浓度1.了解主要半导体材料,掌握硅、锗、砷化镓晶体结构;2.了解基本晶体生长技术;3.掌握半导体、绝缘体、金属的能带理论;4.掌握本征载流子、施主、受主的概念。
三、载流子输运现象1.了解半导体中两个散射机制;掌握迁移率与浓度、温度的关系;2.了解霍耳效应;3.掌握电流密度方程式、爱因斯坦关系式;4.掌握非平衡状态概念;了解直接复合、间接复合过程;5.掌握连续性方程式;6.了解热电子发射过程、隧穿过程和强电场效应。
四、p-n结1.了解基本工艺步骤:了解氧化、图形曝光、扩散和离子注入和金属化等概念;2.掌握热平衡态、空间电荷区的概念;掌握突变结和线性缓变结的耗尽区的电场和电势分布、势垒电容计算;3.了解理想p-n结的电流-电压方程的推导过程;4.掌握电荷储存与暂态响应、扩散电容的概念;5.掌握p-n结的三种击穿机制。
6.了解异质结的能带图。
五、双极型晶体管及相关器件1.晶体管的工作原理:掌握四种工作模式、电流增益、发射效率、基区输运系数;2.双极型晶体管的静态特性:掌握各区域的载流子分布;了解放大模式下的理想晶体管的电流-电压方程;掌握基区宽度调制效应;3.双极型晶体管的频率响应与开关特性:掌握跨导、截止频率、特征频率、最高振荡频率的概念;4.了解异质结双极型晶体管HBT的结构及电流增益;5.了解可控硅器件基本特性及相关器件。
半导体器件物理复习(施敏)第⼀章1、费⽶能级和准费⽶能级费⽶能级:不是⼀个真正的能级,是衡量能级被电⼦占据的⼏率的⼤⼩的⼀个标准,具有决定整个系统能量以及载流⼦分布的重要作⽤。
准费⽶能级:是在⾮平衡状态下的费⽶能级,对于⾮平衡半导体,导带和价带间的电⼦跃迁失去了热平衡,不存在统⼀费⽶能级。
就导带和价带中的电⼦讲,各⾃基本上处于平衡态,之间处于不平衡状态,分布函数对各⾃仍然是适应的,引⼊导带和价带费⽶能级,为局部费⽶能级,称为“准费⽶能级”。
2、简并半导体和⾮简并半导体简并半导体:费⽶能级接近导带底(或价带顶),甚⾄会进⼊导带(或价带),不能⽤玻尔兹曼分布,只能⽤费⽶分布⾮简并半导体:半导体中掺⼊⼀定量的杂质时,使费⽶能级位于导带和价带之间3、空间电荷效应当注⼊到空间电荷区中的载流⼦浓度⼤于平衡载流⼦浓度和掺杂浓度时,则注⼊的载流⼦决定整个空间电荷和电场分布,这就是空间电荷效应。
在轻掺杂半导体中,电离杂质浓度⼩,更容易出现空间电荷效应,发⽣在耗尽区外。
4、异质结指的是两种不同的半导体材料组成的结。
5、量⼦阱和多量⼦阱量⼦阱:由两个异质结或三层材料形成,中间有最低的E C和最⾼的E V,对电⼦和空⽳都形成势阱,可在⼆维系统中限制电⼦和空⽳当量⼦阱由厚势垒层彼此隔开时,它们之间没有联系,这种系统叫做多量⼦阱6、超晶格如果势垒层很薄,相邻阱之间的耦合很强,原来分⽴的能级扩展成能带(微带),能带的宽度和位置与势阱的深度、宽度及势垒的厚度有关,这种结构称为超晶格。
7、量⼦阱与超晶格的不同点a.跨越势垒空间的能级是连续的b.分⽴的能级展宽为微带另⼀种形成量⼦阱和超晶格的⽅法是区域掺杂变化第⼆章1、空间电荷区的形成机制当这两块半导体结合形成p-n结时,由于存在载流⼦浓度差,导致了空⽳从p区到n 区,电⼦从n区到p区的扩散运动。
对于p 区,空⽳离开后,留下了不可动的带负电的电离受主,这些电离受主,没有正电荷与之保持电中性,所以在p-n结附近p 区⼀侧出现了⼀个负电荷区。