电子厂房洁净室系统.

电子工业洁净室FFU结构简介【文章编号：SMS-2306】信息录入：值欧来自： 人气：6 加入时间：2012-2-10 一、FFU的外观目前，全世界所有厂家生产的FFU，从外观上可这样划分:1、从形状上分两种，一种是长方体(如图1所示)，一种上部为坡形(如图2所示)。

图2所示的FFU的上部做成坡形，起到了一种导流的作用，有利于气流的流动和均匀分布。

图1所示的FFU则一般依靠另外的途径来均衡气流(后面详细阐述)。

2、从结构上分两种，一种为整体(如图3所示)，一种为分体(如图4所示)。

分体形状的FFU有如下优势：①使过滤器的更换变得方②减小了安装过程中的劳动强度。

整体形状的FFU有如下优势：①增加了FFU的密封性，有效防止了泄漏。

②有利于降低噪音③有利于减小振动二、FFU的组成部件目前，各种FFU最多由以下几部分组成(按从上到下、从内到外的顺序)，视不同厂家组成部分可能有所减少(如图5所示)。

1、预过滤器6、气流均衡装置2、外壳体7、过滤器3、风管连接部件8、金属防护网4、电机9、刀缘5、叶轮10、控制元件下面，我们对各个部件进行分析介绍：一、预过滤器一般为可清洗聚胺脂泡沫，主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害。

二、外壳体组成材料大致有铝板、铝合金、硬塑、不锈钢等几种，不同厂家和不同的使用环境有不同的选择，厚度大约为1.2~2.0，视厚度情况有些可以载人。

三、风管连接部件在洁净级别较低(≤1000级联邦标准209E)的场合，此时吊顶上部没有静压箱，带有风管连接部件的FFU使得风管和FFU的连接十分方便。

四、电机目前，交流电机和直流电机在FFU中都有使用，直流电机的体积大，造价高，控制容易实现，能耗较高。

交流电机的体积小，造价低，控制需要相应的技术，能耗较低。

现在FFU所使用的电机的寿命大约为4~10万小时不等。

一些优秀的电机会有相应的技术，如无油润滑，密封轴承，带过热保护，换向器寿命得到显著提高等。

1MAU+FFU+DC详细介绍‎目前电子行业‎洁净室常用的‎M AU+FFU+DC系统，MAU主要控‎制室内的湿度‎和保证室内的‎正压，FFU通过空‎气循环过滤保‎证洁净度，而DC是来除‎去室内的显热‎从而保证室内‎的温度。

(1)MAU(Make—uDAirU‎n it)组合式外气空‎调箱是由风机‎、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤‎)、加湿器组成，通过初中效过‎滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送‎入回风层。

(2)FFU(FanFih‎e rUnit‎)是模数化的小‎型风机过滤单‎元，安装在顶棚框‎架上，空气由FFU‎的风机加压后‎经HEPA或‎U LPA过滤‎送入室内，如此循环，其换气次数直‎接决定室内洁‎净度的不同。

FFU的技术‎性能取决于风‎机和HEPA‎或ULPA的‎质量，制造厂一般是‎通过额定工况‎下的性能参数‎，或FFU整机‎的空气动力特‎性曲线。

FFU的风机‎均采用外转子‎电机以减小高‎度，一般配有电子‎式过载保护开‎关、故障指示灯，故障输出节点‎，有传统的低、中、高三档交流控‎制，目前直流变频‎控制亦越来越‎应用在洁净等‎级比较高的系‎统。

早在上个世纪‎6O年代，美国新墨西哥‎州Sandi‎a国家实验室‎的科学家们利‎用HEPA过‎滤的方法研制‎成功了层流技‎术，其后商用FF‎U陆续在美国‎一些手术室及‎工业厂房得到‎广泛的应用。

但直到198‎4年，在亚洲才出现‎大规模应用F‎F U的事例(大约有500‎0台)。

是什么原因导‎致FFU在这‎么长的时间没‎有得到广泛的‎发展呢?有三个问题占‎主导地位：噪声较大问题‎；压力平衡问题‎，在很大的静压‎箱里，各不同角落的‎风机是否能得‎到均衡的压力‎，这在当时也是‎不能够得到保‎证的；维护问题，FFU本身造‎价就比较高，如果它的电机‎寿命不能保证‎的话，更换又会带来‎附加投资。

这些都是造成‎当时的企业不‎选择使用FF‎U的主要原因‎。

电子车间净化工程方案范本一、项目概述随着电子工业的迅速发展，电子车间的净化工程已成为维护生产环境和产品质量的重要一环。

净化工程的目标是通过控制空气中的颗粒物和微生物的浓度，保持车间空气质量符合生产需求，确保产品的质量和可靠性。

本净化工程方案旨在对电子车间进行净化工程设计和实施，以提高生产环境的洁净度，满足车间生产的需求。

二、项目背景电子车间是指生产和组装电子元件、电子产品的生产车间。

在这些车间中，对空气洁净度的要求非常高，因为微小的颗粒物和微生物对电子产品的生产和质量具有非常大的影响。

因此，净化工程在电子车间中具有重要的作用。

三、净化工程方案设计内容1. 空气处理系统设计在电子车间中，空气处理系统是净化工程中的核心部分。

空气处理系统的主要功能是过滤空气中的颗粒物和微生物，调节空气温湿度，保持空气洁净度符合要求。

空气处理系统的设计需要考虑车间的布局和使用需求，以确保系统的稳定性和有效性。

空气处理系统的设计包括风道系统、过滤器、换气系统等部分。

风道系统需要合理布局，以确保空气能够均匀流通到整个车间。

过滤器的选择需要根据车间的洁净度要求和空气中的颗粒物浓度来确定。

换气系统的设计需要考虑车间的使用情况和空气质量要求，以确保能够及时将车间中的污染物排出。

2. 超净室设计在电子车间中，超净室是保证电子产品生产的洁净环境的关键部分。

超净室的设计需要考虑空气洁净度、温湿度、气流速度等因素，以确保能够满足生产的要求。

超净室的设计也需要考虑人员进出和物料输送等因素，以确保超净室的洁净度不受到影响。

3. 净化设备选择净化工程中的设备选择对净化效果和能耗有着重要影响。

在空气处理系统中，需要选择合适的风机、过滤器、加热器等设备，以确保系统能够稳定、有效地工作。

在超净室中，需要选择合适的空气净化设备、洁净工作台等设备，以确保超净室能够满足生产的要求。

4. 净化工程施工净化工程的施工需要按照设计方案进行，以确保系统能够正常运行。

MAU FFU DCC系统在电子洁净厂房中的应用1. 引言在电子洁净厂房中，保持洁净环境是至关重要的。

为了达到这一目标，许多厂商采用了MAU FFU DCC系统。

此系统结合了空气净化、风机过滤单元(FFU)和空气动力学控制(DCC)技术，能够有效地控制空气质量，降低污染物的浓度，提供一个适合电子生产的洁净工作环境。

2. MAU FFU DCC系统的基本原理MAU FFU DCC系统基本原理是通过空气净化和空气动力学控制来实现洁净环境的目标。

2.1 空气净化空气净化是MAU FFU DCC系统中的关键步骤。

该系统通常使用高效过滤器来去除空气中的颗粒物和有害物质。

这些过滤器可以过滤掉尺寸在0.3微米以上的微小颗粒，包括灰尘、花粉、细菌、病毒等。

通过净化空气，系统可以降低空气中的颗粒物浓度，提供一个洁净的工作环境。

2.2 风机过滤单元(FFU)FFU是MAU FFU DCC系统中的另一个核心组件。

它由风机和过滤器组成，能够提供稳定的气流，并将处理后的空气均匀分布到整个厂房中。

FFU的风机通常采用无刷直流电机，具有低噪音、低振动和高效能的特点。

通过FFU，系统可以确保洁净环境的气流质量和稳定性。

2.3 空气动力学控制(DCC)DCC是MAU FFU DCC系统中的关键技术之一。

它通过监测空气的温度、湿度和压力等参数，实现对空气流速、流向和流量的动态控制。

DCC系统能够根据实时的环境条件，调整风机的转速和气流的分布，从而确保洁净环境的稳定性。

通过DCC，系统可以有效地控制空气流动，降低污染物的扩散和积累，提高工作环境的洁净度。

3. MAU FFU DCC系统的应用示例MAU FFU DCC系统在电子洁净厂房中的应用广泛，以下是一些应用示例：3.1 芯片制造在芯片制造过程中，严格的洁净环境是确保产品质量的重要因素。

MAU FFU DCC系统可以提供高效的空气净化和稳定的气流控制，降低空气中的微粒浓度，并阻止颗粒物进入芯片制造设备。

洁净室/净化厂房的八种排风系统介绍在微电子用洁净室、药品生产用洁净室中，常常在产品生产过程中使用或产生，各种酸性和碱性物质、有机溶剂和一般气体、特种气体；在致敏性药物、某些甾体药物、高活性、有毒性药物生产过程还会有相应的有害物质排出或泄漏入洁净室内，为此对于上述产品生产用洁净室内可能排出各种有害物质、气体或粉尘的生产工艺设备或工序设置局部排风装置或全室排风装置，按生产工艺过程排出的废气的类型可将排风装置（系统）大体划分为下列几种类型。

（1）一般排风系统这是指在生产辅助用室、生活用室，如值班室、卫生间等排出的一般废气，大多数情况下不需要进行特殊处理即可直接排入大气。

（2）有机气体排风系统在产品生产中使用各类有机物质、溶剂作为原辅材料或清洗剂时，都将会在相关的场所或设备处散发有机物质、溶剂的气体，对这类场所或设备均应设置排风装置。

在一般情况下，有机排风系统中的有机气体浓度是很低的，若能达到国家标准规定的大气排放标准时可直接排入大气，不需设置废气处理装置；当排风系统中有机气体浓度超过规定时，应设有机气体处理装置，经过处理达标后才能排入大气。

有机排气的净化处理有活性炭吸附法、液体吸收法和催化燃烧法等，活性炭吸附注主要用于中小流量的不含粉尘、胶粘物质的苯类、汽油类有机排气的处理；液体吸收法，设备简单、耗能低，但吸收效率不高；催化燃烧法主要用于较高浓度的苯类、醇类、脂类、汽油等有机排气的处理。

有机气体处理装置应根据排风系统所含有机物质的品种、浓度情况选用相应的处理设备。

（3）酸性气体排风系统在产品生产中的湿法化学腐蚀、酸液清洗、实验室内均有酸性气体排出，在这类酸性气体的排风系统通常设置温式洗气吸收塔，处理后排入大气，图5-56是几种吸收式洗气塔的形式。

实际设计时应根据酸性气体的类型、浓度选用合适的吸收液和吸收塔的形式[20]。

（4）碱性气体排风系统在排风系统气体中含有碱性物质或在排气中混入碱性化学试剂，与酸性气体排风系统类似，通常采用湿式洗气吸收塔处理后排入大气。

电子厂房净化空调方式选择引言当前的电子厂房洁净室洁净等级大部分在1000级（ISO6级）—10000级（ISO7级）之间，其相当的换气次数平均在25—60次/H,要求的洁净室环境参数比较严格，大部份要求为室内温度22±2℃，相对湿度55±5%，洁净室内工艺设备发热量大，部份工艺设备排除热量所需的排风量也很大。

由于要求高，发热量大，导致电子厂房洁净室空调系统的能耗是很惊人的，所以在设计之初对于洁净室空调系统的方式选择就需要认真考虑。

目前大多数已建成的电子厂房中，洁净室的空调系统一般都会使用常规净化空调方式---新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA），而另一种净化空调方式---新风机组+干盘管+FFU（FFU为英文缩写，全称为Fan Filter Unit, 中文意思为风机过滤器单元）比较少见，原因有：（1）常规净化方式一直沿用，不愿更新改变；（2）部分企业认为新风机组+干盘管+FFU方式的洁净空调系统是用于高洁净度(≥100级)要求的项目中，担心用于1000级—10000级项目时造价会偏高。

为此，本文着重从两种空调方式的特点及能耗方面进行分析探讨，说明新风机组+干盘管+FFU方式的洁净空调系统在电子厂房是确实可行的，并总结此净化空调方式在设计过程中需要注意的一些问题。

一、两种净化空调方式的分析比较1.1 新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA）空调方式介绍该空调方式指的是室外新风经过新风机组处理后送入混风机组，混风机组把回风与新风混合并处理至所要求的空气参数后直接用风管送风到各终端高效过滤器（HEPA）,通常新风机组将新风处理到室内焓值，不承担室内负荷，只承担新风负荷，由混风机组承担室内的湿负荷和显热负荷，空调方式示意图见图1。

1.2 新风机组+干盘管+FFU空调方式介绍所谓干盘管，是因为在这种系统中冷冻盘管仅承担显热负荷，其冷冻水进水温度一般在13℃以上，也就是说在室内空气的露点温度以上，盘管一般不可能产生冷凝水,属于干工况运行,所以其叫干盘管，而13℃的冷冻水常用的制取方法为利用水--水板式换热器把冷水机组的7℃/12℃冷冻水转换过来。

电子厂房洁净工程方案引言随着科技的不断发展，电子产品在我们生活中所占的比重越来越大。

而电子产品的生产离不开一个洁净的生产环境。

因此，洁净工程对于电子厂房来说是非常重要的一部分。

本文将围绕电子厂房洁净工程展开详细的方案设计和实施计划。

一、洁净工程概述洁净工程是指通过不同的技术手段，将环境中的污染物尽量降低到较低水平的工程。

在电子厂房中，洁净工程的主要目的是防止外部污染物的进入，保证生产环境的洁净度，提高生产效率和产品质量。

在实际应用中，洁净工程主要包括空调系统、洁净室、过滤器、洁净设备等。

二、洁净工程设计原则1.符合相关标准规定：洁净工程的设计应符合国家相关标准和规定，保证生产环境的洁净度和安全性。

2.合理布局：根据生产流程和工艺要求，合理布局洁净室和洁净设备，保证生产流畅不受影响。

3.选材节能：选择符合洁净环境要求的建筑材料和设备，提高能源利用效率。

4.可维护性：洁净设备应容易维护和清洁，保证设备正常运转。

5.系统集成：各洁净设备之间应根据工艺要求进行集成，保证整个洁净工程系统的协调运行。

三、洁净工程方案设计1.洁净室设计（1）洁净室分类：根据生产需求和洁净度要求，电子厂房的洁净室可以分为一级、二级、三级和其他级别。

（2）洁净室布局：根据生产流程和工艺要求，合理设置洁净室的位置和大小，保证生产流畅。

（3）洁净室装修：使用符合洁净环境标准的建筑材料，进行合理的装修设计，保证洁净室的洁净度和安全性。

2.空调系统设计（1）空调系统选型：根据洁净室的面积和洁净度要求，选择适合的空调设备，保证室内空气的洁净度和温湿度稳定。

（2）空调系统布局：合理设置空调设备的位置和数量，进行合理布局，保证整个厂房内的空气流通和循环。

（3）空调系统调节：对空调系统进行定期调节和维护，保持系统的高效运行，保证洁净室内空气的洁净度和稳定性。

3.过滤器设计（1）过滤器选择：根据生产环境和洁净度要求，选择适合的过滤器类型和规格，保证室内空气中的微粒物质得到有效过滤。

电子企业洁净室工程施工一、洁净室工程的定义洁净室是一种具有一定洁净度和温湿度条件的空间环境，用于保护特定产品或工艺免受微粒、细菌、霉菌和病毒等有害物质的影响。

在电子企业中，洁净室被广泛应用于半导体生产、医疗器械制造、光学仪器生产等领域。

洁净室工程施工是指在空旷的建筑内部构筑微环境控制系统，同时保证其外观、气密性、洁净度等建筑物的问题。

二、洁净室工程的施工流程1.前期准备阶段在开始洁净室工程施工前，首先需要完成施工图纸设计、招投标和合同签订等工作。

然后进行洁净室布局方案的确定、原材料的采购以及施工人员的招募和培训等准备工作。

2.施工准备阶段施工准备阶段是洁净室工程施工的重要阶段，包括场地测量、基础准备、设备进场和安装等工作。

需要按照施工图纸进行施工，并确保施工现场的安全和整洁。

3.主体施工阶段主体施工阶段是洁净室工程施工的重点阶段，主要包括墙体、天花板、地面、空调系统等各项工程的施工。

施工过程中需要严格按照施工图纸和相关规范进行施工，确保施工质量和工期。

4.设备调试阶段设备调试阶段是洁净室工程施工的最后阶段，主要是对洁净室内的设备进行调试和验收。

调试完成后，需要进行洁净室的空气洁净度测试，并对洁净室进行清洁和消毒。

5.竣工验收阶段在洁净室工程施工完成后，需要进行竣工验收。

竣工验收是对整个工程的施工质量、工程造价、工程环境、安全卫生等方面进行检查，确保洁净室工程符合相关标准和规范。

三、洁净室工程的施工技术1.洁净室墙体施工技术洁净室墙体是保持洁净室内部洁净度的重要构件，其施工技术包括选材、砌筑、抹灰、涂料等。

需要选择符合洁净室要求的墙体材料，确保墙体的平整度和密封性。

2.洁净室天花板施工技术洁净室天花板是保持洁净室内部洁净度的重要构件，其施工技术包括选材、安装、拆卸等。

需要选择符合洁净室要求的天花板材料，确保天花板的平整度和耐久性。

3.洁净室地面施工技术洁净室地面是保持洁净室内部洁净度的重要构件，其施工技术包括选材、施工、养护等。

浅析电子工业洁净厂房随着科技的不断发展和进步，电子工业产品的应用越来越广泛，涉及的领域也越来越广泛。

为了保证电子产品的质量和可靠性，电子工业的洁净厂房已成为不可避免的一个环节。

本文将浅析电子工业洁净厂房的特性、意义、建设及管理等方面。

一、电子工业洁净厂房的特性和意义电子工业洁净厂房的特性主要表现在以下几个方面：1. 空气洁净度高：洁净厂房建筑的密闭性和空气调节系统的运行保证了空气中的尘埃、细菌、病毒、有害气体等的滤除和去除，从而保证产品的洁净度。

2. 应用广泛：洁净厂房广泛应用于半导体、光电子、微电子、生物医药等电子工业领域，保证了生产线上的产品质量和可靠性，也使产品成本得到一定的控制。

3. 自动化程度高：自动化程度高的洁净厂房，可对生产线进行在线监控和控制，利于提高生产效率和产品质量，也减少了人为因素的影响。

电子工业洁净厂房的意义主要表现在以下几个方面：1. 保证产品质量和可靠性：电子产品生产过程中，如产生尘埃、细菌等微小颗粒，会导致产品毛刺等质量问题，降低产品可靠性，洁净厂房的建设和运营，可保证产品质量和可靠性，保障用户的利益。

2. 节约成本：在洁净厂房中，减少尘埃、杂物等的产生和积累，减少材料和能源的浪费，使整个企业的生产成本得到降低和控制。

3. 保护员工健康：洁净厂房中的设备齐全，具备高效的空气过滤和调节，保证了员工在生产过程中，不会对人体健康造成伤害，确保员工的身体健康和生产环境的安全。

二、电子工业洁净厂房的建设及管理1. 电子工业洁净厂房的建设洁净厂房建设的关键在于设计，设计应根据生产线具体情况和需求，综合考虑生产工艺、环境因素、面积等因素来选择合适的设备和系统。

电子工业洁净厂房建设需要考虑以下因素：（1）洁净度：洁净度是电子工业洁净厂房中最重要的因素。

生产过程中产生的各种微粒，尘埃、细菌等高浓度的微粒都会对生产线上的电子产品产生影响，因此，洁净度的控制也将减少产品的故障率和增加生产时间的使用率。

电子洁净厂房空调系统设计摘要：通过介绍某电子洁净厂房净化空调系统设计，阐述了电子洁净厂房空调设计的主要系统，介绍了洁净室新风空调箱的控制原理，并总结出实际工程设计中应注意的问题，并提出此类设计对日后施工、运行和管理的要求。

关键词：电子洁净厂房净化空调新风空调机组干盘管1.工程概况本电子洁净厂房净化空调系统设计为某光工厂研发生产项目，工程建设地点位于湖北省武汉市，丙类，77905.86m2，层数：-1/3，建筑高度29.75m，地面建筑共分三层：地下一层为水泵提升站，一层为辅助动力区、下夹层区，二层为洁净生产区、MOCVD区、辅助动力区+辅助办公区，三层为洁净钢屋架层、洁净预留区。

本文主要介绍二层洁净生产区的净化车间的空调系统设计。

具体平面布置图详见以下附图1：图1 二层洁净生产区平面布置图2.工程设计参数按工艺生产要求及工艺专业提供的设计条件，并按照GB50073-2013《洁净厂房设计规范》及GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》的要求，净化车间室内设计参数如下表1：表1 通风设备设计参数表3.净化空调系统设计3.1 冷热源系统本项目生产区净化空调冷源采用6℃/12℃低温冷冻水及13℃/19℃中温冷冻水，由动力站房供给；热源采用38℃/28℃中温热水及80℃/60℃高温热水，接自动力站房。

3.2 洁净室空气循环系统电子洁净厂房中，工艺设备散热量大，造成空调冷负荷较大，并且按照设计规范要求，洁净等级较高的区域或房间换气次数高达50~60 次[1]。

为满足负荷和换气次数的要求，必须保证足够的送风量，而送风量的加大又使净化空调机组、风机及风管的尺寸的偏大，加之吊顶上空间的限制，给设计和施工带来了很多困难。

“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DCC）” [2]的空调形式是电子净化厂房空调设计中经常采用的一种空调系统。

在该系统中，MAU 处理新风负荷：夏季冷却新风并除湿，冬季加热新风并加湿；DCC 处理室内负荷，一般为全年供冷；FFU 用来循环空气从而达到洁净度要求的换气量。

MAu+FFU+DCC常用系统及控制简介1MAU+FFU+DC详细介绍目前电子行业洁净室常用的MAU+FFU+DC系统，MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压，FFU通过空气循环过滤保证洁净度，而DC是来除去室内的显热从而保证室内的温度。

(1)MAU(Make—uDAirUnit)组合式外气空调箱是由风机、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤)、加湿器组成，通过初中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送入回风层。

(2)FFU(FanFiherUnit)是模数化的小型风机过滤单元，安装在顶棚框架上，空气由FFU 的风机加压后经HEPA或ULPA过滤送入室内，如此循环，其换气次数直接决定室内洁净度的不同。

FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量，制造厂一般是通过额定工况下的性能参数，或FFU整机的空气动力特性曲线。

FFU的风机均采用外转子电机以减小高度，一般配有电子式过载保护开关、故障指示灯，故障输出节点，有传统的低、中、高三档交流控制，目前直流变频控制亦越来越应用在洁净等级比较高的系统。

早在上个世纪6O年代，美国新墨西哥州Sandia国家实验室的科学家们利用HEPA过滤的方法研制成功了层流技术，其后商用FFU陆续在美国一些手术室及工业厂房得到广泛的应用。

但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例(大约有5000台)。

是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?有三个问题占主导地位：噪声较大问题；压力平衡问题，在很大的静压箱里，各不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的；维护问题，FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。

这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。

但是这一切，在1984年都发生了改变。

首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65dBA以下，这符合工业厂房的标准。

电子厂房洁净工程施工设计随着科技的飞速发展，电子产品对生产环境的要求越来越高。

电子厂房洁净工程作为生产高质量电子产品的关键环节，其施工设计显得尤为重要。

本文将详细介绍电子厂房洁净工程施工设计的主要内容。

一、洁净室的基本概念洁净室是一种高度洁净、无尘、无菌、无污染的生产环境。

洁净室工程旨在为电子产品生产提供一个良好的环境，确保产品质量和可靠性。

洁净室的主要特点是空气质量高，尘埃、细菌、霉菌等污染物得到有效控制。

二、洁净室的等级划分根据国家相关标准，洁净室分为若干等级，主要根据空气洁净度、尘埃粒子数量和大小、微生物含量等指标进行划分。

电子厂房洁净工程应根据生产产品的质量和要求，合理选择洁净室等级。

三、洁净室的设计原则1. 合理布局：根据生产流程和设备需求，合理规划洁净室的空间布局，确保生产过程顺畅，同时避免污染和交叉感染。

2. 优质材料：选择符合洁净室要求的建筑材料，如防静电、防尘、易清洁的地面和墙面材料。

3. 空气流动：合理设计空气流动方式，确保洁净室内部空气质量。

通常采用层流或局部层流方式，通过空气过滤和送风系统来保持空气洁净。

4. 温湿度控制：根据生产需求，设计合适的温湿度控制系统，确保洁净室内部温度和湿度稳定。

5. 洁净设备：选择符合洁净室要求的设备，如高效过滤器、送风系统、排风系统等。

6. 细节处理：注意洁净室的细节处理，如照明、通风、消防等设施的设计。

四、洁净室的施工要点1. 施工顺序：按照洁净室施工图，先进行地面、墙面、天花板的施工，然后进行通风、照明、消防等设施的安装。

2. 材料验收：对施工所用的材料进行严格验收，确保材料符合洁净室要求。

3. 施工质量：严格把控施工质量，确保洁净室的施工质量达到设计要求。

4. 施工安全：加强施工现场的安全管理，确保施工过程中的人员和设备安全。

五、总结电子厂房洁净工程施工设计是确保电子产品质量的关键环节。

通过合理布局、优质材料、空气流动设计、温湿度控制等手段，为电子产品生产提供一个洁净、无尘、无菌的生产环境。

某电子半导体洁净厂房空调系统设计简介摘要：介绍某电子洁净厂房净化空调系统的设计，阐述了净化空调系统的形式及净化空调系统的控制原理。

关键词：电子洁净厂房净化空调设计自动控制1.概况本项目电子洁净厂房主要生产工艺为半导体产品的封装后测试。

生产厂房为地上三层（局部设夹层）为丙类二项多层厂房，建筑面积约43643.44平米，建筑高度约23.09米。

生产工艺段为一层上芯、压焊、塑封，二层晶圆库、切筋打印、锡化，三层测试及各生产辅助用房等组成。

随着半导体产业的发展，相关产品对半导体产品生产环境的要求也越来越高，半导体生产厂房的洁净度和洁净系统的运行状态对产品品质及通过率有着至关重要的影响。

因此洁净厂房空调系统的设计就显得尤为关键。

1.室内外设计计算参数2.1室外计算参数夏季：空调干球温度：30.8℃；湿球温度：21.8℃；通风干球温度：26.9℃；冬季：空调干球温度：-5.7℃；相对湿度：62%；通风干球温度：-2.0℃；2.2室内设计参数主要房间室内设计参数：上芯/晶圆库/减划/压焊：温度（23±1）℃；相对湿度（50±5）％；洁净度1K；正压值20Pa；塑封/锡化/测试：温度（23±1）℃；相对湿度（50±5）％；洁净度10K；正压值15Pa；1.净化空调系统设计3.1冷热源系统本项目空调系统低温冷媒为7~12°C冷水，中温冷媒为13~18°C冷水，热媒为45~40°C热水。

热、冷水、中温水系统供水压力为0.7MPa，空调加湿采用0.2MPa蒸汽。

冷水、热水、中温水均接自厂区原有动力站房管网。

3.2净化空调系统电子洁净厂房最大的特点是热湿比大（热负荷极大、而散湿量小）、回风量大、大面积的净化区域。

要达到净化要求房间的换气次数则高达50~60次/h，为满足负荷和换气次数要求必须保证足够的送风量。

设计采用“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DC）”的空调形式，这也是电子净化厂房中常用的一种空调系统。

电子厂房洁净室空调系统热湿处理能耗分析发布时间：2021-10-12T08:26:05.440Z 来源：《科学与技术》2021年第5月15期作者：霍金鹏[导读] 针对我国电子洁净厂房的空调系统在热湿处理时冷负荷较大,配套系统较为复杂，室内空气质量不稳定,容易造成人员中毒、病菌、慢性职业病等情况。

霍金鹏中国电子系统工程第三建设有限公司上海市 201306摘要：针对我国电子洁净厂房的空调系统在热湿处理时冷负荷较大,配套系统较为复杂，室内空气质量不稳定,容易造成人员中毒、病菌、慢性职业病等情况。

在空调领域,尤其是工业厂房建筑当中,由于工艺设备的间歇运行和不同设备（电动、电热）发热量不一致等原因使得整个系统内部温湿度不一致。

因此为了保证空调制冷效果满足生产工艺需求并且达到节能减排目的就需要对其进行合理有效地控制。

本文主要研究的是通过计算电子厂房洁净室空调系统热湿能耗来分析出房间内热湿负荷、新风量以及室内外送风量之间所存在的差异性,从而为相关企业提供相应参考和依据,以实现空调机组高效运行并降低能源消耗率等作用。

关键词：电子厂房、洁净室、空调系统、热湿处理、能耗分析一、引言电子厂房洁净室是一个复杂的系统,其中包含了空调系统、工艺排气系统、洁净室系统、电气系统、纯水系统、废水系统、特气系统、化学品系统、二次配系统等。

在设计过程中需要考虑到各个方面因素:如湿度和温度;气流组织及湿空气状态点参数;新风量等等。

而本文主要研究的是空调机房内的热湿环境能耗并对此加以推论,通过对不同类型房间进行分析对比，选择便于操作的系统，并计算其能够消耗多少能量等相关问题，从而实现节能减排目标。

1.1电子厂房洁净室特点 1.1.1气流分布均匀空调系统的气流分布均匀指在设计参数范围内,空气流速、流向和流量等因素保持不变性。

通过改变进风口风速、送风量及新风流速度来实现对室内热湿环境的控制。

?新风流动到房间各设备位置时进行处理以保证其合理分配。

电子洁净厂房建设设计方案1. 引言本文档旨在提供一份关于电子洁净厂房建设设计方案的综合性指南。

电子洁净厂房是为了满足电子行业对洁净环境的要求而设计的专用场所，以确保在制造和处理电子产品时的高度洁净和无尘环境。

本方案将详细介绍电子洁净厂房的必要性、设计原则、空气处理系统、洁净室分类和布局等关键要点。

2. 电子洁净厂房的必要性电子洁净厂房在电子行业中的应用越来越广泛，原因如下：- 确保电子产品制造和处理中的高质量和可靠性；- 防止灰尘和污染物对电子产品的损害；- 降低产品制造过程中的次品率；- 提高产品的性能和寿命。

3. 设计原则在设计电子洁净厂房时，应遵循以下原则：- 最小化外部环境对洁净室的影响；- 构建合适的空气处理系统以维持洁净室的洁净度；- 合理选择洁净室的材料和设备；- 优化洁净室的空间布局。

4. 空气处理系统电子洁净厂房的空气处理系统是保持洁净度的关键。

以下是一个典型的空气处理系统的组成部分：- 高效过滤器：用于过滤空气中的颗粒物；- 风机和风道：用于循环和分配洁净空气；- 温湿度控制系统：维持洁净室的恒温恒湿；- 排风系统：排除洁净室内产生的污染物。

5. 洁净室分类和布局根据对洁净度要求的不同，洁净室可以分为多个等级。

洁净室的布局应根据工艺流程和设备要求来进行规划，以最大程度地提高生产效率和洁净度。

以下是常见的洁净室布局类型：- 直线流洁净室布局：适用于工艺流程简单、生产线直线排布的场景；- U型流洁净室布局：适用于中等复杂度的工艺流程，以U字形布局提高生产效率；- 列流洁净室布局：适用于对生产线的高洁净度要求，要求空气流向保持直线排布。

结论电子洁净厂房的建设设计是确保电子产品质量和可靠性的重要环节。

通过遵循设计原则、合理构建空气处理系统、精心规划洁净室布局，可以实现洁净环境下的高效电子产品制造和处理。

本文档提供了一个综合性的建设设计方案指南，可供参考和实施。

第２０卷第１１期２０２０年１１月R E F R I G E R A T I O N A N D A I R ＧC O N D I T I O N I N G ５９Ｇ６３收稿日期:２０２０Ｇ０５Ｇ２８,修回日期:２０２０Ｇ０７Ｇ０９作者简介:谭月普,硕士,主要从事电子工业洁净厂房设计.电子工业洁净厂房净化空调系统设计谭月普(世源科技工程有限公司上海分公司)摘㊀要㊀以某电子工业洁净厂房为例,介绍其净化空调系统设计参数㊁空调冷热源和加湿水源的选择,重点阐述净化空调系统形式㊁洁净循环风量取值及高效过滤单元㊁回风夹道㊁风机盘管机组㊁独立回风设计原则,叙述新风机组主要功能段㊁新风处理过程及净化空调系统控制等,指出同类厂房净化空调系统设计中应该注意的问题.关键词㊀电子工业洁净厂房;净化空调系统;过滤单元;空气处理过程D e s i g no f c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r e l e c t r o n i c i n d u s t r y cl e a n r o o m T a nY u e pu (S h a n g h a i B r a n c ho f S ．Y．T e c h n o l o g y ,E n g i n e e r i n g &Co n s t r u c t i o nC o ．,L t d ．)A B S T R A C T ㊀T a k i n g o n e e l e c t r o n i c i n d u s t r y c l e a n r o o ma s e x a m p l e ,t h ed e s i g n p a r a m e t e r s o f t h e c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e m ,a sw e l l a s t h e c o o l i n g s o u r c e&h e a t i n g s o u r c e a n dh u Ｇm i d i f i c a t i o nw a t e rs o u r c ea r e i n t r o d u c e d ．I t m a i n l y e l a b o r a t e st h ec l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r m ,t h e c l e a nc i r c u l a t i n g a i rv o l u m e ,a n d t h ed e s i g n p r i n c i p l e so fh i ghe f f i c i e n t f a n f i l t e r u n i t (F F U ),r e t u r na i r c h a s e ,f a nc o i l u n i t a n d t h e i n d e pe n d e n t r e t u r na i r ．T h e c o m p o s i t i o nof f r e s ha i r t r e a t m e n t u n i t a n d i t s t r e a t m e n t p r o c e s s ,a sw e l l a s t h e c o n t r o l o f c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i ng s y t e m a r ed e s c r i b e d ．F i n a l l y ,i ts u mm a r i z e ss o m e p r o b l e m sth a t s h o u l db e p ai d a t t e n t i o n t o i n t h e d e s i g n o f c l e a n a i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r t h e s a m e k i n d o f i n d u s t r y ro o m．K E Y W O R D S ㊀e l e c t r o n i ci n d u s t r y c l e a nr o o m ;c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s ys t e m ;f a nf i l t e r u n i t ;a i r h a n d l i n gpr o c e s s ㊀㊀位于陕西省西安市的某G ４．５代AMO L E D 电子洁净厂房,主要建筑物包括主厂房㊁动力站㊁特气站㊁废水站㊁化学品库㊁办公楼㊁门卫房等.其中,主厂房内根据工艺布局,分为阵列㊁蒸镀㊁模组及MA S K 清洗等生产工艺所在的核心区以及南㊁北侧辅房所在的支持区,总占地面积约３０２５１．２m ２,建筑面积约７６５０３．２m ２.核心区分为下夹层㊁生产工艺层㊁上静压箱层共计３层,下夹层层高６．３５m ,生产工艺层高度６．０m ,上静压箱层高度４．５m ,生产工艺层总面积约２２５００m ２.支持区分为２层,一层层高６．３５m ,二层层高１０．５m .暖通专业设计范围主要包括:主厂房核心区的净化空调系统及工艺废气处理系统,主厂房核心区㊁支持区㊁办公楼的防/排烟系统,支持区㊁办公楼空调/通风系统,特气站㊁化学品库的事故通风系统等.笔者仅就该工程的净化空调系统设计进行介绍和分析.１㊀设计参数室外设计参数根据G B ５００１９ ２０１５«工业建筑供暖通风与空气调节设计规范»[１]中陕西省西安市气象参数选取.另外,由于生产工艺对净化空调系统可靠性要求较高,冬㊁夏季干球温度取极端值作为设计条件.根据工艺条件及G B ５０４７２ ２００８«电子工业洁净厂房设计规范»[２]和G B ５００７３ ２０１３«洁净厂房设计规范»[３],洁净车间室内设计干球温度为２３ħʃ２ħ,相对湿度为５５％ʃ５％,洁净等级及控制粒径如表１所示.㊀ ６０㊀第２０卷㊀表１㊀洁净车间室内设计参数车间名称洁净等级及控制粒径O H S&S T O C K E R等自动化输送区２．５(１０个/英尺３,＠０．１μm)黄光区㊁E L A区４．５(１００个/英尺３,＠０．３μm)蚀刻㊁彩膜区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)模组区６．５(１００００个/英尺３,＠０．３μm) MA S K清洗区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)其余部分洁净区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)注:O H S:空中走行式穿梭车;S T O C K E R:卡匣储存搬送;E L A区:准分子激光退火区;MA S K:掩膜版.２㊀冷㊁热源配置及加湿水源冷源采用低温冷冻水和中温冷冻水[４]:低温冷冻水供/回水温度为７ħ/１４ħ,由动力站冷冻机房内的低温冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的二级表冷;中温冷冻水供/回水温度为１４ħ/２１ħ,由动力站冷冻机房内的中温冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的一级表冷以及洁净厂房内干式冷却盘管.热源采用低温热水,供/回水温度为４０ħ/３２ħ,由动力站冷冻机房内的中温热回收冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的一级加热㊁二级加热及淋水室温水加湿板换加热.洁净新风机组采用淋水室温水加湿[５],加湿水源为R O软水.净化空调系统冷㊁热量及加湿软水需求见表２.表２㊀冷㊁热量及软水用量参数用量中温冷冻水新风机组/k W３６３２风机盘管机组/k W５０７２低温冷冻水/k W１９６８低温热水/k W５５９６软水/(k g/h)３５７５低温冷冻水系统配置２台低温冷水机组(容量为６００冷吨/台);中温冷冻水系统配置１台中温冷水机组和３台中温热回收机组(容量为６００冷吨/台).中㊁低温冷冻水系统共用１台低温冷水机组(配置板式换热器)为备用.热水系统使用３台中温热回收机组的热回收水,再配置１台１５００k W 的热水锅炉作为热回收不足时的补充.３㊀净化空调系统设计３ １㊀净化空调系统形式除M A S K清洗区之外的洁净区,均选用新风机组＋过滤单元＋风机盘管机组空调形式.其中:新风机组处理室外新风,夏季进行冷却除湿,冬季进行加热加湿,补充工艺各类排气及正压渗透所需要的新风,并满足生产区人员对新风的需求,维持洁净室内正压及湿度,承担新风全部热㊁湿负荷和室内湿负荷;过滤单元用于对洁净等级所需的循环风进行高效过滤并提供循环动力;风机盘管机组负责处理室内显热负荷,控制室内温度.新风机组设置在主厂房南侧支持区二层新风空调机房内,新风管送至核心区上方静压箱,过滤单元布置在吊顶上,下夹层设置风机盘管机组,工艺层与下夹层之间为华夫板/筒和开孔地板.室内气流经华夫筒到下夹层,然后由风机盘管机组降温处理后,经过回风夹道回到上静压箱层,与新风机组处理后的新风混合,再由过滤单元送至吊顶下方的洁净区.M A S K清洗区工艺生产所用化学品原料主要有异丙醇㊁丙酮㊁乙醇等,房间定性为甲类,面积约２２０m２,吊顶高度６m,房间体积为１３２０m３.室内空气不允许循环使用,采用直流式全新风空调系统,即新风机组＋高效过滤单元＋排风机.由于排风气流含有易燃易爆成分,转轮式和板式热回收机组均不适用,溶液循环式热回收机组实际效果也不理想,故参照同类电子工业厂房项目经验,均不对具有易燃易爆危险的M A S K清洁区排风进行热回收.新风机组处理室外新风,夏季进行冷却除湿,冬季进行加热加湿,补充工艺各类排气及正压渗透所需要的新风,并满足生产区人员对新风的需求,新风量取值不小于洁净等级对应的换气次数风量.新风机组设置在主厂房南侧支持区二层新风空调机房内,排风机设置在南侧支持区屋面.新风机组处理后的新风经高效过滤单元后送至吊顶下方的洁净区,排风机通过与下夹层相连的回风夹道排风.３ ２㊀洁净循环风量及过滤单元选型取洁净车间的洁净等级对应风量和消除室内余热所需风量两者之间的大者,作为洁净循环风量的设计值.洁净工艺区设计㊁计算选型后的过滤单元(规格１．２０mˑ１．２０m)总台数约４８５０台,各洁净分区过滤单元布置率及面风速见表３.２．５级洁净区过滤器选取欧标U１６(M P P Sȡ９９．９９９９５％),４．５级和５．５级洁净区过滤器选取欧标U１５(M P P Sȡ９９．９９９５％),６．５级洁净区过滤器选取欧标H１４(M P P Sȡ９９．９９５％),机外静压需求约１５０P a.表３㊀洁净室过滤单元布置率及面风速房间名称布置率/％面风速/(m/s) O H S&S T O C K E R等自动化输送区１０００．４５黄光区㊁E L A区５００．４０蚀刻㊁彩膜区２００．４０模组区１５０．３５除MA S K清洗区以外洁净区２００．４０㊀第１１期谭月普:电子工业洁净厂房净化空调系统设计６１㊀ ㊀㊀㊀MA S K 清洗区空调系统为直流式全新风空调系统,高效过滤器选用欧标U １５(MP P S ȡ９９．９９９５％).取工艺排风＋正压渗透所需新风量㊁生产区内人员所需新风量㊁洁净等级需求对应风量㊁消除室内余热所需风量(风量计算时,送风温度须高于洁净室内对应露点温度(１３．５ħ),该项目MA S K 清洗区取１５ħ送风)四者中的大者作为新风机组的设计风量.经计算比较,MA S K 清洗区的新风机组设计风量为７２６００m ３/h ,设计房间换气次数约５５次/时.３ ３㊀回风夹道㊁风机盘管机组㊁独立回风等设计回风夹道面积根据洁净循环风量计算,应尽量均匀布置.回风夹道风速过大会导致空气循环阻力增大㊁过滤单元功耗增加,回风夹道风速过小则回风夹道占用洁净工艺区面积越大,故回风夹道截面风速一般控制在２~４m /s.风机盘管机组承担了洁净区内显热负荷,需考虑回风夹道长度㊁进出风温差㊁进出风压降㊁空间高度㊁设备造价等因素.设计进出风温差一般ɤ３ħ,盘管截面风速控制在２~３m /s 内,本项目中风机盘管机组盘管总截面面积约１４００m ２.根据工艺资料,自动化输送区㊁黄光㊁蚀刻㊁离子注入㊁清洗等车间存在交叉污染风险.应将此类洁净区下夹层㊁工艺生产层㊁上静压箱层均与其他洁净区隔断,同时相应配置独立的回风夹道,以避免或减轻交叉污染.３ ４㊀新风机组主要功能段及其处理过程本项目配置７台新风机组,单台新风机组风量８００００m ３/h ,其中MA S K 清洗区新风机组为１用１备,其他洁净区新风机组为４用１备.新风机组功能段由进风段㊁板式初效过滤段㊁中效过滤段㊁一级加热段㊁一级表冷段㊁淋水加湿段㊁二级表冷段㊁二级加热段㊁送风机段㊁均流段㊁化学过滤段(预留)㊁中效过滤段㊁高效过滤段㊁出风段及中间段组成,如图１所示.空气处理焓Ｇ湿图见图２,其中,W 为室外状态点,D 为新风送风状态点,N 为室内状态点.夏季和冬季新风机组处理状态点及处理过程分别见表４和表５.表４和表５中风机温升按式(１)计算:Δt ＝０．０００８ˑHη１η２(１)式中:H 为风机的全压(P a );η１为风机的全压效率;η２为电机效率.计算得到该项目所用新风机组风机温升约２．５ħ图１㊀新风机组功能段示意图㊀ ６２㊀第２０卷㊀表４㊀夏季新风机组处理状态点及处理过程状态点干球温度/ħ相对湿度/％过程描述功能段冷热源或加湿水源W 室外空气状态点４１．８３４A 一级表冷处理点２０．０９５WңA 降温㊁除湿一级表冷段１４ħ/２１ħ低温水B 二级表冷处理点１４．３９５AңB降温㊁除湿二级表冷段７ħ/１４ħ低温水C 风机出风状态点１６．８８１B ңC 等焓温升D 送风状态点１８．０７５C ңD 等含湿量加热二级加热段４０ħ/３２ħ热水N室内状态点２３．０５５表５㊀冬季新风机组处理空气状态点及处理过程状态点干球温度/ħ含湿量/(g /k g 干空气)过程描述功能段冷热源或加湿水源W 室外空气状态点－１２．８０．８２４A 一级加热处理点３０．００．８２４WңA 等含湿量加热一级加热段４０ħ/３２ħ热水B 淋水加湿处理点１４．３９．７５０AңB增焓加湿温水加湿段R O 水C 风机后出风状态点１６．８９．７５０B ңC 等焓温升D 送风状态点１８．０９．７５０C ңD 等含湿量加热二级加热段４０ħ/３２ħ热水N室内状态点２３．０９．７５０图３㊀洁净区净化空调系统图３ ５㊀净化空调系统控制３ ５ １㊀洁净区(除M A S K 清洗区)空调系统控制采集新风出风管内露点温度信号控制新风机组回水管上的电动两通阀,同时采集室内湿度信号整定露点温度的设定值,用以控制房间湿度[６].新风机组温㊁湿度控制主要包括以下４点:１)当室外新风露点温度t d p ȡ１３．５ħ(可调)时,关闭一级加热段的电动调节阀,开启并调节一级㊁二级表冷段的电动调节阀,使一级表冷段出风干球温度t d b ＝２０．０ħ,使二级表冷段出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定).２)当室外湿球温度t w b ＜１３．５ħ,露点温t d p＜１３．５ħ时(可调),关闭一级表冷段㊁二级表冷段电动调节阀,打开一级加热段㊁淋水室温水加湿板换电动调节阀,首先调节一级加热段电动调节阀,当开度达到９０％,相对湿度仍偏低时,再开启淋水室温水加湿板换热水管道上的电动调节阀.当室内相对湿度大于需求时,先减小淋水室温水加湿板换热水管道上电动阀的开度,直到其全部关闭,相对湿度仍然偏高时,再调小一级加热段电动调节阀的开度,使加湿后的出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定)).３)当室外湿球温度t w b ȡ１３．５ħ(可调),露点温度t d p ＜１３．５ħ时(可调),关闭一级加热段的电动调节阀,打开淋水泵及一级㊁二级表冷电动调节阀.先调节一级表冷电动调节阀,当全开仍然不能达到要求时,调节二级表冷电动调节阀,使二级表冷出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定).４t ＝１８．０ħ㊀第１１期谭月普:电子工业洁净厂房净化空调系统设计 ６３㊀ ㊀级加热段的电动调节阀,使送风温度t＝１８．０ħ(可根据运行情况,重新设定),避免结露.此功能为预留,运行时根据运行情况确定是否联动.洁净室内温度控制:以室内某一区域温度信号控制相应区域干式冷却盘管中温水管上的电动两通阀,以满足房间所需温度要求.洁净室内压力控制:以某一区域内压力信号控制相应新风支管上的电动调节阀,以新风总管的压力信号控制新风机组变频运行,以满足室内正压需求.３ ５ ２㊀MA S K清洗区净化空调系统控制MA S K清洗区净化空调系统控制与３．５．１节所述类似,但存在不同之处:１)新风机组为定频运行;２)室内设置相对湿度探测,以室内相对湿度信号连续设定新风机组出口的露点温度.３)以室内温度信号调节新风机组二次加热段的电动两通阀开度;４)净化空调为直流式全新风系统,设置３台排风机,２用１备,其中１台排风机兼作事故排风,排风机以室内正压平均值自动调节排风机的转速,确保室内正压需求.４㊀结束语电子工业洁净厂房因工艺复杂㊁厂房空间大㊁环境要求严格,其空调㊁通风系统设计较为复杂,在进行此类厂房的净化空调设计时,须关注以下４个方面:１)合理规划空调机房㊁废气处理设备布置,新风引入口应尽量远离废气排放区域,且位于厂区室外主导风向的上风向,避免废气排放与新风导入产生短路.２)与工艺密切配合,选择合理的净化空调方案㊁气流组织形式,满足生产工艺对室内温度㊁湿度㊁洁净度的需求.３)一次冷却盘管与二次冷却盘管承担的冷负荷比例,应综合考虑盘管的风阻㊁水阻及中低温冷水机组配比等因素.４)AMO L E D厂房工艺及各专业配套系统复杂,在管线平面㊁管井位置㊁侧墙开洞㊁外墙百叶㊁空间利用等方面,设计过程中各专业应及时沟通协调.参考文献[１]㊀工业建筑供暖通风与空气调节设计规范:G B５００１９ ２０１５[S]．[２]㊀电子工业洁净厂房设计规范:G B５０４７２ ２００８[S]．[３]㊀洁净厂房设计规范:G B５００７３ ２０１３[S]．[４]㊀焦俊明,龙孝东．中温水在净化空调系统中的应用及产生方法[J]．制冷与空调,２０１０,１０(２):９８Ｇ１０１．[５]㊀郑文亨,黄翔．喷水室净化处理空调新风[J]．制冷与空调,２００４,４(１):３３Ｇ３６．[６]㊀翟传明,章忠飞,王娟娟,等．电子工业洁净厂房洁净区试运行阶段检测要点分析与探讨[J]．制冷与空调,２０２０,２０(１):１７Ｇ２１．。