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点检保养
工间休息
计划维修
停产调整
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调整
故障维修
停工
其它
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设备 利用率
1设备效率
半导体工业极大依赖于半导体制造设备的投资，而且是同步增长的。随着设备的硅片尺寸大直径化、设备的高精度化、自动化，设备价格日益昂贵化，
工艺线的设备总投资更是成倍地增长。对工艺线来说，在设备投资加大的同时，
设备折旧的负担也加大，设备折旧与维修占硅片加工总成本的最大比重[1]，设备效率和设备能力能否达到其最大利用率是决定硅片成本的重要因素之一，因
此设备效率和设备能力已成为半导体制造者非常关心的问题。
国际半导体设备与材料组织(SEMI)于1999年提出了一种能准确计算设备效
率的方法--全面设备效率(OEE)。
1.1OEE简介
OEE考虑了设备所有的运行情况，完全依据设备的状态时间计算[2](见图1)，计算方便准确，并且更加适合柔性生产设备，弥补了SEMI以往计算效率方
法的不足。
SEMI将全面设备效率定义为可用效率(AE或称UpEfficiency)、生产效率(OE)、速率效率(RE)和质量效率(QE)之积，具体OEE模型如下所示[3]
OEE=AE×OE×RE×QE
其中，AE:%设备完好且能进行工艺的时间占总时间的比例;OE:%设备进行工艺的时间占可用时间的比例;RE:%设备加工的理论生产时间占生产时间的比
例;QE:%有效加工的理论生产时间(无废片、无回流)占总理论生产时间的比例或%
工艺完成后的硅片数占总硅片数的比例。
1.2OEE的计算
虽然SEMI组织已经给了OEE的计算方法，但是半导体公司根据其自身的特
点给出了简单的OEE计算方法，下面将介绍两种常用的计算方法，以单台设备
一天为例
(1)OEE=理论生产时间÷总时间
其中，理论生产时间=(当天工艺i加工的硅片数×工艺i每片理论加工时间，n为当天的工艺总数);总时间=24h。
(2)OEE=实际出产的硅片数÷理论出产的硅片数。
表1是国内某半导体制造有限公司运用第一种方法的OEE实例。
1.3OEE的提高
OEE是设备管理中一种非常好的衡量方法，通过OEE模型的各子项分析，可以很容易地找出影响设备效率的原因(表2)，然后有针对性地解决问题，达
OEE设备整体效能简介
（主讲人 ）
一、引入
随着市场竞争的日益激烈，制造商要想持续的获得高的经济效益，最大化的挖掘和改善
生产车间的生产效率显得极其重要，在某些方面，它甚至成为企业是否可以赢利的决定性因素。然而，在现在的制造业中，看似良好运作的生产车间实际上并没有以最好的状态进行工作，设备和操作人员的价值存在很大的改善空间，这无形中为企业带来了巨大的损失。为了解决这一问题，国际制造业提出了全局设备效率(OEE)的概念。
二、OEE的定义
一般，每一个生产设备都有自己的最大理论产能，要实现这一产能必须保证没有任何干扰和质量损耗。当然，实际生产中是不可能达到这一要求，由于许许多多的因素，车间设备存在着大量的失效: 例如除过设备的故障，调整以及设备的完全更换之外，当设备的表现非常低时,可能会影响生产率，产生次品，返工等。
OEE是一个独立的测量工具，它用来表现实际的生产能力相对于理论产能的比率。国际上对OEE的定义为：OEE是Overall Equipment Effectiveness（设备总体效能）的缩写，它由可用率，生产率以及优质率三个关键要素组成 ，即：
OEE=可用率X 生产率 X优质率。
其中：
可用率=操作时间 / 计划工作时间
它是用来考虑停工所带来的损失，包括引起计划生产停工的任何事件，例如设备故障，原料短缺以及生产方法的改变等。 生产率=理想周期时间 / （操作时间 / 总产量）=（总产量 / 操作时间）/ 生产速率
或，用标准工时代替：
生产率=标准工时/实际工时
生产率考虑生产速度上的损失。包括任何导致生产不能以最大速度运行的因素，例如设备的磨损，材料的不合格以及操作人员的失效等。
优质率=合格品（或优质品）数量/总产量
优质率考虑质量的损失，它用来说明没有满足质量要求的那些产品，包括返工的产品。
OEE基础入门
2007-04-18 10:15
随着市场竞争的日趋激烈，生产企业要想持续获得理想的效益，其中一个重要环节就是要持续提升其生产效率——在具有“制造大国”之称的中国的今天，效率已成为众多企业是否可以赢利的关键甚至是决定性因素。
然而，中国目前大部分生产企业，特别是民营生产企业，其表面上看似良好运作的生产车间实际上并没有以最好的状态进行工作，设备和操作人员的价值存在很大的改善空间，这无形中为企业造成了巨大的损失。但是，绝大多数企业的管理人员并没有意识到这一点，或者说只是有感观上的感觉，但缺乏定量的数据，而没有采取有效的措施予以解决。
为了解决这一问题，国际制造业提出了全局设备效率（OEE）的概念。全局设备效率OEE是一种简单实用的生产管理工具，在欧美的制造业和中国的跨国企业中已得到广泛的应用，全局设备效率指数已成为衡量企业生产效率的重要标准，也是TPM（Total Productive Maintenance）实施的重要手法之一。
OEE的定义
OEE是Overall Equipment Effectiveness（全局设备效率）的缩写。一般，每一个生产设备都有自己的理论产能，要实现这一理论产能必须保证没有任何干扰和质量损耗。OEE就是用来表现实际的生产能力相对于理论产能的比率，它是一个独立的测量工具。OEE是由可用率，表现性以及质量指数三个关键要素组成：
OEE=可用率*表现指数*质量指数
其中：
可用率=操作时间/计划工作时间
它是用来评价停工所带来的损失，包括引起计划生产发生停工的任何事件，例如设备故障，原材料短缺以及生产方法的改变等。
表现指数=理想周期时间/（操作时间/总产量）=（总产量/操作时间）/生产速率
表现性是用来评价生产速度上的损失。包括任何导致生产不能以最大速度运行的因素，例如设备的磨损，材料的不合格以及操作人员的失误等。
质量指数=良品/总产量
