CDA及SUS不锈钢管材介绍
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常用治具材料分类
3.铝合金材料 种类 Al-Cu类合金 Al-Cu类合金 Al-Mg类合金 Al-Mg类合金 Al-Mg-Si类合金 Al-Mg-Si类合金 Al-Zn-Mg类合金
材料符号 A2011 A2017 A5052 A5056 A6061 A6063 A7075
用途 用于一般强力材料 用于一般强力材料 一般机械零件外罩、外壳等 一般机械零件 一般机械零件 一般机械零件结构材料 夹具、模具
65 锰（弹簧钢） SKS3 /SKD11/VIKING/SLD SKH9 SCM435 SCM415 SCM420 SUM21 SUM22L SUM24L SUJ2 SPCC/Q235 SPHC
用途 一般机械零件 一般机械零件 一般机械零件
轴、销等
硬质合金广泛用作刀具材 料，如车刀、铣刀、刨刀、 钻头、镗刀等
4.铜及铜合金材料
种类
材料符号
黄铜板
C2801P
快削黄铜(挤压棒) C3604BD
纯铜（紫铜）
铜锌合金（黄铜）
铜锡合金（青铜）
铜镍合金（白铜）
用途
用于钣金加工。铭牌、测量仪器板。
用于一般拉手用的螺栓、螺丝、螺母等
铜合金具有色泽美观；导电导热性能 优异；耐磨耐蚀性良好；易于机械加 工常用于.治具轴套类；接线端子类； 导热器件类；外观装饰类及重要防锈 防蚀零件
PEEK具有优秀的综合性能， 机械性能好，耐高温，耐化 学性能优越，使之成为最通 用的高级塑料。
保鲜膜、背心式塑料袋、塑 料食品袋、奶瓶、提桶、水 壶等。
PVC塑料（聚氯乙烯）
常用来制作皂盒、梳子、洗 衣板、文具盒、各种管材
尼龙（PA）
PP塑料（聚丙烯） 优力胶（PU 聚氨脂弹性体 ） 铁氟龙Teflon（塑料王）
CDA系统及管材介绍
影响管子价格之因素为最重要之决定因素在表面处理之方法，其价格之高低 顺序EP＞BA＞MP>AP 一般BULK GAS（GN2、CDA、Ar、H2、O2），其中GN2、CDA 选用BA 级其余之 BULK GAS 及APECIALTY GAS皆用EP级之管材，材质为SUS316L ，有时，业主 亦因成本之考量GN2、CDA如用在PUMP之动力源，会考虑使用SUS304。
使用方法例：
将该分析测定夜滴一滴于钢表面，用9V电池，正 极搭钢，负极搭测定液珠上面，通电氧化后呈红 色，则证明它的含镍量≥7%，若不呈红色则证明 该不锈钢中含镍量小于7% 一般药水有：Ni低、Ni2、Ni4、Ni6、Ni7.5、 Ni8、Ni10、Ni14、Ni20、Ni40、Ni60、Ni80、 Mo2、Cr13-17、Cr18-23、Ti微、Ti合金、硫酸 铜等
施工机具
焊接式
先拆卸一端封套，并连接氩气。 拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。
焊接式
连接后将一端之管帽钻小孔使之成出气端。
焊接式
开始点焊及全接口式的焊接。
焊接注意事项
1.电源 a.使用前确认电压 b.使用220V的场合要确认结线。 c.接地线要用熔接机单独使用者。 2.氩气 氩气纯度达99.999以上才予使用。 原则上使用液化氩气。 熔接时氧化膜无法去除时要更换气体。 3.钨Tungsten 研磨时不能偏颇。 产生熔接联珠或蛇行是钨研偏所致，要重磨。研 磨时使用研磨专用机。
若使用SUS304时，如为卡套接管则厚度需为SCH10S以上
CDA 潔淨管路材料規範
一.管材、管件、閥件規格： 1.CDA管材、管件材質為SUS304L APS管內焊道需經清潔、脫 脂＆洗淨及包裝，5S 無縫(自動焊)。 1.1材質基準SUS304L，JIS G3459 / ASTM A312 GR，規範要求 較嚴格者以規範為主。 1.2操作壓力：0~10㎏/㎝2。 1.3 PARTICLE測定：≦ 5 PCS / FT3大於(等於)0.3μｍ(10 MIN)。 1.4油份測定：MAX 0.1㎎/FT2(禁油處理) 1.5包裝：請註明如何包裝(防止管材變形) 1.6標記(MARK)：請註明如何標記。 1.7尺寸：JIS A SIZE。 1.8環境：無塵室包裝環境。 1.9油份紅外線光譜儀或GC/MSD。 1.10貨品必要時再送公家單位抽驗。
使用方法例：
将该分析测定夜滴一滴于钢表面，用9V电池，正 极搭钢，负极搭测定液珠上面，通电氧化后呈红 色，则证明它的含镍量≥7%，若不呈红色则证明 该不锈钢中含镍量小于7% 一般药水有：Ni低、Ni2、Ni4、Ni6、Ni7.5、 Ni8、Ni10、Ni14、Ni20、Ni40、Ni60、Ni80、 Mo2、Cr13-17、Cr18-23、Ti微、Ti合金、硫酸 铜等
施工机具
焊接式
先拆卸一端封套，并连接氩气。 拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。
焊接式
连接后将一端之管帽钻小孔使之成出气端。
焊接式
开始点焊及全接口式的焊接。
焊接注意事项
1.电源 a.使用前确认电压 b.使用220V的场合要确认结线。 c.接地线要用熔接机单独使用者。 2.氩气 氩气纯度达99.999以上才予使用。 原则上使用液化氩气。 熔接时氧化膜无法去除时要更换气体。 3.钨Tungsten 研磨时不能偏颇。 产生熔接联珠或蛇行是钨研偏所致，要重磨。研 磨时使用研磨专用机。
若使用SUS304时，如为卡套接管则厚度需为SCH10S以上
CDA 潔淨管路材料規範
一.管材、管件、閥件規格： 1.CDA管材、管件材質為SUS304L APS管內焊道需經清潔、脫 脂＆洗淨及包裝，5S 無縫(自動焊)。 1.1材質基準SUS304L，JIS G3459 / ASTM A312 GR，規範要求 較嚴格者以規範為主。 1.2操作壓力：0~10㎏/㎝2。 1.3 PARTICLE測定：≦ 5 PCS / FT3大於(等於)0.3μｍ(10 MIN)。 1.4油份測定：MAX 0.1㎎/FT2(禁油處理) 1.5包裝：請註明如何包裝(防止管材變形) 1.6標記(MARK)：請註明如何標記。 1.7尺寸：JIS A SIZE。 1.8環境：無塵室包裝環境。 1.9油份紅外線光譜儀或GC/MSD。 1.10貨品必要時再送公家單位抽驗。
不锈钢知识大全
不锈钢知识大全不锈钢（Stainless Steel）是不锈耐酸钢的简称，耐空气、蒸汽、水等弱腐蚀介质或具有不锈性的钢种称为不锈钢；而将耐化学腐蚀介质（酸、碱、盐等化学浸蚀）腐蚀的钢种称为耐酸钢。
不锈钢指耐空气、蒸汽、水等弱腐蚀介质和酸、碱、盐等化学浸蚀性介质腐蚀的钢，又称不锈耐酸钢。
实际应用中，常将耐弱腐蚀介质腐蚀的钢称为不锈钢，而将耐化学介质腐蚀的钢称为耐酸钢。
由于两者在化学成分上的差异，前者不一定耐化学介质腐蚀，而后者则一般均具有不锈性。
不锈钢的耐蚀性取决于钢中所含的合金元素。
1常见分类：通常按金相组织分为：通常，按照金相组织，把普通的不锈钢分为三类:奥氏体型不锈钢、铁素体型不锈钢、马氏体型不锈钢。
在这三类基本金相组织基础上，为了特定需求与目的，又衍生出了双相钢、沉淀硬化型不锈钢和含铁量低于50%的高合金钢。
1.11、奥氏体型不锈钢。
基体以面心立方晶体结构的奥氏体组织(CY相)为主，无磁性，主要通过冷加工使其强化(并可能导致一定的磁性)的不锈钢。
美国钢铁协会以200和300系列的数字标示，如304。
1.22、铁素体型不锈钢。
基体以体心立方晶体结构的铁素体组织((a相)为主，有磁性，一般不能通过热处理硬化，但冷加工可使其轻微强化的不锈钢。
美国钢铁协会以430和44 6为标示。
1.33、马氏体型不锈钢。
基体为马氏体组织(体心立方或立方)，有磁性，通过热处理可调整其力学性能的不锈钢。
美国钢铁协会以410, 420以及440数字标示。
马氏体在高温下具有奥氏体组织，当以适当的速度冷却至室温时，奥氏体组织能够转变为马氏体(即淬硬)。
1.44、奥氏体一铁素体(双相)型不锈钢。
基体兼有奥氏体和铁素体两相组织，其中较少相基体的含量一般大于1 5%，有磁性，可通过冷加工使其强化的不锈钢，329是典型的双相不锈钢。
与奥氏体不锈钢相比，双相钢强度高，耐晶间腐蚀和耐氯化物应力腐蚀及点腐蚀能力均有明显提高。
1.55、沉淀硬化型不锈钢。
CDA系统及管材介
TUPE和PIPE的主要区别
Tube管管壁较薄、一般采用管子外径称呼、以英寸 （inch）作为计量单位，目前来说，常用的管径为1/8”
（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三分）、 4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、 1”等等，这是一种实际尺寸，可以直接由英寸和公制
毫米换算，即1/4”=6.35mm；
型号 301—延展性好，用于成型产品。也可通过机械加工使其迅速硬化。焊接性好。 抗磨性和疲劳强度优于304不锈钢。 型号 302—耐腐蚀性同304，由于含碳相对要高因而强度更好。 型号 303—通过添加少量的硫、磷使其较304更易切削加工。 型号 304—通用型号；即18/8不锈钢。GB牌号为0Cr18Ni9。 SUS304L 型号 309—较之304有更好的耐温性。 型号 316—继304之后，第二个得到最广泛应用的钢种，主要用于食品工业和外科手术 器材，添加钼元素使其获得一种抗腐蚀的特殊结构。由于较之304其具有更好的抗氯化 物腐蚀能力因而也作“船用钢”来使用。SS316则通常用于核燃料回收装置。18/10级 不锈钢通常也符合这个应用级别。 SUS316L 型号 321—除了因为添加了钛元素降低了材料焊缝锈蚀的风险之外其他性能类似304。 400 系列—铁素体和马氏体不锈钢 型号 408—耐热性好，弱抗腐蚀性，11%的Cr，8%的Ni。 型号 409—最廉价的型号（英美），通常用作汽车排气管，属铁素体不锈钢（铬钢）。 型号 410—马氏体（高强度铬钢），耐磨性好，抗腐蚀性较差。 型号 416—添加了硫改善了材料的加工性能。 型号 420—“刃具级”马氏体钢，类似布氏高铬钢这种最早的不锈钢。也用于外科手术 刀具，可以做的非常光亮。 型号 430—铁素体不锈钢，装饰用，例如用于汽车饰品。良好的成型性，但耐温性和抗 腐蚀性要差。 型号 440—高强度刃具钢，含碳稍高，经过适当的热处理后可以获得较高屈服强度，硬 度可以达到58HRC，属于最硬的不锈钢之列。最常见的应用例子就是“剃须刀片”。 常用型号有三种：440A、440B、440C，另外还有440F（易加工型）。 500 系列—耐热铬合金钢。 600 系列—马氏体沉淀硬化不锈钢。 型号 630—最常用的沉淀硬化不锈钢型号，通常也叫17-4；17%Cr，4%Ni。
CDA管路施工规范
CDA管路施工规范2.0 工程范围本次工程CDA供应系统施工范围为****新建无尘室及一般区新增CDA主管道及空压站配管安装工程1) HB无尘室及一般车间内安装CDA一次侧主管路配管工程。
2) 空压站管路及设备安装工程。
3) 本次工程内的全有管道之支架工程。
4) 管路识别标签之制作及贴附工程。
5) 管路测试工程。
6) 流量计购买、安装及数据线接至监控系统。
7）本工程所有压力管道报验。
2.1 管路工程2.1.1管材（1）管材类别系统管材的使用（2）构造法施工时要做好防尘、防锈处理、安装、切割、电焊时须保持管材内外洁净，并经业主指派之监工人员检察后，方可开始安装。
2.1.2 阀件2.2 施工要求、测试及检验2.2.1工作环境对于CDA&IA LOOP配管工程的施工需要在一定的洁净场所里施工，以避免污染。
这种用来临时作为洁净的施工场所称作临时性洁净棚。
但对于一些必须要在现场施工的，要作出一定的防护措施。
1)临时性洁净棚a)微尘数目（静态数，粒子大小＞0.3um者）b)条件：于焊接工作区域内，其温度为23±3℃，相对湿度则为60±10%。
c)换气率：5~10次/H。
d)环境：此洁净棚需足以阻绝微粒、油污及其它外来物质。
2) 在此区域工作的工作者需穿着无尘衣鞋3) 强制性穿戴手套:在进行每一个操作时必须穿上干净棉制手套，严禁使用裸手操作；作业人员每4小时更换一次手套。
2.2.2焊接人员的资格检定每一位负责实际焊接工作的人员必须通过专业气体公司之不锈钢职业自动焊接技术的检定，且有核发焊接资格许可证并经业主审核及检测通过，始可操作。
2.2.3施工方法2.2.4工作完成之标准2.2.4.1基本焊接工作1）两条管线的尾端焊接主要利用自动焊接机来完成。
2）90°的弯管需使用大于15A的管子，小于1/2”的管子则需使用弯管器。
3）自动焊接机的状况可藉由制作测试用样品片来检查；其检测时间、样品数量由承商提供规划经业主确认施行。
CDA与特气简介
硅胶 氧化铝
分子筛
800～1000
有限
8～15
分子筛放大照
Fab#3干燥机使用的干燥剂： 选用的是30%的分子筛+70%的活性氧化铝
--CONFIDENTIAL--
干燥机工作步聚
再生:当一个桶槽吸附时，另一桶槽就可以开始再生；
①，先将桶槽B2进行缓慢卸压;
பைடு நூலகம்
②，鼓风机经过单向止回阀R3 吸取环境空气经电加热器将环 境空气加热到需求的再生温度 后经过气动二通阀K6从上而下 进入桶槽B2; ③，对B2内的吸附剂和吸附的 水分进行加热，经过气动二通 阀K4后将水气排入环境中;
CDA系统中的主要设备为空压机，气罐，干燥机，过滤器及相应的管路；
--CONFIDENTIAL--
1、空压机
将气体增压的设备；按工作原理可分为： 往复式 定排量式 回转式 空压机 轴流式 速度式 径流式 离心机 螺杆机 活塞机
Fab#3使用的阿特拉斯水冷式螺杆机；
--CONFIDENTIAL--
螺杆压缩机构造：平行的一对相互啮合的螺旋形转子；
封闭
•同时阴阳转子的齿峰与机壳密封，齿槽内的气 体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中；
压缩
•齿间容积由于转子齿的啮合而不断减少，实现 气体的压缩，气体压力不断升高；
排气
•齿间容积与排气口连通后即开始排气，持续 到齿末端的型线完全啮合为止；
--CONFIDENTIAL--
螺杆空压机管路流向(水,油,压缩空气)：
Clean 洁净
Dry 干燥
露点
CD A
CDA的压力，洁净，及低露点特点满足现在高精密的制程要求
--CONFIDENTIAL--
• 压缩空气品质标准 – 国际标准：ISO-8573-1
CDA施工规范
编号： YT-SGGF1101-V1（于编号中标示版次）机电工程空压系统施工规范编写者：编写日期：审核者：审核日期：目录1.工程名称 (3)2.工程范围 (3)3.厂址 (3)4.工程时程 (3)5.工程依据 (3)6.送审文件 (3)7.工程执行要点 (3)8.测试标准 (8)9.教育训练 (12)10.系统验收 (12)11.工程保固 (12)12.其它注意事项 (12)1.工程名称：通用光伏能源（烟台）有限公司二期工程2.工程范围：包括通用光伏能源（烟台）有限公司二期工程所涉及空压系统3.厂址：山东省烟台市福山区英特尔大道22号4.工程时程：5.工程依据：5.1《工业循环冷却水处理设计规范》GB50050-20075.2《工业金属管道工程施工及验收规范》5.3《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》5.4《工业设备、管道防腐蚀工程施工及验收规范》5.5《压缩空气站设计规范》GB 50029- 20035.6《电力工程电缆设计规范》GB 50217－20075.7《低压配电设计规范》GB50054-956.送审文件:7.工程执行要点7.1空压机及干燥机安装：7.1.1依原厂提供安装要点执行。
7.1.2基础座：基础座图面及单位面积活载重数据由空压机制造厂家提供数据参考，承包商依土木工程标准施工程序及工法施做。
施做前必须经业主土木监工认可。
7.2空压机外围设备设置要求：7.2.1空压机进气室：置于机房室外，将空压机空气过滤器进口以管路延伸至室外，设置进气室提供进气过滤器保护及执行初步空气过滤工作，采用可更换式无纺布滤材，设计须考虑滤材方便更换及防止雨水入侵进气过滤器。
7.3空压机油箱排油：7.3.1示意如下图一。
图一7.4空压机凝结水排水：7.4.1示意如下图二。
图二7.5储气桶排水：7.5.1示意如下图三。
图三7.6冷却水塔：7.6.1冷却水塔型式：方形直交流封闭式。
7.6.2冷却水塔吨数：7.6.3依空压机厂商提出之水量需求数据，空压机800LPM。
CDA及SUS不锈钢管材介绍
学员守则
我深知尊重别人就是对自己最好的尊
重! 我愿意以实际行动保护知识产权,不在 培训过程中录音、摄像、拍照.
我将以“空杯”的心态,开放自己,全
心体验,我愿意像孩子一样游戏、欢笑,
并用成人的方式思考问题和做事.
不锈钢管材分类
钢管作为钢铁产品的重要组成部分，因其制造工艺及所用管坯形状不同而分为无缝钢管（圆 坯）和焊接钢管（板，带坯）两大类。 （1） 无缝钢管 因其制造工艺不同，又分为热轧（挤压）无缝钢管和冷拔（轧）无缝钢管两种。冷拔（轧） 管又分为圆形管和异形管两种。 a． 工艺流程概述 热轧（挤压无缝钢管）：圆管坯→加热→穿孔→三辊斜轧、连轧或挤压→脱管→定径（或 减径）→冷却→坯管→矫直→水压试验（或探伤）→标记→入库。 冷拔（轧）无缝钢管：圆圆管坯→加热→穿孔→打头→退火→酸洗→涂油（镀铜）→多道 次冷拔（冷轧）→坯管→热处理→矫直→水压试验（探伤）→标记→入库。
電解研磨 Electro polish MPEP pipe
高精密洗淨 High Precision Cleaning
不锈钢的施工
一: 施工机具介绍
二：连接的方式 1：焊接式 2：卡套式 3：丝口式
焊接式
先拆卸一端封套，并连接氩气。 拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。
焊接式
连接后将一端之管帽钻小孔使之成出气端。
Particle殘留測定
檢查率 : 1% 檢查項目:每 ft3 中Particle < 規定值
管內油份殘留測定
純水注入，封口，搖晃震盪，靜置蒸餾粹取殘留油脂，計算殘留量 檢查率 : 1% 標準值 : < 0.1 mg/ft2
我深知尊重别人就是对自己最好的尊
重! 我愿意以实际行动保护知识产权,不在 培训过程中录音、摄像、拍照.
我将以“空杯”的心态,开放自己,全
心体验,我愿意像孩子一样游戏、欢笑,
并用成人的方式思考问题和做事.
不锈钢管材分类
钢管作为钢铁产品的重要组成部分，因其制造工艺及所用管坯形状不同而分为无缝钢管（圆 坯）和焊接钢管（板，带坯）两大类。 （1） 无缝钢管 因其制造工艺不同，又分为热轧（挤压）无缝钢管和冷拔（轧）无缝钢管两种。冷拔（轧） 管又分为圆形管和异形管两种。 a． 工艺流程概述 热轧（挤压无缝钢管）：圆管坯→加热→穿孔→三辊斜轧、连轧或挤压→脱管→定径（或 减径）→冷却→坯管→矫直→水压试验（或探伤）→标记→入库。 冷拔（轧）无缝钢管：圆圆管坯→加热→穿孔→打头→退火→酸洗→涂油（镀铜）→多道 次冷拔（冷轧）→坯管→热处理→矫直→水压试验（探伤）→标记→入库。
電解研磨 Electro polish MPEP pipe
高精密洗淨 High Precision Cleaning
不锈钢的施工
一: 施工机具介绍
二：连接的方式 1：焊接式 2：卡套式 3：丝口式
焊接式
先拆卸一端封套，并连接氩气。 拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。
焊接式
连接后将一端之管帽钻小孔使之成出气端。
Particle殘留測定
檢查率 : 1% 檢查項目:每 ft3 中Particle < 規定值
管內油份殘留測定
純水注入，封口，搖晃震盪，靜置蒸餾粹取殘留油脂，計算殘留量 檢查率 : 1% 標準值 : < 0.1 mg/ft2
化学品系统培训资料
将原液混合稀释的机台，稀释后输送至储罐储存。 – 储罐 Storage Tank、Supply Tank – 阀箱 VMB/T-BOX/FT-BOX – 主管路 Main Piping – 公用管路 Utility Piping (DI, Drain, CDA, N2,Exhaust) – 化学品监控系统 CMS（chemical monitor system）
主管道
TEE-BOX
主管道
主管道
END-BOX
预留扩 充阀
LEAK SENSOR
连接至 VMB
LEAK SENSOR
连接至 VMB
一、化学品系统基础知识
主管道
2.5 VMB
用途:主管道连接至VMB后，通过支
路阀门分别连接至对应生产机台。
材质:根据供应化学品的性质分为
酸碱类:外壳PP,内部阀件管路PFA
PTFE板材
PTFE法兰垫片
管配件内衬PTFE
不锈钢储罐内衬PTFE G8.6 HNO3、ITO-Rework腐蚀性 较高的药液采用NEW-PEFE内衬
PTFE阀门
PTFE接头
一、化学品系统基础知识
化学品系统常用材料
3.3 不锈钢材质 AP&BA&EP内表面对比
AP 酸洗钝化，不会降低内表面粗糙 度，但可以去除残存的颗粒，内表面 粗糙度不得＞12μM
BA 光辉回火 改善结构，降低内表 面粗糙度，内表粗糙度＜0.3μM （ 放大200倍照片）
EP 电解抛光 氧化铬封闭保护，更 平滑、抗蚀性高、 粗糙度小于 0.1μM（放大500倍照片）
中央化学品系统中供应有机溶剂介质的高纯、洁净管道系统一般都采用SUS316L BA、EP材质,有机废液管 道采用SUS304材质。G8.6 Stripper、NMP、N321、N403采用BA材质，EBR采用EP材质（产线对EBR药液颗粒 度要求更高）
主管道
TEE-BOX
主管道
主管道
END-BOX
预留扩 充阀
LEAK SENSOR
连接至 VMB
LEAK SENSOR
连接至 VMB
一、化学品系统基础知识
主管道
2.5 VMB
用途:主管道连接至VMB后，通过支
路阀门分别连接至对应生产机台。
材质:根据供应化学品的性质分为
酸碱类:外壳PP,内部阀件管路PFA
PTFE板材
PTFE法兰垫片
管配件内衬PTFE
不锈钢储罐内衬PTFE G8.6 HNO3、ITO-Rework腐蚀性 较高的药液采用NEW-PEFE内衬
PTFE阀门
PTFE接头
一、化学品系统基础知识
化学品系统常用材料
3.3 不锈钢材质 AP&BA&EP内表面对比
AP 酸洗钝化，不会降低内表面粗糙 度，但可以去除残存的颗粒，内表面 粗糙度不得＞12μM
BA 光辉回火 改善结构，降低内表 面粗糙度，内表粗糙度＜0.3μM （ 放大200倍照片）
EP 电解抛光 氧化铬封闭保护，更 平滑、抗蚀性高、 粗糙度小于 0.1μM（放大500倍照片）
中央化学品系统中供应有机溶剂介质的高纯、洁净管道系统一般都采用SUS316L BA、EP材质,有机废液管 道采用SUS304材质。G8.6 Stripper、NMP、N321、N403采用BA材质，EBR采用EP材质（产线对EBR药液颗粒 度要求更高）
SUS管材介绍
SUS316L-EP SCH5S 、 無縫管 (KUZE、KOBE) (SUMIKIN) SUS316L-BA SCH5S 、 無縫管 (KUZE、KOBE) (SUMIKIN) SUS304L-AP SCH5S 、 無縫管 (KUZE、KOBE) (SUMIKIN)
PN2
管 (Pipe) 管 (Tube) 管 (Pipe)
0.1~2.0
2.0~10.0 10.0~80.0
4
12.5 40
Rmax之定义： 于粗度曲线取二平行直线，测定其量测范围间两平行直线之最大高度。 Rmax=Rp+Rv
Y
Rmax Rp
L
Rmax之量测长度
Rmax之范围 0.025~0.10 0.10~0.50 量测长度(mm) 0.4 1.25
0.50~10.0
表面粗度量测
检查率 : 10% 检查项目: Ra / Rmax < 规定值
白布试验
通管检查率 : 100% 检查项目: 通过管内白布不得脏污，或油脂残留
纯水阻抗测定
检查率 : 10% 检查项目: 管末端纯水阻值>17.5MΩ.cm
Particle残留测定
检查率 : 1% 检查项目:每ft3中Particle < 规定值
PAr PO2 PHe
Particle (≦0.1μm) Ra≦0.3μm (≦10 pcs/ft3) Rmax≦0.5μm 、 油份 (＜0.1mg/ft2) 、 Dew Point (＜-75oC) Ra≦0.5μm 、 Rmax≦4μm resistivity ＜0.5 MΩ.cm
GO2 GCO2
厚度 ±10% (mm)
1 1 1.24 1.65 1.65 1.65 1.65 1.65 1.65 1.65 2.1 2.1 2.1 2.8 3.4 4 4 4.5