中文版FM认证标准洁净室材料

FM DATA SHEET 7-7 半导体制造厂相关设备（update）※ 1.”Factory Mutual Research Approached”以下简称为”经FM核准”※ 2.”Listed”代表经登录之产品1.0范围本篇损害防阻数据包含一般半导体制造流程及其危害。

2.1结构2.1.1厂址选择2.1.1.1洁净室及相关附属设备(如subfab，电力设施，废弃物设施，化学品设施等)应避免下列暴露：a.避免来自洁净室区域内其它区域的暴露，在洁净室建筑的区域内应无其它用途之区域；b.天灾(包括暴风、地层事故、寒冷天气、冰雹、洪水等)；c.厂内或厂外的火源，包括邻近区域、外部建筑、闪电、大火等；d.由管线或设备造成的液体危害，如排水系统或液体输送系统；e.通风设备的进气入口附近是否有污染物。

2.1.1.2洁净室及及相关附属设备厂址的选择最好在具有高度的位置上，避免因涨潮或排水系统倒灌而造成地下层损失的可能。

2.1.2洁净室结构2.1.2.1洁净室应与其它邻近地区隔开，或者对于原本的危害威胁有一小时的抵抗时间(1-hour rated~)，但介于洁净室与邻近区域之间的airshower(入口处)除外(应为不可燃材质)；有窗户的走廊或墙亦应为不可燃材质；当邻近区域的危害大于原有区域的危害时，邻近区域应安排于另一独立建筑。

2.1.2.2洁净室内部隔间的材质应为不可燃材质，并能避免烟(smoke)及熏烟(fume)等污染物扩散，黄光区(photolithography)及邻近区域间、生产区之间、湿式蚀刻与邻近区域之间应由天花板到地板作完全区隔。

2.1.2.3装修楼地板及墙的材料应与洁净室一样，同为不可燃材质，或经FM核准或FM特殊测试合格，适用于洁净室的材质。

2.1.2.4设计洁净室与洁净室下层(subfab)的区隔楼板应为坚固的不可燃材料，其穿透处(penetration)应该以可耐火一小时经FM核准的防火填塞材料(fire stop materials)进行填塞。

•洁净室基础知识•洁净室设计原理•洁净室施工与验收目录•洁净室运行与维护管理•洁净室性能评价与改进•洁净室安全与环保要求•总结与展望洁净室定义与分类洁净室定义洁净室分类洁净室标准与规范洁净室标准洁净室规范洁净室应用领域气流组织类型介绍洁净室内常见的气流组织类型，如单向流、非单向流和混合流等。

气流分布方式阐述洁净室内气流分布的原则和方法，如送风口和回风口的设计、气流速度和流向的控制等。

气流组织评价介绍评价洁净室气流组织效果的指标和方法，如气流均匀度、涡流区、死角等。

气流组织与分布030201空气过滤原理阐述空气过滤的基本原理和过滤器的分类，包括机械过滤、静电过滤和吸附过滤等。

净化技术介绍洁净室内常用的空气净化技术，如高效过滤、活性炭吸附、紫外线消毒、臭氧消毒等。

过滤器选择与更换提供选择和更换空气过滤器的原则和方法，以及过滤器维护的注意事项。

过滤与净化技术压力控制与节能设计压力控制原理节能设计措施压力控制与节能关系应选用气密性好、不产尘、易清洁的材料，如彩钢板、不锈钢板等。

洁净室墙体材料地面材料天花板材料门窗材料应选用耐磨、防滑、耐腐蚀、易清洁的材料，如环氧自流平、PVC 地板等。

应选用不产尘、易清洁的材料，如铝扣板、矿棉板等。

应选用气密性好、不产尘、易清洁的材料，如铝合金门窗、塑钢门窗等。

施工材料选择与要求施工工艺流程与质量控制施工工艺流程质量控制验收标准与程序验收标准洁净室的验收标准主要包括室内空气质量、噪音、照度、温度、湿度等方面的指标。

具体标准可参考国家相关规范或行业标准。

验收程序包括施工单位自检、监理单位初验、建设单位终验等步骤。

在验收过程中，应对洁净室的各项指标进行全面检测，确保洁净室符合设计要求和使用要求。

同时，应建立完善的验收档案，记录验收过程中的各项数据和结果。

运行管理制度建立与执行建立洁净室运行管理制度01严格执行管理制度02定期检查与评估03设备维护与保养策略制定设备维护与保养计划严格执行维护与保养计划建立设备维护档案故障诊断与排除方法常见故障诊断与排除应急处理措施故障预防与改进措施性能评价指标体系建立空气质量指标温度湿度指标噪声振动指标照明指标数据采集、分析和处理方法数据采集数据分析数据处理持续改进策略制定和实施问题识别改进措施制定实施与跟踪安全防护措施及应急预案制定洁净室安全防护措施包括人员安全、设备安全、产品安全等方面的防护措施，如穿戴防护服、使用安全工具、定期维护设备等。

洁净室或洁净区性能测试和认证1 通则1.1 洁净室或洁净区应监测或定期进行性能测试，以认证该洁净室或洁净区始终符合《洁净厂房设计规范》（GB 50073—2013）的要求.1.2 洁净室或洁净区性能测试认证工作应由专门检测认证单位承担，并提交检测报告。

1.3 测试和认证工作之前，系统应达到稳定运行。

测试和检测仪表应在标定证书有效使用期内。

2 洁净室或洁净区性能测试要求2.1 洁净室或洁净区应进行下列三项测试：1空气洁净度测试。

生物洁净室应进行浮游菌、沉降菌测试。

2 静压差测试。

3 风速或风量测试。

2.2 洁净室或洁净区的三项测试应符合下列规定：1 空气洁净度测试应符合表2.2-1的规定表2.2-1 空气洁净度测试2 静压差、风速或风量测试应符合表2.2-2的规定。

表2.2-2 静压差、风速或风量测试2.3 当洁净室或洁净区已对粒子浓度、风速或风量、静压差执行连续监测，并且其测试值均符合本规范要求，则认证的的测试时间间隔可延长。

具体间隔时间可与认证单位洽商，并应符合下列规定：1 空气洁净度等级认证可进行静态或动态监测，应洽商确定。

2 风量测定采用风速计在风口或风管测定。

2.4 洁净室或洁净区洽商选择的测试要求应符合表2.4的规定。

表2.4 洁净室或洁净区洽商选择的测试3 洁净室主要测试方法3.1 风量或风速测试应符合下列规定：1 对于单向流洁净室，采用室截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量，测点位于高效过滤器出风面约150mm~300mm，垂直气流处的截面作为采样截面，截面上测点间距不宜大于0.6m，测点数不应少于4点，所有读数的算术平均值作为平均风速。

2 对于非单向流洁净室，采用风口或风管法确定送风量，可按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243规定的方法执行。

3.2 静压差的测定应符合下列规定：1静压差的测定应在洁净室（区）的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行，并应在所有的门关闭时检测。

FM认证介绍FM认证简介FM成立于1835年，是美国最严格的质量控制机构之一。

"经过170年的发展，其业务范围已涵盖保险，认证，消防，标准的研发和设计等诸多领域。

目前联合保险商协会在世界保险公司的排名为24位。

全球范围内有一定的消防产品生产企业以能够获得FM产品认证为荣，其也是一种质量的象征，在全球范围内一般只有获得FM认证的消防产品才能够投保有关的财产险或者火灾险，否则保险公司拒绝保险人投保。

（详细情况请参考：http:目前，美国等发达国家的建筑承包商在选择消防产品时，目标产品是否已经获得FM认证是他们选择消防产品第一个要考虑的问题。

FM全球公司通过其所属的“FM认可”（FM Approvals）机构向全球的工业及商业产品提供检测及认证服务。

“FM认可”证书在全球范围内被普遍承认，他向消费者表明该产品或服务已经通过美国和国际最高标准的检测。

FM认证需提交的资料FM认证需要提交以下资料：1.产品认证申请表；2.产品认证的型号和规格以及图片；3.认证产品的结构图；4.产品的用途或说明书；FM认证产品类别FM认证的产品领域：FM认证的产品主要是三个大领域：第一是建筑材料部门，包括屋顶系统。

FM和其它认证机构对建筑材料认证的不同在于FM对屋顶系统进行检测，不是屋顶系统的每个构件，而是对整个屋顶系统进行检测。

这样做在屋顶系统完成安装的情况下，来看它的性能表现是不是能够保护在建筑物中的资产。

还有保温板、墙板、屋顶板，FM都有相关的检测标准，洁净室建筑材料、冷却塔、管道隔热、电线电缆、泄爆建筑材料、防火门和门框，一系列的产品都是在建筑材料部门进行认证检测的，而且每个产品都应用的是FM对产品的认证检测标准。

第二是水系统和消防灭火部门，包括固定式灭火系统，像自动喷淋系统、阀门、管道连接件、消防泵、水喷雾系统、灭火器、防回流装置、易燃液体，都属于水系统部门进行认证的。

第三个FM认证部门就是定期部门，主要是在危险环境中使用的防爆电器，分成不同的场所、防爆等级不同，有不同的认证标准。

洁净室材料可燃性测试方案分类号 49102009 年 6 月©2009 FM Approvals LLC 版权所有目录1 引言 (1)1.1 目的 (1)1.2 范围 (1)1.3 关于要求的说明 (1)1.4 关于技术参数测试的说明 (1)1.5 关于保有列名的说明 (2)1.6 生效日期 (2)1.7 单位制 (2)1.8 参考文献 (2)1.9 定义 (3)2 一般说明 (3)2.1 产品信息 (3)2.2 技术参数测试应用要求 (4)2.3 检验样品要求 (4)3 性能要求 (5)3.1 测试判据 (5)3.2 校准 (5)3.3 材料的再次测试 (5)4 测试方案 (6)4.1 试样要求 (6)4.2 试样制备以及在火蔓延装置中的放置方法 (6)4.3 FPI 和 SDI 的测试条件和限制 (8)4.4 厚度小于 6 毫米（0.25 英寸）的试样以及 FPI 值范围不确定时的解决方法 (11)5 可燃性数据计算程序 (14)5.1 引燃测试数据计算 (14)5.2 火蔓延测试数据计算 (14)5.3 燃烧测试数据计算 (15)5.4 烟尘损害指数 (SDI) (15)5.5 经技术参数测试的产品所列材料的 FPI 和 SDI (15)6 操作要求 (16)6.1 已核实的质量控制程序 (16)6.2 工厂及程序审核 (F&PA) (17)6.3 安装检查 (17)6.4 制造商的责任 (17)6.5 制造和生产测试 (17)附录 A：度量单位 (18)1 引言1.1 目的1.1.1 本测试标准针对主要用于洁净室场所材料、但不仅限于半导体行业材料，规定了的 FMApprovals 测试要求和程序。

采用两个参数评估材料的火蔓延行为以及潜在的烟尘损害：火蔓延指数 (FPI) 和烟尘损害指数 (SDI)。

1.1.2 仅根据本标准的测试结果不能使产品获得认证，因为产品的最终用途将决定适用的认证标准要求，如果存在这些要求，为了获得认证，也必须达到这些要求。

洁净室空气洁净度的级别国家标准和有关规范Document number：NOCG-YUNOO-BUYTT-UU986-1986UT洁净室空气洁净度的级别——中国国家标准和有关规范SICOLAB整理！1、《空气洁净技术措施》我国于1979年3月由国家建委科教局批准实施的《空气洁净技术措施》，是我国正式公布的第1个洁净技术方面的文件，把洁净室的含尘浓度按每升环境空气中所含粒子数量，分为5个级别，即3级、30级、300级、3000级和30000级。

各级分别是每升空气中含粒径≥0·5μm的尘粒平均数不超过3粒、30粒、300粒、3000粒和30000粒。

该技术措施正式公布后，由于与实践中通常采用的“美国联邦标准209”在级别的表示方法上完全不同，使人们不习惯，所以未被真正实施和推广。

但我国一些版本的药剂学、工业药剂学、制药工程教材都采用了这一标准。

2、《洁净厂房设计规范》GBJ73-84这是中华人民共和国国家标准，这个标准参照美国联邦FS209标准，按每立方米（每升）空气中≥0·5μm微粒数的多少，将洁净度级别划分为4个等级，即100、1000、10000、100000级。

3、《药品生产质量管理规范》（GMP）1992年，卫生部制订的GMP和中国医药工业公司的GMP，是参照美国联邦标准FS209B和国家标准GBJ73-84，将洁净度划分为4个等级（100级、1万级、10万级、30万级），100、1万、10万级别的无生命微粒规定与GBJ73-84一致，另外还对有生命微粒的含量作了规定。

1998年，对GMP进行了修订，称为《药品生产质量管理规范》（GMP），附录中空气洁净度级别划分仍为4个等级。

这个规范作为医药行业生物洁净室的标准一直沿用到今天。

2007-04-18，我国组织修订1998年版的GMP，第三讨论稿正文已在网上发布。

现在，国家食品药品监督管理局药品安全监管司《关于对药品GMP专家修订稿进行评估论证的函》已在网上公布，广泛征求意见，讨论稿附录中将空气洁净度级别分为A、B、C、D4个等级。

某工程洁净室性能认证测试要领书洁净度测定的要领书本测试的目的是为了进行第３栋在指定区域内的洁净度是否在规定值以下的确认。

１．测定条件：空态（A条件）２．测定位置：(1)洁净度１０，０００、１００，０００的时候。

地板上ＦＬ＋１，２００ｍｍ的位置、原则上是在水平位置每200ｍ２取1点来测定。

（1点测３次取平均值）※参照测定要点平面图。

３．测定方法(1)灰尘计量器要采用取样气体吸入量多的仪器。

（测定对象的粒子直径是在0.5μm以上）1ft3/min在吸引不可能的情况下、按照1ft3/min来换算。

测定前、为了灰尘计量器的误差（干扰）的减少，所以灰尘计量器要进行３０ｍｉｎ程度的清扫。

清扫实施后如果还会有数个灰尘的存在的话，这个数值为背景干扰值。

(2)测定的次数为３次，然后取其平均值。

(3)测量器要采用散射式微粒子计量器。

４．判定标准单位：个／cf温度（均等性）测定（紊流式空调）要领书本测试的目的是指定区域内的室内温度是否控制在设计值的范围之内的测定・确认。

１．测定条件：Ａ条件２．测定位置(1)测定位置、应在室内的ＦＬ＋１２００ｍｍ的位置。

３．测定方法(4)实验开始之前自动控制的调整要完成、空调系统的运转要在２４小时以上。

(5)测定器是下列３种、根据温度控制的精度来区分使用。

各测量器的校正一定要进行确认相对误差。

ａ．多点温度测量记录装置。

温度规定是在±１℃未满的情况下分散的位置以及分散的时间测定时适用。

ｂ．阿斯曼通风式干湿球温度计等。

采用阿斯曼温湿度计校核现场温度探头。

ｃ．现场温湿度探头。

采用校核过的温湿度探头，将数据上传到中央监视器，打印连续的72h 监视结果进行核对。

(6)为了不受到热的外乱的影响、生产设备、动力设备、人、照明等不要近距离测定。

４．判断标准(1)要在设计资料、各个房间的空调式样书的记载范围内。

湿度测定（紊流式空调）要领书本实验用于控制厂房指定区域内的室内湿度是否在设计范围内而进行的测定・确认。