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第一部分：DIY制作投影仪原理目前DIY制作投影仪主要是采用拆除LCD的背光板，利用LCD面板来显示画面，并用教学投影机或者自制的光源发光，透过LCD面板，经过变焦和放大而形成投影画面。
其主要部件及投影原理见图。
根据LCD尺寸、选用配件及投影距离的不同，上述配件的距离也会有所不同。
DIY投影仪的优点主要是价格低廉，一方面其制作成本只相当于商品投影仪的零头，另一方面单位时间的使用成本也远低于商品投影仪，毕竟商品投影仪的灯泡就要几千元一个。
此外，DIY本身的乐趣也是很重要的，那种在朋友面前的满足感是购买商品投影仪所不能提供的。
缺点主要是体积较大（我的箱体尺寸大概是470mm×185mm）；噪声较商品投影仪略高（如果有条件我会放出实录的Video供大家参考）；自身不能调整亮度、对比度及梯形失真等功能。
第二部分：DIY投影仪需要的主要配件、功用及价格1、投影仪制作LCD部分：A、可拆背光的LCD显示屏、显示器，注意并非所有的LCD均可以自行拆除背光及进行改造。
B、驱动板，需与LCD配套，包括单VGA、3in1、4in1等几种。
所谓3in1、4in1，是指除了接电脑显卡的VGA接口外，还提供S-Video、AV、TV等接口的驱动板，可以分别直接连接DVD、VCD 或电视闭路线等输入设备。
另外由于布线的需要，通常都需要一根LCD与驱动板之间的延长线。
C、菲涅尔透镜：包括一模一样的前、后两块，主要作用是进行平行光、发散光的互转，其大小切割成与LCD面板一样2、手工制作投影仪光源部分：A、灯泡：我是采用的250W金卤灯泡，10000K色温，标称寿命是6000小时（不要和商用投影仪的灯泡寿命比，根本不是一种东西），价格是100多元。
B、镇流器及触发器：建议选择有足够功率的电感镇流器，以保证光源的稳定和亮度。
C、镀膜反光碗、聚焦镜D、灯座，用于固定金卤灯的。
以上部分用自制的灯室安装在一起。
3、聚焦镜头：可以选用定焦镜头，但是需要在做盒子时制作滑轨调整镜头与菲镜之间的距离；也可以选用变焦镜头，这样制作盒子的时候简单一些，可以通过旋转镜头而保证对焦清楚。
MEMS的主要工艺类型与流程（LIGA技术简介）目录〇、引言一、什么是MEMS技术1、MEMS的定义2、MEMS研究的历史3、MEMS技术的研究现状二、MEMS技术的主要工艺与流程1、体加工工艺2、硅表面微机械加工技术3、结合技术4、逐次加工三、LIGA技术、准LIGA技术、SLIGA技术1、LIGA技术是微细加工的一种新方法，它的典型工艺流程如上图所示。
2、与传统微细加工方法比，用LIGA技术进行超微细加工有如下特点：3、LIGA技术的应用与发展4、准LIGA技术5、多层光刻胶工艺在准LIGA工艺中的应用6、SLIGA技术四、MEMS技术的最新应用介绍五、参考文献六、课程心得〇、引言《微机电原理及制造工艺I》是一门自学课程，我们在王跃宗老师的指导下，以李德胜老师的书为主要参考，结合互联网和图书馆的资料，实践了自主学习一门课的过程。
本文是对一学期来所学内容的总结和报告。
由于我在课程中主讲LIGA技术一节，所以在报告中该部分内容将单列一章，以作详述。
一、什么是MEMS技术1、MEMS的概念MEMS即Micro-Electro-Mechanical System，它是以微电子、微机械及材料科学为基础，研究、设计、制造、具有特定功能的微型装置，包括微结构器件、微传感器、微执行器和微系统等。
一般认为，微电子机械系统通常指的是特征尺度大于1μm小于1nm，结合了电子和机械部件并用IC集成工艺加工的装置。
微机电系统是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿高技术，是未来的主导产业之一。
MEMS技术自八十年代末开始受到世界各国的广泛重视，主要技术途径有三种，一是以美国为代表的以集成电路加工技术为基础的硅基微加工技术；二是以德国为代表发展起来的利用X射线深度光刻、微电铸、微铸塑的LIGA( Lithograph galvanfomung und abformug)技术，；三是以日本为代表发展的精密加工技术，如微细电火花EDM、超声波加工。
南宁市兴工路(三期)工程人工顶管专项施工方案编制：复核：审批：南宁市兴工路（三期）工程项目经理2014 年9月目录第一章工程综合说明┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈ 1 工程概略┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈ 1顶管穿越地质种类┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈ 6天气特色┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈8地震参数┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈8沿线水文地质条件┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈8现场供水，供电及通信状况┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈8 第二章施工计划┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈9 编制原则┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈9施工整体部署┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈9施工总工期┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈10详尽施工进度计划┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈10主要施工工艺流程图┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈12劳动力使用计划┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈13主要资料根源，质量标准┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈14主要机械设备需用计划┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈15 第三章施工先期准备工作┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈17 组织准备┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈17施技术准备┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈17施工现场准备┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈17 第四章主要项目施工方法和技术举措┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈18 水泥搅拌桩工程┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈18单管高压旋喷桩┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈21双管高压旋喷桩┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈23分层劈裂注浆的施工工艺┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈24工作井和接收井┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈24顶管工程┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈25施工监测┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈30明挖管道施工┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈31检查井施工┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈33 第五章质量保证系统举措┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈35 质量目标、质量标准┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈35项目部质量保证组织机构图┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈36质量保证举措┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈38组织、管理举措┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈38技术控制举措┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈39资料及构件质量保证举措┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈39施工全过程质量保证举措┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈41 第六章安全生产保证举措┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈42 安全生产保证系统┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈45安全用电┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈45起重作业的安全┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈45有毒、有害气体损害防治举措和其余安全举措┈┈┈┈┈┈┈45空气压缩机带风镐挖土时的安全举措┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈45雨季作业安全举措┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈48 第七章安全生产应急方案┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈48 总则┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈48组织机构┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈48危险源┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈48常设生产安全事故应急营救队人员┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈49常备生产安全事故应急营救资源┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈49人员的培训和操练┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈50协调与应急调动┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈50事故应急办理程序┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈┈50 顶管施工剖面图53第一章工程综合说明1.1 工程概略拟建污水管工程是南宁市兴工路（三期）工程的一部分工程项目，、位于南宁市兴宁区三塘镇，主要包含兴工路三期及规划八路部分路段，工程范围起点兴工路三期承接兴工路二期已设计道路，工程终点规划八路段与上海市城市建设设计研究院的南宁市松柏路的工程规划八路段接顺。
新人DIY投影机成功经验分享（推荐）第一篇：新人DIY投影机成功经验分享（推荐）DIY投影机难度系数有多大？今天就由一位自制投影机成功的新人来分享自己的DIY心得。
如果你有兴趣，不妨也看看这位网友的成功经验。
这位网友采用的是三星10.6宽屏套件（1280x768，可以支持16:9/4:3切换），箱体为自己改造的12.1英寸宽屏的机箱。
下面先分享自制投影机的心得，建议新手要仔细读一读，应该会对你有帮助的。
建议的工作顺序：1、测试液晶屏（是否测试灯泡看你自己的心情）2、研究和确定总的结构（包括光路结构、电路结构、所有部件安装位置等）3、将所有需要电线的元件按需要焊接好电线4、安装固定驱动板5、安装透光镜、反光碗、灯泡和涡轮风扇6、固定连接所有电子元件（此时可以测试灯泡）7、安装反光镜、镜头8、拆液晶屏9、安装液晶屏和菲镜10、试投、调试下面先与大家分享一组测试图，使用傻瓜相机夜景模式拍的，不过幕布挂的略高，仰角拍摄，有些变形，为了大家浏览网页速度快，所有图片都缩小了尺寸。
实际影像宽度大约1.7米左右，4:3画面的实际宽度大约1.4米左右。
清晰度和质感比等离子电视强，屏幕当然也大得多，但亮度和对比度比电视差些。
另外观看的时候，我把对比度和亮度调高了，在某种程度上丧失了色调饱和度（与笔记本电脑画面比较能看出来）。
我认为画面质量还有提高的可能性，毕竟我测试用的笔记本电脑只支持1024x768分辨率，输出到液晶屏后被重新调整成1280x768(16:9)，肯定会影响清晰度。
强烈建议找一台支持1280x768分辨率的电脑。
综合来看，物超所值，暂时不买大屏幕平板电视喽。
第二篇：投影机材料光源种类：灯泡光源：UHP（超能灯），UHE灯，金属卤素灯UHP，理想冷光源，价格高，高档投影机UHE，冷光源，外形小巧，耗能少，但是产生的光亮大，寿命较长。
特征是衰减是即可熄灭金属卤素灯：液晶投影器，利用极间距通过电流所形成的电子书喝气体分子碰撞，激发产生光线。
第 38 卷第 7 期2023 年 7 月Vol.38 No.7Jul. 2023液晶与显示Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays超微型Micro-LED投影显示光学引擎设计黎垚1，江昊男1，周自平1，董金沛1，陈恩果1，2*，叶芸1，2，徐胜1，2，孙捷1，2，严群1，2，郭太良1，2（1.福州大学物理与信息工程学院平板显示技术国家地方联合工程实验室，福建福州 350108；2.中国福建光电信息科学与技术创新实验室（闽都创新实验室），福建福州 350108）摘要：随着微米级像素尺寸的微型自发光二极管（Micro-LED，μLED）的出现和发展，采用μLED作为光源和像源的超微型投影光学引擎成为了可能，其极大简化了传统投影显示光学引擎的结构。
本文提出了一种基于μLED的超微型投影光学引擎，基于现有3.302 mm（0.13 in）的μLED显示芯片设计了高像质的微型投影镜头。
针对μLED的光分布特性，优化μLED发散角度与微投影镜头的光瞳匹配，有效提升了μLED微投影光学系统的光能利用率。
结果表明，所设计的μLED微投影显示光学引擎体积仅有18.35 mm3，投影镜头中心视场的MTF值在截止频率处超过0.57。
该μLED微投影显示光学引擎较好地实现了系统体积与成像像质的均衡，未来在AR/VR等近眼显示设备上具有广泛的应用前景。
关键词：Micro-LED；近眼显示；微投影显示；光学设计；系统效率中图分类号：TN27；TN761 文献标识码：A doi：10.37188/CJLCD.2022-0216Optical design of super miniature Micro-LED projectionLI Yao1，JIANG Hao-nan1，ZHOU Zi-ping1，DONG Jin-pei1，CHEN En-guo1，2*，YE Yun1，2，XU Sheng1，2，SUN Jie1，2，YAN Qun1，2，GUO Tai-liang1，2（1.National & Local United Engineering Laboratory of Flat Panel Display Technology， College of Physics and Information Engineering， Fuzhou University， Fuzhou 350108， China；2.Fujian Science & Technology Innovation Laboratory for Optoelectronic Information of China（Mindu Innovation Laboratory）， Fuzhou 350108， China）Abstract：With the emergence and development of self-luminous micron-pixel-sized Micro-LED （Micro light-emitting diode， μLED）， using μLED as the light and image source have become possible for ultra-compact projection optical engines. It greatly simplifies the structure of traditional projection display optical engines. In 文章编号：1007-2780（2023）07-0910-09收稿日期：2022-11-07；修订日期：2022-12-27.基金项目：国家重点研发计划（No.2022YFB3603503）；国家自然科学基金（No.62175032）；漳州市科技重大项目（No.202110051）；闽都创新实验室自主部署项目（No.2020ZZ111）Supported by National Key Research and Development Program of China（No.2022YFB3603503）； NationalNatural Science Foundation of China （No.62175032）；Zhangzhou Key Science and Technology project（No.202110051）；Fujian Science & Technology Innovation Laboratory for Optoelectronic Information ofChina （No.2020ZZ111）*通信联系人，E-mail：ceg@第 7 期黎垚，等：超微型Micro-LED投影显示光学引擎设计this paper， a μLED-based super miniature projection optical engine is proposed， and a high image quality pico-projection lens is designed based on 3.302 mm（0.13 in） μLED display chip. The divergence angle of μLED display chip matched with the pupil of pico-projection lens is optimized according to the light distribution characteristics of μLED chip，which effectively improves the light efficiency of μLED based pico-projection optical system. The results show that the volume of the system is only 18.35 mm3， and the MTF value of the center field of view of the projection lens exceeds 0.57 at the cut-off frequency. The μLED based pico-projection display optical engine achieves a good trade-off between system volume and image quality， and has a wide application prospect in near-eye display devices such as AR/VR in the future.Key words： Micro-LED； near-eye display； pico-projection display； optical design； system efficiency1 引言投影显示技术是最早的电子信息显示技术之一［1］。
微型投影系统光路设计钱立勇;朱向冰;崔海田;王元航【摘要】为了改善传统的数字光处理投影系统(DLP)体积较大、结构复杂、成本较高、对光源的利用效率较低的问题,采用一种基于单颗三色发光二极管作为照明光源,单颗透镜形成平行光的新型DLP投影光路结构的方法,对传统光路进行了改进与优化.无需传统光路中的色轮,透镜直接实现了传统投影光路中聚光和匀光的复杂结构,并利用TRA-CEPRO软件进行建模,通过光线追迹对该投影光路进行了光学分析.结果表明,整个光学系统的体积控制在76.8mm×32.2mm×25mm,光能利用率达到了60.1％,光斑均匀性达到了96.6％,屏幕表面的光通量为21.7lm.该研究减小了投影光路体积,简化了光学结构,提高了光能利用率.【期刊名称】《激光技术》【年(卷),期】2018(042)003【总页数】5页(P385-389)【关键词】光学设计;投影仪;发光二极管;透镜【作者】钱立勇;朱向冰;崔海田;王元航【作者单位】安徽师范大学光电技术研究中心,芜湖241000;安徽省光电材料科学与技术重点实验室,芜湖241000;安徽师范大学光电技术研究中心,芜湖241000;安徽省光电材料科学与技术重点实验室,芜湖241000;安徽师范大学光电技术研究中心,芜湖241000;安徽省光电材料科学与技术重点实验室,芜湖241000;安徽师范大学光电技术研究中心,芜湖241000;安徽省光电材料科学与技术重点实验室,芜湖241000【正文语种】中文【中图分类】TN202引言微型投影技术是一种新型的现代投影显示技术，它凭借自身的小型化、便捷化而逐步渗入到人们的日常生活中，在当今飞速发展的信息化年代越来越受到人们的青睐，成为投影显示的一大发展潮流。
作为一种新兴固态光源，发光二极管(light-emitting diode,LED)具有体积小、寿命长、亮度高、色域广等特点[1-6]；结合数字光处理系统(digital light processing,DLP)投影具有高对比度、高分辨率的特点，实现小型化的便携式微型投影，满足人们对投影显示随身化的需求。
文章编号 2097-1842（2024）01-0089-11Micro LED 车灯投影光学系统设计与优化李香兰1,2，金 霞3，吕金光1，郑凯丰1 *，陈宇鹏1，赵百轩1，赵莹泽1，秦余欣1，王惟彪1，梁静秋1 *（1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033；2. 中国科学院大学, 北京 100049；3. 中国电子科技集团公司第四十六研究所, 天津 300220）摘要：本文提出了一种基于Micro LED 阵列的车灯投影方案，设计了以像素尺寸为80 μm×80 μm 的200×150白光Micro LED 阵列作为显示光源，视场角为16°×34°的车灯投影光学系统，并对物面倾斜角度和光学系统结构进行了优化。
此外，分别采用反向畸变处理方法和像素灰度调制方法用以解决车灯投影图像的梯形畸变和照度均匀性问题，并搭建了投影实验平台，对图像校正方法进行了验证。
实验结果表明：校正后图像梯形畸变系数p 1，p 2分别从0.093 2和0.368 0下降至0.083 5和0.037 3，像面照度均匀性从83.2%提高到93.2%。
本文通过对基于Micro LED 的倾斜投影车灯光学系统进行优化设计及采用图像校正方法，实现了高光效、低畸变的车灯投影。
关 键 词：车灯投影光学系统；光学设计；Micro LED ；照度均匀性；梯形畸变中图分类号：TP394.1;TH691.9 文献标志码：A doi ：10.37188/CO.2023-0063Design and optimization of Micro LED vehicle lightprojection optical systemLI Xiang-lan 1,2，JIN Xia 3，LV Jin-guang 1，ZHENG Kai-feng 1 *，CHEN Yu-peng 1，ZHAO Bai-xuan 1，ZHAO Ying-ze 1，QIN Yu-xin 1，WANG Wei-biao 1，LIANG Jing-qiu 1 *（1. Changchun Institute of Optics , Fine Mechanics and Physics , Chinese Academy ofSciences , Changchun 130033, China ；2. University of Chinese Academy of Sciences , Beijing 100049, China ；3. The 46th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation , Tianjin 300220, China ）* Corresponding author ，E-mail : *********************.cn ; ****************.cnAbstract : This article presents a vehicle headlight projection scheme based on Micro LED arrays. A 200×150 white Micro LED array with pixel size of 80 μm×80 μm is designed as the display light source, and a headlight projection optical system with a field of view of 16°×34° is designed. The object plane tilt angle and optical system structure are optimized. In addition, the inverse distortion processing method and pixel grayscale modulation method are used to solve the trapezoidal distortion and uniformity of illumination of the headlight projection image. A projection experimental platform is built to verify the image correction收稿日期：2023-04-11；修订日期：2023-05-04基金项目：国家重点研发计划（No. 2022YFB3604702）；吉林省科技发展计划（No. 20200401056GX ）Supported by National Key Research and Development Program (No. 2022YFB3604702); Jilin Province Sci-ence and Technology Development Plan (No. 20200401056GX)第 17 卷 第 1 期中国光学（中英文）Vol. 17 No. 12024年1月Chinese OpticsJan. 2024method. Experimental results show that after correction, the image trapezoidal distortion coefficients p1 and p2 decrease from 0.093 2 and 0.368 0 to 0.0835 and 0.0373, respectively, and the image plane illumination uniformity increases from 83.2% to 93.2%. This article achieves high light efficiency and low distortion of vehicle headlight projection by optimizing the design of the inclined projection headlight optical system based on Micro LEDs and using image correction methods.Key words: headlight projection optical system；optical design；Micro LED；illumination uniformity；trapezoidal distortion1 引 言随着自动驾驶、智能网联等技术的兴起，汽车产品不断向“信息化、智能化、安全化”发展。
MEMS加工技术及其工艺设备————————————————————————————————作者：————————————————————————————————日期：MEMS加工技术及其工艺设备童志义ＭＥＭＳ是微电子技术与机械，光学领域结合而产生的，是２０世纪９０年代初兴起的新技术，是微电子技术应用的又一次革命性实验。
ＭＥＭＳ很有希望在许多工业领域，包括信息和通讯技术，汽车，测量工具，生物医学，电子等方面成为关键器件，把在Ｓｉ衬底上的ＭＥＭＳ与ＩＣ集成在一起，还可以产生许多新的功能。
但是制造ＭＥＭＳ的加工技术主要有三种，第一种是以美国为代表的利用化学腐蚀或集成电路工艺技术对硅材料进行加工，形成硅基ＭＥＭＳ器件；第二种是以日本为代表的利用传统机械加工手段，即利用大机器制造出小机器，再利用小机器制造出微机器的方法；第三种是以德国为代表的ＬＩＧＡ（德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ－光刻，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ－电铸的Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ－塑铸三个词的缩写）技术，它是利用Ｘ射线光刻技术，通过电铸成型和铸塑形成深层微结构的方法。
其中硅加工技术与传统的ＩＣ工艺兼容，可以实现微机械和微电子的系统集成，而且该方法适合于批量生产，已经成为目前ＭＥＭＳ的主流技术。
随着电子，机械产品微小化的发展趋势，未来１０年，微机械代半导体产业成为主流产业，为此，日本，美国一些著名企业均开始加强其ＭＥＭＳ组件／模块制造能力。
当前，微机械与ＭＥＭＳ产业已被日本政府列入未来１０年保持日本竞争力的产业，虽然目前ＭＥＭＳ组件／模块市场主要集中在一些特殊应用领域，但未来的５～１０年内，ＭＥＭＳ组件／模块市场规模将扩大到目前的３倍，ＭＥＭＳ相关系统市场将增长１０倍（见表１），因此，掌握组件／模块技术将有利于未来在ＭＥＭＳ市场取得主动权。
微系统的增长包括微电子机械和最近对半导体产业设备和工艺开发具有重大影响的纳米技术。
光学式电子束直写光刻与湿法蚀刻硅工艺的结合，促进了早期的ＭＥＭＳ技术的发展。
