生产车间防静电技术要求
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生产车间防静电技术要求
文件发行及更改记录表
1范围
本标准规定了本公司生产车间静电防护的技术要求；
本标准适用于本公司产品生产、物料存放、试验现场的防静电控制。
2术语
2.1
2.2
2.3
2.4
埋于地下与大地保持良好的电气连接的金属体或金属体组。
他可以是杆状的、板状的或网状的，为接地系统提供接大地的基准点。
2.5静电耗散材料（dissipative materials）
其表面电阻率等于或大于1×105Ω，但小于1×1012Ω；或体积电阻率等于或大于1×
104Ω?cm，但小于1×1011Ω的材料。
3 一般要求
3.1防静电标记符号
在防静电工作区应在明显的位置贴静电防护标志，如图3-1
3.2
3.3
3.4
4
4.1
4.1.2湿度
EPA内应装有湿度调节装置，以维持室内相对湿度在30~70%RH范围内。
采用准确度优于±2%的湿度计测量EPA内的湿度，并在每日的同一时间进行测量并记录。
记录表见附表1
4.1.3洁净度
保持生产现场干净、整洁。
4.1.4静电消除器
在对静电敏感元器件或组装件操作的工作台上，应装设静电消除器（离子风机等），以
4.2
防静电接地分系统最好与电源地等其它分系统各自独立；防静电工具、装置等的接地端子允许使用易于拆卸的各种夹式连接器，如鳄鱼夹、插针等，但应确保电气连接可靠。
接地主干线截面积应不小于100mm2；支干线截面积应不小于6mm2；设备和工作台的接地线应采用截面积不小于1.25mm2的多股敷塑导线，接地线颜色应和操作现场其它电源线等的颜色有较大区别。
4.3各种器材、用具的静电性能
4.3.1 测量仪器
EPA相关设施安装完成后应定期对其进行检测，并记录检测结果（检测记录表见附表2），接地系统的测量仪器的量程应为0~1011Ω，测量电极为圆柱形，直径50mm，重量2kg。
仪器的输入和输出线与两电极通过鳄鱼夹、连接器等便于拆卸的方式连接，测量时施以500V 电压。
4.3.2 ESD防护工作台面
除非制造工艺要求要使用导（静）电工作台面，EPA内的工作台面应使用静电耗散材料制成并接地良好。
ESD防护工作台面的对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。
对地电阻测量时，将测量仪器的一端接到工作台与地线的连接线上，另一个电极测量五个点取平均值（如图4-2）。
表面（点对点）电阻测量时，两测试电极相距0.9m，测量五组数据取平均值，测量时一电极不动，另一电极以0.9m的半径绕固定的电极旋转移动（如图4-3）
4.3.3 ESD防护地面
除非制造工艺要求需要使用导（静）电地面，EPA内应采用静电耗散地板、地垫或喷涂防静电漆，并良好接地，其对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。
对地电阻测量时，仪器一个电极接防静电接地分系统，另一电极放置在防静电地面上，取房间不同位置测量并取平均值（如图4-4）；表面（点对点）电阻测量时，一个电极固定，另一个电极以
b．腕带内表面对电缆扣电阻（点对点电阻）
将两测试点击分别接触腕带内表面和电缆扣与测试仪连接测量（如图4-7）。
c．腕带接地电缆两端电阻（点对点电阻）
用测试电极连接电缆两端测试（如图4-8）。
4.3.5 物品存放架、内部物流车
应能通过支脚或轮子接地，它与工件接触的表面应由静电耗散材料制作。
对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。
对地电阻测量如图4-9；表面（点对点）电阻的测量如图4-10。
电烙铁应进行硬接地，电烙铁头值接地系统的电阻应不大于2Ω。
4.3.9 其它
EPA内的防静电工作椅、防静电工作鞋等性能要符合相关标准的规定。
4.4 EPA维护与检查要求
对EPA的各项技术要求，必须经常性地进行检查、监测，以维持各项性能符合标准规定。
检查的频次如表2所列。
