双参考面FTP法测量弹痕轮廓

第二十六章傅科刀口检验或阴影检验 M.布朗检验光学零件的许多方法中没有一种方法能够满足所有的要求，每一种方法总有它的局限性。

虽然傅科刀口检验是检验反射镜前表面的第一种实验室方法，但一直只局限于科研方面的使用，直到近今年业余望远镜制造者才广泛地应用它。

1856年，傅科发表傅科刀口检验后，刻勒克斯（ctarks）、布雷歇尔（Brusktr）、菲佐（Fity）及其他在美国的科学家真真使用了刀口检验法。

其他著名欧洲光学家，如法国的夫琅和费和卡乔克司（Cauchoix）及英国的塔利（Tutty）在1856的刀口检验法发表以前就制造了大孔径消色差折射望远镜。

但是他们所用的方法为了保密而失传了，人们一直认为他们是采用目镜离焦的夏普（Sharn）法，一组消球差物镜形成的圆的等直径和等强度的星点象。

很少有人了解牛顿（1668）和其他人制造的第一台反射式望远镜的经过和他们所用的不同于在夜间用反射镜形成星点象的检验方法。

赫歇尔（Herschet） (1738 – 1822)巧妙地制造了一块中等焦比（F/10 – F/20）的反射镜。

只要把参考球面轻度非球面化就可以获得焦比为F/10、孔径48in 的反射镜。

他卖出的望远镜大多数具有较小的孔径（6 – 14 in）与焦比大于F/10的球面反射镜，而且可以满足最严格的要求。

牛顿使用上述方法一直到1856年傅科发明用肉眼就可以直接观察到阴影效应的刀口检验为止。

傅科法是在球面镜的曲率中心处在光轴的一侧放一个人造星点，由于反射作用在球面反射镜曲率中心光轴的另一侧形成人造星点的反射象。

在曲率中心附近找到反射象以后，可以用刀口来切割成象光束，用另一只肉眼也能观察到一块不规则表面的阴影效应。

在一般情况下，刀口的灵敏度为（0.1 – 1）×10 – 7in，而且不受尺寸限制，均可以满足高灵敏度的要求。

如果不用刀口检验，就不可能制造出现代的大多数大口径望远镜。

显然对大型光学镜面而言，刀口检验是必不可少的，但是对小型光学元件而言，它的应用还有局限性，因为要有相当丰富的经验来判读刀口检验所观察到的不均匀阴影。

MUT600数字式超声波探伤仪使用说明书目录序言 (4)1简介 (5)1.1 功能特点 (5)1.2 主要技术参数 (6)1.3 仪器整机 (7)1.4 仪器主机 (7)1.5 显示界面 (8)1.6 按键与旋轮 (8)1.7 指示灯 (9)2仪器操作 (10)2.1 供电电源 (10)2.2 电池充电 (10)2.3 连接探头 (12)2.4仪器开、关机 (12)2.5按键、旋轮操作模式 (12)2.6 参数调节方法 (13)2.7检测范围调节 (13)2.8声速调节 (14)2.9显示平移 (14)2.10增益调节 (15)2.11闸门调节 (16)2.12探头阻尼 (18)2.13脉冲幅度 (18)2.14脉冲宽度 (18)2.15重复频率 (18)2.16探头类型 (18)2.17检波方式 (18)2.18信号抑制 (19)2.19探头频率和晶片尺寸 (19)2.20探头前沿 (20)2.21零偏调节 (20)2.22探头K值（探头角度） (20)2.23自动波高 (21)2.24坐标网格 (21)2.25单位制 (21)2.26声程标度 (21)2.27波形填充 (21)2.28屏幕亮度 (21)2.29颜色方案 (22)2.30回波颜色 (22)2.31菜单颜色 (22)2.32按键声音 (22)2.33系统日期时间设置 (22)2.34系统信息 (22)2.35恢复出厂设置 (22)2.36数据通讯 (22)3 探伤辅助功能应用 (24)3.1闸门报警的应用 (24)3.2闸门内展宽 (24)3.3波形冻结 (24)3.4曲面修正功能 (24)3.5 Ф值计算功能 (25)3.6纵向裂纹高度测量 (25)3.7 探伤标准 (26)3.8 焊缝图示 (26)3.9 回波编码 (28)3.10回波包络 (28)3.11波峰记忆 (28)3.12 B扫描功能 (29)3.13存储功能 (29)4仪器调校及探伤举例 (30)4.1斜探头校准 (30)4.2 制作DAC曲线 (33)4.3斜探头焊缝探伤应用 (37)4.4直探头校准（单探头） (38)4.5直探头钢板探伤应用 (39)4.6直探头校准（双晶探头） (40)4.7直探头AVG曲线 (41)4.8 直探头锻件探伤应用 (43)5仪器的保养与维修 (44)5.1仪器的日常维护 (44)5.2仪器故障及处理方法 (44)附录 (45)附录1通用探伤报表 (46)附录2 常见问题解答 (47)附录3 超声波探伤仪计量检定说明 (48)附录4 菜单快速索引 (49)附录5 仪器操作流程图 (50)用户须知 (51)序言感谢您使用MUT600B超声波探伤仪产品，您能成为我们的用户，是我们莫大的荣幸。

超精密加工技术——试论述AFM，接触式粗糙度测量仪及白光干涉仪对表面粗糙度的测试原理及应用范围1.1 AFM对表面粗糙度的测试原理AFM 是一种类似于STM 的微观技术，它的许多元件和STM是共同的，如用于三维扫描的电压陶瓷系统以及反馈控制器等。

它和STM 最大的不同是用一個对微弱作用力极其敏感的微观臂针尖代替了STM隧道针尖，并以探测原子间的微小作用力(Vander Walls’ Force)代替了STM 的微小穿透电流。

因为这样所以AFM 不在像STM 局限于样品必须为导体才行，AFM 适用于导体和非导体，它的应用范围比STM 广泛的多，因此AFM为目前最被广泛应用在工业界的扫描探针式显微术。

但值得注意的是AFM 的解析度并沒有STM 来的的好！AFM的探针,一般是利用半导体工业的平面制程方法一体成行的。

为了使探针有原子级的解析度，探针乃呈角锥形，使顶端只具有一颗或数颗稳定原子；为使探针具高灵敏的原子力感应度，角锥形探针底部乃连接与一杠杆的前缘，此杠杆弯曲程度将反映出原子力的大小。

为测量弯曲度的大小，常用的方法是打一雷射光与悬臂上，而反射回來的雷射光則利用一能区分光点位置的感光二极体来接收，如此便能得到悬臂受原子力弯曲的程度，进而得到原子力图像。

(AFM工艺由美国与萨诸塞州Dynetics公司开发的Dynaflow磨料流加工工艺(AFM)是一种强迫含磨料的介质在工件表面或孔中往复运动的金属精加工工艺, 它具有广泛的应用前景。

AFM当最先出现时, 它主要用于清除金属件中难于到达的内通道及相交部位的毛刺。

它特别适用于加工难加工合金材料制成的结构复杂的航空元件。

近年来, 它已被用于精加工流体动力元件中表面粗糙度要求达0.127µm的不能接近的内表面。

AFM的基本原理：介质速度最大时, 磨光的能力也最大。

这里, 夹具的结构起着重要作用, 它决定着介质速度在何处最大。

夹具用于使工件定位和建立介质流动轨迹, 是精加工所选择部位而不触及相邻部位的关键所在。

Classified Index: TP391.4U.D.C: 004.9Dissertation for the Master Degree in EngineeringBALLISTICS IDENTIFICATION OF THE CARTRIDGE CASES SIGNATURES BASED ON CMC METHOD(Academic)Candidate：Chen ZheSupervisor：Prof. Zhao XuezengAcademic Degree Applied for：Master of Engineering Specialty：Mechatronics Engineering Affiliation：School of Mechatronics Engineering Date of Defence：July, 2015Degree-Conferring-Institution：Harbin Institute of Technology哈尔滨工业大学工学硕士学位论文摘要在枪击案件中，主要的物证是发射后的弹头及弹壳。

在子弹发射及抛壳过程中，相关的枪械机件会与弹头及弹壳发生刚性接触，并在后者表面留下特殊的三维形貌，被称为“弹道痕迹”。

这些痕迹与人类指纹类似，每支枪在子弹上留下的弹道痕迹都蕴含其独有的特征。

办案人员可以通过分析弹道痕迹将子弹与嫌疑枪支联系起来，从而为枪击案件提供重要的线索和证据。

在实际鉴别中，弹头由于实际发射时的碰撞，整体变形以及磨损等种种情况，其上痕迹较不稳定；而弹壳上的痕迹往往可以较为完整地保存下来。

而目前枪弹识别技术对弹壳的识别尚存在一些不足之处，如无法排除坏区，无法给出定量结论等。

因此，本文基于一致匹配单元（CMC）理论对子弹弹壳痕迹自动识别方法进行研究。

阐述了弹壳痕迹的产生机制，结合弹痕鉴别中类特征以及个体特征的特点对弹壳痕迹特征进行分析，选定底火痕迹为研究对象。

食品包装塑料薄膜技术标准制定确保包装材料到货质量，重要是有一个材料到货质量检测标准指标。

1.外观与尺寸外观塑料薄膜的外观主要包括薄膜清洁度、平整度和色相等。

清洁度是指薄膜中不应有杂质、异点、油污等；平整度是指膜卷外表应平整光洁，无皱折，无暴筋、凹坑，膜卷端面齐整等；色相是指薄膜无色差，色泽均匀。

外观的检测通常是采用肉眼目测法在自然光线或日光灯下进行观测。

尺寸尺寸主要是指塑料薄膜的厚度，其次是薄膜的宽度和长度。

塑料薄膜厚度可按照CB/T6672-2001?塑料薄膜和薄片厚度测定-机械测量法?检测，试验室常采用立式光学仪或其它高精度接触式测厚仪进行薄膜厚度离线测量，其测量精度为微米。

对于薄膜生产线上的薄膜，由于生产线是高速、连续化生产，一般采用β-射线、近红外线等测厚仪进行非接触式测量。

此类测厚仪不仅测量精度高，响应速度快，而且还能自动进行厚度反响，不断修正厚度的偏差，使薄膜的厚度到达最正确状态。

2.物理性能包装用塑料薄膜的物理性能包括物理机械性能、光学性能、热性能、阻隔性能等。

物理机械性能拉伸强度：这是塑料薄膜最重要的力学性能，它表示在单位面积的截面上所能承受的拉力。

在塑料薄膜中，聚酯薄膜〔BOPET〕的拉伸强度最高，一般可达200Mpa以上，是聚乙烯〔PE〕薄膜的9倍。

断裂伸长率：表示一定长度薄膜的单位截面承受最大拉力发生断裂时的长度减去薄膜原来长度与原来长度之比。

断裂伸长率表示薄膜的韧性。

BOPET 薄膜的断裂伸长率在100%左右。

弹性模量：是一个重要的力学性能指标。

在弹性范围内纵向应力与纵向应变之比叫做弹性模量，也称杨氏模量。

BOPET薄膜的弹性模量在4000 MPa以上。

塑料薄膜的拉伸强度和断裂伸长率的测试方法按照GB/T13022-91?塑料薄膜拉伸性能试验方法?进行。

试样采用长150mm，宽〔〕mm的长条形，夹具间距离为100mm，拉伸速度〔100±10〕mm/min，分别测试纵向、横向试样各5条。

表面波探伤法对于近表面缺陷的检查，表面波十分有效。

正如理论论述的那样，由于表面波的能量集中于表面下2个波长之内，检查表面裂纹灵敏度极高。

表面波的位置分布可分解为与表面垂直和平行两个方向的振动，即纵波与横波所组成的椭圆形振动。

表面下2个波长深度范围之内集中总能量的99%（40dB）。

表面波的声速约为纵波的1/2，比横波稍小（见表1）。

1、表面波的产生表面波产生方法有着原理不同的两种方法。

即Y切割石英晶体和透声楔方法。

常用的表面波探头采用与斜探头相似的楔块，当横波折射角为90°时，即产生表面波（见图1）。

2、表面波在表面的传播规律2.1、在平面上的传播2.1.1、油的影响若在反射波传播的表面上涂上油，那么所传播的波几乎完全衰减。

用手压也一样。

这是因为理论上在试件的一侧为真空下求解，而有液体处理方法截然不同。

另一种观点可以理解为表面波的垂直分量在液体层中引起衰减所致。

用手按传播表面可以判断表面是否是裂纹或棱边的反射。

同时也说明，探伤中探头前面不得有油污的重要性。

2.1.2、表面波的反射表面波遇到表面或近表面缺陷会产生反射。

作为缺陷，有裂纹或体积状缺陷（气孔、夹渣）。

表面波重点检查裂纹。

这里不讨论体积型缺陷。

(1)槽矩形槽的反射（裂纹）与裂纹相似的人工伤，一般刻矩形槽缺陷。

（见图2）。

刻槽深度与回波高度关系绘于图3中。

（2）棱边反射如表面波传播中遇到工件的棱边会产生反射波，也有一部能量超过棱边继续传播（见图4）。

表面波在棱边上的反射理论上无法解释，但实验却十分简单。

棱边为直角时，反射率最高。

（3）带曲率的棱边反射如果棱边倒角，其曲率半径为r，反射回波降低。

图5画出反射率与曲率半径的关系。

从图中可以看出直角边（r=0）反射率52%；r=5时，反射率约为6%。

即可以有更多能量通过圆弧面。

在A、D棱边反射信号中间，有时会出现其他回波信号B、C。

这可能是入射波与回波干涉的结果。

改变探伤频率，结果会不同。

第4章 典型工件的射线照相检验技术本章将运用第三章给出的技术讨论一些有代表性的工件的射线照相检验技术。

4.1 铸件射线照相检验技术4.1.1 铸件射线照相检验常用技术铸件射线照相检验时，经常遇到的主要问题之一是处理变截面工件透照技术。

也就是，在一次透照区中将包含不同的透照厚度。

这种情况，一般称为变截面工件射线照相检验技术。

处理这种问题的常用技术主要是：双（多）胶片技术、适当提高透照电压（X 射线）、补偿方法等。

当然，厚度的变化范围必须限制在适当的范围之内。

1．双胶片技术双胶片技术是在同一暗盒中放置两张感光度不同或感光度相同的胶片同时透照的技术。

当采用两张感光度不同的胶片时，感光度较高的胶片应适于工件厚度较大部分的透照，感光度较低的胶片应适于工件厚度较小部分的透照。

当采用两张感光度相同的胶片时，单张胶片观察时评定厚度小的区域，两张胶片叠加观察时评定厚度大的区域。

如果工件截面厚度变化不是太大，特别是主要由两个厚度组成时，则可以采用双胶片技术进行透照。

对采用两张感光度不同胶片的双胶片技术，应解决的问题是选用胶片。

简单地说，选用方法是利用曝光曲线和胶片的感光特性曲线。

从曝光曲线确定应使用的一种胶片和对应的厚度，并从曝光曲线确定两厚度的曝光量比，利用此比和胶片感光特性曲线确定应使用的另一种胶片。

选取方法可参照图4-1进行。

对采用两张感光度相同胶片的双胶片技术，应注意的是底片的黑度。

在目前的多数标准中，均限定双片迭加观察区的黑度，该区单片的黑度不能低于标准规定的下限值。

不同标准限定值可能不同，主要的下限限定值有：ASTM E1742—00：D ≥1.0；EN 444:1994：D ≥1.3；ISO 5579:1998：D ≥1.3；GJB 1187A —2001：D ≥1.2.2．适当提高透照电压技术对截面厚度变化比较小，特别是截面厚度是连续变化时，可采用适当提高透照电压技术进行透照。

从曝光曲线可以看出，不同透照电压的曝光曲线其厚度宽容度不同。

无损检测超声波探伤仪的分类、工作原理及操作使用无损检测包括射线检测（RT）、超声检测（UT）、磁粉检测（MT）、渗透检测（PT）和涡流检测（ET）等五种检测方法。

主要应用于金属材料制造的机械、器件等的原材料、零部件和焊缝，也可用于玻璃等其它制品。

射线检测适用于碳素钢、低合金钢、铝及铝合金、钛及钛合金材料制机械、器件等的焊缝及钢管对接环缝。

射线对人体不利，应尽量避免射线的直接照射和散射线的影响。

超声检测系指用A型脉冲反射超声波探伤仪检测缺陷，适用于金属制品原材料、零部件和焊缝的超声检测以及超声测厚。

磁粉检测适用于铁磁性材料制品及其零部件表面、近表面缺陷的检测，包括干磁粉、湿磁粉、荧光和非荧光磁粉检测方法。

渗透检测适用于金属制品及其零部件表面开口缺陷的检测，包括荧光和着色渗透检测。

涡流检测适用于管材检测，如圆形无缝钢管及焊接钢管、铝及铝合金拉薄壁管等。

磁粉、渗透和涡流统称为表面检测。

超声波探伤的物理基础第一节基本知识超声波是一种机械波，机械振动与波动是超声波探伤的物理基础。

物体沿着直线或曲线在某一平衡位置附近作往复周期性的运动，称为机械振动。

振动的传播过程，称为波动。

波动分为机械波和电磁波两大类。

机械波是机械振动在弹性介质中的传播过程。

超声波就是一种机械波。

机械波主要参数有波长、频率和波速。

波长λ：同一波线上相邻两振动相位相同的质点间的距离称为波长，波源或介质中任意一质点完成一次全振动，波正好前进一个波长的距离，常用单位为米(m)；频率f：波动过程中，任一给定点在1秒钟内所通过的完整波的个数称为频率，常用单位为赫兹(Hz)；波速C：波动中，波在单位时间内所传播的距离称为波速，常用单位为米/秒（m/s）。

由上述定义可得：C=λ f ，即波长与波速成正比，与频率成反比；当频率一定时，波速愈大，波长就愈长；当波速一定时，频率愈低，波长就愈长。

次声波、声波和超声波都是在弹性介质中传播的机械波，在同一介质中的传播速度相同。

面轮廓度扫描法检具设计摘要：针对汽车ABS系统安装支架的结构特点，分析了被测要素的检测方法，介绍了面轮廓度扫描法检具的结构及设计。

对于同等精度要求的批量零件的检测，该检具检测方法简单实用，在保证检测精度的同时可有效的提高检测效率。

关键词：ABS系统，支架，面轮廓度，扫描法，检具Design of measuring tool for surface profilescanning methodAbstract: according to the structural characteristics of the mounting bracket of automobile ABS system, this paper analyzes the detection method of the tested elements, and introduces the structure and design of the surface profile scanning method. For the same precision requirements of the detection of batch parts, the detection method is simple and practical, which can effectively improve the detection efficiency while ensuring the detection accuracy.Key words: ABS system, bracket, surface profile, scanning method, inspection tool1、引言支架是某型号汽车上ABS系统的一个安装支架，该支架结构形状复杂，空间的折弯变化较大，零件的被测要素如图1所示，图1中画剖面线的A、B、C、D四个被测要素相对于基准X、Y、Z的面轮廓度和位置度，其中X基准为平面，Y和Z基准分别是在X基准面上相距理论尺寸为69.8mm的两个孔。

表面轮廓测量表面轮廓测量是指对物体表面形状、大小、位置、姿态等特征进行量测、分析和判断的一种技术。

该技术可用于工业制品、工件、零件等物体的测量，以及医疗、精密制造、3D打印等领域的生产和研发。

表面轮廓测量的原理表面轮廓测量是通过光学、机械、电子等方法来获取物体表面形状信息。

常见的表面轮廓测量方法有接触式测量和非接触式测量两种。

接触式测量接触式测量是指测量工具直接与被测物体接触，通过测量工具受力变化的方式来判断被测物体表面形状的一种测量方法。

常见的接触式测量设备有测高仪、表面粗糙度仪、硬度计等。

非接触式测量非接触式测量是指通过光学、机械、电子等方式对物体表面进行距离、形状等参数量测的一种测量方法。

相较于接触式测量，非接触式测量具有测量范围广、测量速度快、不会产生表面损伤等优点。

常见的非接触式测量设备有光学投影仪、激光扫描仪、相机测量仪等。

表面轮廓测量的应用表面轮廓测量广泛应用于各种领域。

下面列举一些常见的应用场景。

工业制品制造在工业制品制造过程中，表面轮廓测量可用于测量产品的各种尺寸、形状、位置等参数，保障产品的质量和精度。

在工件加工过程中，表面轮廓测量可以对加工精度进行评估和调整，并提高产品的生产效率。

3D打印在3D打印领域，表面轮廓测量可以对3D打印后的产品进行验证和优化。

通过测量产品的尺寸、形状、位置等参数，确定打印精度和可行性，并对打印参数进行优化和改进，以提高3D打印的效率和质量。

医疗和生物工程在医疗和生物工程领域，表面轮廓测量可用于测量组织、器官和细胞的形状、大小等参数，并分析其表面形态与功能的相关性。

该技术对于疾病诊断、治疗和生物工程研究具有重要的意义。

表面轮廓测量的前景随着科技的发展，表面轮廓测量技术也在不断进化和完善。

未来，表面轮廓测量将更加广泛地应用于自动化、智能化生产等领域，为各个行业带来更多便利和效益。

总之，表面轮廓测量是一种重要的技术手段，对于工业制品制造、3D打印、医疗和生物工程等领域都具有广泛的应用前景。

超声波弧面斜探头参数测量方法
超声波弧面斜探头的参数测量方法如下:
1.准备双弧形专用试块，其结构为:形状为柱状体，其横截面是由两个等直径的双半圆二弧面相对重叠而构成的双弧形，柱状体上设有由大、小两个同轴孔形成的标准反射体，同轴孔形成的标准反射体的中心通过双弧形的公共弦线，且通过端面双弧形中以二圆心连线为斜边的直角三角形的直角顶点。

2.使用双弧形专用试块测量接触面为弧形的斜探头入射点、前沿尺寸、折射角和K值及斜探头与仪器组合的分辨力。

3.借助双弧形专用试块，测量接触面为弧形的斜探头入射点、前沿尺寸、折射角和K值及斜探头与仪器组合的分辨力。

按照以上步骤进行操作后，就可以完成超声波弧面斜探头的参数测量。

制表：审核：批准：。

超精密自由曲面轮廓测量方法综述自由曲面广泛应用于汽车、航空航天以及各类模具制造等领域，有着平面、球面等无法比拟的优势。

随着超精密制造技术的发展，自由曲面零件的精度得到大幅度提升，但超精密加工极易受到外界环境的干扰，对加工环境和加工稳定性有很高的要求，而对于复杂结构纳米加工表面的自由曲面，更是难以一次达到加工精度的要求，所以要对加工表面采取多次“成型测量——补偿”的生产过程，最终获得满足精度要求的零件。

纳米级精度测量是自由曲面加工中面形评价和修正的基础，但是超精密加工后表面轮廓测量难、测量成本高、表面表征理论不完善，急需有效的测量方法来检验评价。

目前，对于自由曲面轮廓的测量方法主要分为离线测量和原位测量两种方式。

离线测量是借助已商业化生产的测量机器，如三坐标测量机（CMM），各类轮廓仪等，这种方法不仅能够测量已知轮廓，而且能够测量未知的复杂自由曲面轮廓，具有高精度和良好的重复性，缺点是评价结果极易受到测头的精度的影响，并且重复装卡零件会带来较大的归位误差。

而原位测量是在被加工件加工完成时进行测量，对其误差进行整体补偿修正，也叫在位测量或在机测量，避免了反复装卡带来的误差，是一种高效集成化测量方法，特别适合于面形精度要求高的自由曲面超精密制造中。

一、离线测量1.基于三坐标机类CMM有其机器坐标系，而自由曲面的零件自身具有设计坐标系，要利用CMM上对超精密自由曲面零件轮廓检测，目前研究的重点主要在于将CMM的测量坐标系与设计坐标系进行匹配、对定位方法的研究、求解变换矩阵的参数和建立误差评定模型等。

何改云等人1提出了一种求解最优化问题找到变换矩阵的参数值从而将测点从测量坐标系下变换到设计坐标系的方法，并用“S”形试件的自由曲面对提出的误差评定方法进行了验证，扩展不确定度为3.8μm（k=2）；对于具有复合自由曲面特征的零件，通常都是由多个自由曲面片组成，表面情况复杂，何雪明等人2采用降阶思想，将复合自由曲面先分解为多个自由曲面片，进行合理的边界划分和自由曲面片间测量次序规划，然后对每个自由曲面片应用双参数向自适应测量法，使测点可随被测曲面自身曲率变化特性而疏密分布，实现了CMM自动测量复合自由曲面，对具有自由曲面特征的叶片等零件进行实际测量，结果表明测量精度可达μm级，相对于均匀跨距扫描方式精度提高了一个数量级；仇谷烽3等人以最小二乘法为基础，建立了能够根据测量结果精确分析出两个坐标系统之间的偏离量的数据处理模型，结果表明，该模型可精确地恢复１cm以下的偏心和0.1°以下的旋转量，从而为进行高精度的面形误差分析提供了工具分析。