SEM操作手册
- 格式：docx
- 大小：3.10 MB
- 文档页数：8
SEM拍摄操作过程：
(1) 后面的插座按钮全部打开；
(2) 打开电脑主机；
(3) 打开扫描主机上右侧方按钮；
(4) 打开FlexSEM 1000软件；
(5) 听到机器滴的声音，点击软件中的AIR或者按机器上的EVAC/AIR按钮;
(6) 进气完成后，打开样品仓； (7) 放入样品台；
(8) 点击软件中Specimen exchange
(9) 点击Stub size;
(10) 点击选择80 mm, 之后点击OK;
(11) 点击Next; (12) 点击Capture, 右边照相机左上部分的Run会变成Freeze;
(13) 推入样品台；推紧之后，按机器上的EVAC/AIR，或者点击电脑上的EVAC;
(14) 滴的一声之后，点击Start, 屏幕出现图像，开始测试。
(15) 测试完成之后， 将电压调到5KV, 最小化倍数，点击STOP, 点击AIR 进空气，待完成之后，取出样品台；
(16) 之后推样品架，抽真空；抽完真空后，关闭SEM右侧主机电源；关闭电脑，之后关上所有的插座。
SEM中EDS操作过程：
(1) 将Z轴从5-0逆时针旋转到10-0；
(2) 打开EDS detector Power 和右侧的Model 550i的开关；
(3) 将Spot intensity 调到50到80最高；
(4) 打开 Iridium Ultra软件，通过调节VACC和Spot intensity，使得c/s的数值在1000-2000之间；
(4) 回到SEM的拍摄界面，找到需要打EDS的位置，需要调节清晰；
(5) 回到Iridium Ultra软件，点击new image, 会在软件中出现需要拍EDS的图片；
(6) 点击红色+号，在你需要的位置上单击鼠标，等livetime到达30之后，进行元素分析，选择所需要的元素，然后点击Analyze下面的quantify;
(7)右击鼠标，点击File-Export-Spectrum,将格式改成emsa格式，后保存相应位置，之后将后缀改成txt就可以作图；
(8) 点击左上角的file-reports-create word report, 打开image的下拉菜单，然后点击place in report, 然后点击Spectrum下面的Image 1, 点击place in report，如果有其他点，可以同样操作，
(9)之后在Create Microsoft Word document 下的File-Save as , 保存到相应位置。
(10) 测完，关闭Iridium Ultra软件，之后关闭Model 550i和EDS detector Power的开关
(11) 将Z轴调回5-0.
(12) 之后进行SEM 关机操作。
