防静电基础知识(精)
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防静电基础知识1.定义:【静电】:物体表面过剩或不足的一种处于相对稳定状态的电荷。
静电可由物体的接触于分离、静电感应、介质极化和带电微粒附着等物理过程而产生。
【电荷】:物质是由原子构成,原子是由电子、质子、中子构成。
【静电放电(ESD—Electrostatic Discharge)】:带有不同静电电势的物体或表面之间的静电电荷转移。
有两种形式:接触放电,电场击穿放电。
防静电工作区:ERA 接地连接点:EBP【静电敏感器件(ESSD)】:是指对ESD静电放电的承受能力较低,在制造、运送、存储和试制等过程中容易印静电放电而遭致损伤的器件。
器件对ESD的承受能力可以用静电敏感度(ESDS)表示,它是指器件所能承受而不至于遭受损坏的最大静电电压,基本单位是伏特(V)。
【硬损伤】:造成器件不能工作。
【软损伤】:ESD减弱了器件或单板的性能,单仍能通过测试,单板或器件的特性变差,最终失效。
2.静电的特点高电位:可达数万至数十万伏,操作时长达数百至数千伏(人通常对3.5V以下静电不易感觉到)低电位:静电流多为微安级(尖端瞬间放电例外)作用时间短:微秒级。
受环境影响大:特别是湿度,湿度上升则静电积累减少,静电压下降。
人体对ESD的敏感:在3000V时,你能通过皮肤感知;在5000V时,你能听见;在10000V时,你能看见。
1.静电的危害(1)通信产品故障多;(2)软件故障30%左右;(3)硬件故障中器件失效30%多、外应力(环境温湿、灰尘腐蚀、雷电、机械应力、包装等)导致产品故障约30%)(4)器件失效中ESD失效率占30~40%,而高静电敏感的器件ESD。
第一章:静电学基础1. 1概述:高科技的发展历程中,电子技术和高分子化学技术是两个重要的方面。
电子产品设计的小型化和高集成化,相应的加工技术日趋微、细、薄,使得对静电危害不可忽视。
随着电子技术和产品向国民经济各部门的广泛渗透,静电的影响面越加普遍。
正是由于高分子化学技术的发展,促成了高分子材料在工业、国防和人民生活各个方面的广泛应用。
普通高分子材料的特点之一就是它具有很高的电阻率,使其特别易于产生静电。
静电造成的故障与危害,通称静电障害。
从传统的观点来看,它是火工、化工、石油、粉碎加工等行业引起火灾、爆炸等事故的主要诱发因素之一,也是亚麻、化纤等纺织行业加工过程中的质量及安全事故隐患之一,还是造成人体电击危害的重要原因之一。
因此,静电防护是各行业最为关注的安全问题之一。
随着高科技的发展,静电障害所造成的后果已突破了安全问题的界限。
静电放电造成的频谱干扰危害,是在电子、通信、航空、航天以及一切应用现代电子设备、仪器的场合导致设备运转故障、信号丢失、误码的直接原因之一。
例如,电子计算机和程控交换机是两种有代表性的现代电子设备,如安装、使用环境不当,它们的工作都会受到静电的困扰。
此外,静电造成敏感电子元器件的潜在失效,是降低电子产品工作可靠性的重要因素。
据日本80年代中期的一项统计资料,在失效的半导体器件中,有45%是因静电危害造成的。
降低静电障害是最有效的手段是实施防护。
因为,静电作为一种自然现象,不让它产生几乎是不可能的,但把它的存在控制在危险水平以下,使其造成的障害尽可能小,则是可能的。
有效地进行静电防护与控制,依赖于对静电现象的认识和对其发生、存在、清除的控制,依赖于掌握和了解静电与环境条件的关联性和静电发生的规律。
以上观点是从静电危害的防护角度而言的。
对静电的应用研究本身就是一项重要的高科技门类,但鉴于不属于本书讨论的围,在此不再赘述。
2. 1静电:根据分子和原子结构的理论,自然界中的一切物质都是由分子构成的,而分子又是由原子组成的。
防静电相关知识供学习用【摘要】静电作为一种普通的物理现象,随着通信事业的发展,集成电路和高分子材料的广泛应用,静电的作用力、放电和感应现象所引起的危害非常突出。
文章阐述了静电的有关知识和危害,并详细介绍了在生产电子产品过程中如何控制静电的措施。
【关键词】静电;危害;静电控制一、静电(一)静电的定义任何物质都是由原子组合而成的,而原子的基本结构包括质子、中子和电子,质子带正电,中子不带电,电子的带电性与质子相反,带负电。
在正常情况下,一个原子的质子数与电子数相同,正负平衡,所以对外表现出不带电的现象。
但是电子环绕与原子核周围运动,一经受外力(这外力包括各种能量,如动能、势能、热能、化学能等)作用,就会造成电子分布的不平衡,因而形成了静电。
(二)静电的物理现象正负电荷有异性相吸、同性想斥的特性,其力量大小可有库仑定律得出:(其中F:力Q:电荷r:距离)所以静电的第一现象即吸附异性电荷。
日常生活中,吸附尘埃即为常见情况,因电荷存在,在周围空间必形成电场。
静电与大地之间因有电位存在,如果触及电路时,就会产生电流,这个放电电流常会将电路导体烧毁。
(其中I:电流V:电压R:电阻)(三)静电荷产生的基本途径1.接触和分离;2.摩擦;3.邻近电场的感应。
(四)静电荷产生的基本原因1.因不同材料的原子核对其最外围电子的吸引力不同,故当两种不同材料接触或摩擦时,其上的外围电子会转移到吸引力较强的一方,导致一材料带正荷,而另一材料带负电荷。
2.在导体表面电子能自由移动。
当一带电导体和一中性导体接触时,电子会从带电导体流向中性导体,导致二者电荷平衡。
3.邻近电场极化中性物体内的电子分布。
当中性物体接地时,与电场相同的电子会被排斥走。
若接地突然中断,然后把物体离开电场,则该物体会因之前的电场感应而带电。
二、静电问题的重要性在国际电子工业经验中,除生产工序控制和产品设计不完善外,已证实静电是造成产品质量问题的主要原因之一。
防静电相关知识培训目录一、防静电基础概念 (2)1.1 防静电的定义 (3)1.2 防静电的意义 (4)二、静电的产生与危害 (4)2.1 静电的产生原理 (5)2.2 静电的危害 (6)三、防静电工作服及防护用品 (7)3.1 防静电工作服的作用 (9)3.2 防静电鞋的作用 (10)3.3 防静电手套的作用 (11)3.4 防静电腕带的作用 (12)四、防静电工作区域划分 (13)4.1 产生静电的源头控制 (15)4.2 防静电工作区域的划分标准 (16)4.3 防静电工作区域的标识 (17)五、防静电操作规程 (18)5.1 生产过程中防静电操作 (19)5.2 测试过程中防静电操作 (20)5.3 清洁过程中防静电操作 (21)六、防静电检测与评估 (22)6.1 防静电设备性能检测 (23)6.2 工作区域静电测试 (24)6.3 防静电效果评估 (26)七、防静电培训与教育 (27)7.1 防静电知识的普及 (28)7.2 员工防静电意识的培养 (29)7.3 定期进行防静电培训的重要性 (30)八、防静电管理政策与制度 (31)8.1 防静电政策的制定 (32)8.2 防静电制度的建立 (33)8.3 防静电工作的考核与激励 (35)九、防静电技术的应用与发展 (35)9.1 防静电技术的研发与应用 (37)9.2 新型防静电材料的推广 (38)9.3 防静电技术与现代工业生产的融合 (40)一、防静电基础概念静电定义:静电是一种处于静止状态的电荷。
在物质间接触或分离时,电子的转移会导致电荷分布不均,从而产生静电现象。
这种电荷既可以是正电荷也可以是负电荷,在干燥的空气中,人体活动产生的摩擦容易产生静电。
静电在日常生活中十分常见,有时会产生一些不便如电击或电器工作不正常等问题。
而在一些工业领域如精密电子制造,过度的静电可能会损坏敏感组件。
防静电定义:防静电是指通过一定的手段来防止或减少静电的产生、积累及其带来的潜在危害的过程。
静电防护知识一.术语及定义1. 静电:物体表面过剩或不足的静止的电荷2. 静电场:静电在其周围形成的电场3.静电放电:两个具有不同静电电位的物体,由于直接接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移。
静电电场的能量达到一定程度后,击穿其间介质而进行放电的现象就是静电放电。
ESD是英文Electrostatics Discharge的缩写,即"静电放电"的意思。
4.静电敏感度:元器件所能承受的静电放电电压5.静电敏感器件:对静电放电敏感的器件6.接地:电气连接到能供给或接受大量电荷的物体,如大地,船等.7.中和:利用异性电荷使静电消失8.防静电工作区:配备各种防静电设备和器材,能限制静电电位,具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地二、静电的产生:1.摩擦:在日常生活中,任何两个不同材质的物体接触后再分离,即可产生静电,而产生静电的最普通方法,就是摩擦生电。
材料的绝缘性越好,越容易是使用摩擦生电。
另外,任何两种不同物质的物体接触后再分离,也能产生静电;。
2. 感应:针对导电材料而言,因电子能在它的表面自由流动,如将其置于一电场中,由于同性相斥,异性相吸,正负电子就会转移。
3. 传导:针对导电材料而言,因电子能在它的表面自由流动,如与带电物体接触,将发生电荷转移。
人身日常活动所带的静电下表提供在没有进行防静电治理的生产环境里,电子工厂工作人员日常工作的产生的静电强度和湿度的关系:静电电压(V)人身的活动情形10-20%RH 65-90% RH走过化纤地毯35000 1500拿TEFLON硅片架30000 1200走过塑胶地板12000 250坐椅子上工作的人6000 100翻塑面说明书文件7000 600拿起普通聚乙烯袋20000 1000从垫有聚氨基甲酸泡沫的工18000 1500作椅上站起可见增加环境湿度能降低静电电压。
经试验,人体带静电5万伏时没有不适的感觉,带上8万伏高压静电时依然面带微笑,1 0万伏(最高试验过12万伏)时也没有生命危险!三、静电的危害集成电路元器件的线路缩小,耐压降低,线路面积减小,使得器件耐静电冲击能力的减弱,静电电场(Static Electric Field)和静电电流(ESDcurrent)成为这些高密度元器件的致命杀手。
防静电培训资料防静电培训简介静电是指物体表面电荷的不平衡状态,常见于干燥的环境中,特别是在工业制造和电子设备领域。
静电的存在可能导致电子设备的损坏、火灾和人身伤害等问题,因此,了解和掌握防静电知识对于确保安全生产至关重要。
本防静电培训资料将全面介绍防静电的基本概念、原理、控制方法和培训要点,旨在提高工作人员的防静电意识和操作技能。
一、防静电基础知识1.1 静电的定义静电是指物体表面带有电荷,而在静止状态下的电荷分布形成的现象。
当物体表面的正电荷与负电荷之间的电荷不平衡时,就会产生静电效应。
1.2 静电的危害静电的存在会对人体和设备造成一定的危害,包括:- 人身伤害:静电放电可能引起触电,导致人体感觉不适、皮肤灼伤甚至电击死亡。
- 设备损坏:静电放电可能对电子设备、仪器仪表和敏感元件造成损坏,从而影响正常工作。
- 火灾爆炸:在易燃或易爆物质周围的静电放电会引发火灾或爆炸。
二、防静电原理2.1 防静电导电原理防静电导电原理是通过将静电荷引导到地面,从而消除电荷积累和电荷不平衡。
常见的防静电导电材料包括金属、碳纤维等,其具有良好的导电性能,能够迅速将静电荷引导到地面。
2.2 防静电绝缘原理防静电绝缘原理是通过使用绝缘材料隔离物体,防止电荷在物体表面的积累和传导。
绝缘材料通常具有较高的电阻,能够有效阻止静电的形成和传递。
三、防静电控制方法3.1 静电放电体系控制静电放电体系控制是指通过对工作环境和设备进行调整,减少静电放电的产生和传导,常见的控制方法包括:- 湿润处理:保持空气湿度,减少静电荷的积累和放电。
- 接地保护:对设备和物体进行接地,将静电荷导流到地面。
- 屏蔽隔离:使用屏蔽材料隔离静电源和敏感设备,避免电荷的传导。
3.2 防静电个人防护防静电个人防护是指通过佩戴防静电服装和使用防静电器具,减少人身静电的积累和放电。
个人防护包括:- 防静电服装:包括防静电鞋、防静电帽、防静电手套等,能够有效减少人体静电的产生。
防静电基础知识认识静电一、什么是ESDESD是英文Electro Static Discharge,即“静电放电”的意思。
人体就带有很高的静电电压,特别是在干燥的季节,当你脱去毛衣或用手去触摸金属物体时会产生电击感,此时你带的静电可达几千伏至几万伏以上。
人们在日常的活动中可产生高达25,000V的静电放电。
人手的神经能感觉到大约3,000V的静电放电。
而IC只需要10V的静电就可将其毁坏。
其结果是,虽然ESD看不见、听不到或感觉不到,但可重大地损伤或毁坏电子产品。
静电摸不到看不见,但却时时刻刻围绕在我们的周围,当你感觉到有电击时,你身上的静电电压已超过2000V;当你看到放电火花时,你身上的静电已高达5000V;当你听到放电声音时,你身上的静电已高达8000V。
日常生活中的各种行动都会产生静电:1、塑料与布摩擦,塑料可以吸起小纸屑;2、梳子与头发摩擦而带电;3、冬天脱毛衣时,会发出噼啪的声响;4、靠近刚关闭的电视,汗毛会竖起来。
二、名词解释1、静电 electrostatic:静电就是物体所带相对静止不动的电荷。
2、静电放电 electrostatic discharge:处于不同静电电位的两个物体间的静电电荷的转移就是静电放电。
3、静电感应 electrostatic induction当带静电物体靠近某一介质时,在该介质表面因感应而带电荷,并形成感应电场。
4、中和 neutralization利用异性离子使静电消失。
5、接地 grounding电气连接到能够提供或接受大量电荷的物体上(如大地,舰船或运载工具的外壳)。
接地分为硬接地和软接地,生产机器设备通过三相插头的其中一个接地端子接向电网地线,为硬接地;工作人员通过防静电手腕接地,防静电手腕连线上有1MΩ的电阻,即人员与地之间存在着一定的电阻值,为软接地。
6、ESD保护区 ESD protected area(EPA)用必要的ESD防护材料和设备建立和装备起来的,有明显标记的区域,能够防护ESD损害。
防静电基础知识培训一、什么是静电静电是在摩擦、接触或分离的过程中,物体之间由于电荷的转移而产生的一种现象。
当物体失去或得到电子时,就会带有正电荷或负电荷,这种带电现象就是静电。
静电可以给人们的生活和工作带来许多麻烦,甚至有些时候会导致触电事故,因此我们必须重视静电的防护工作。
二、静电产生的原因1.摩擦产生静电:当两种不同材料摩擦或接触时,会发生电荷的转移。
2.离子化作用产生静电:例如空气中的离子和尘土,会在运动中带有电荷。
3.静电感应:当带电物体靠近无法导电的物体时,无法导电的物体会被诱发电荷。
三、静电对人们的危害1.对设备的危害:静电会对电子设备、仪器仪表等造成影响,甚至会导致损坏。
2.触电危险:当静电积聚到一定程度时,可能会导致触电事故,对人体造成危害。
3.火灾危险:在易燃气体或液体周围,静电可能会引发火灾或爆炸。
四、静电防护措施1.选择合适的工作服装:避免使用纤维类的衣物,选择导电性能良好的工作服装,有利于释放静电。
2.保持工作环境干燥:湿度越大,导电性越好,因此保持工作环境的相对湿度在40%-60%之间很重要。
3.使用静电排除设备:如使用带有静电消除器、靠垫等设备,有助于及时排除工作中积聚的静电。
4.保持工作场所的清洁:减少积尘和油污,有助于减少静电的产生。
5.静电接地:通过静电接地的方法,将积聚的静电及时释放。
六、静电防护知识培训1.防静电培训内容包括:(1)静电的危害和产生原因。
(2)静电防护措施的推广和培训。
(3)静电防护设备和工作程序的使用方法。
2.培训的目的:通过对员工的防静电知识培训,使员工了解静电产生的危害和防护措施,提高员工的安全意识,减少因静电导致的损失和事故发生。
3.培训的方法:(1)组织专业人员进行现场教学,通过案例分析和实际操作指导,使员工更好地理解静电的危害和防护方法。
(2)定期进行防静电知识考核,评估员工对防静电知识的掌握程度。
(3)不断完善和更新培训内容,使员工学习到最新的防静电知识。
一、静电防护基础知识1、静电的概念:静电就是静止的电荷。
任何物质都由原子组合而成,而原子的基本结构为质子、中子跟电子。
质子与中子因质量较高,结合力强、不易分离紧密聚在一起称为原子核。
电子质量小,环绕原子核外,依其电气的特性。
将质子定义为正电,中子因不具电气特性不带电。
电子的电气特性与质子相反,带负电。
在正常状态下,一个原子的质子数与电子数量相同,正---负平衡,所以对外表现为中性不带电。
但是电子环绕于原子核周围,经外力即脱离轨道,离开原来的原子A,而投入其他的原子B,A原子因缺少电子而带有正电现象,称为阳离子;B原子因有多余电子而呈带负电现象称为阴离子,造成不平衡电子分布原因即是电子受外力而脱离轨道,这个外力包含各种能源如:动能、热能、化学能等等。
任何两个不同材质的物体接触后再分离即可产生静电。
譬如:在冬季空气干燥及光线暗淡环境下,脱掉毛线衣服时所产生的火星、彩色显管电视屏幕上粘附的灰尘等等,都是积累的静电所致。
二、静电防护的目的与危害性:1、静电就是指静止的电荷。
2、静电防护的目的:防止静电击穿电子元件或产品,确保产品质量不受影响。
3、静电的危害性:①元件吸附灰尘,改变线路间的阻抗,影响元件的功能和寿命;②因电场或电流破坏元件绝缘层和导体,使元器件不能工作(或者完全性破坏);③因瞬间的电场软击穿或电流产生过热,使元件受伤,虽然仍能工作,但是寿命受损;4、静电的产生原因:静电的产生是一种复杂的现象,由非导体的运动产生的。
当两个物体相互磨擦时,就产生了静电:如塑料包的拿起或打开、合成衣料的磨擦、塑料鞋底在地板上的磨动或塑料吸锡器的吸动、以及人体本身也带静电。
5、静电防护的方法:①敏感元件和电路板组件不使用时须放入静电袋、静电盒保存;②从防护静电袋中移出静电敏感器件时必须是在防静电工作环境中;③防静电环境中应无静电产生物:如:塑料文件夹、塑料吸锡器。
6、常用的防静电工具:包括防静电手环(分有线防静电环和无线防静电环)、防静电胶垫、防静电手环测试仪、静电测量仪。
一、目的:
1. 随着电子技术的不断发展,尤其是微电子技术的不断应用,静电对元器件的破坏作用逐渐得到了人们的重视,静电对元件所造成的破坏具有很强的隐蔽性及持续性,被破坏之元件往往在当时并不会立即出现异常,而是随着工作时间的延长而逐渐失效,因当场判定元件是否遭到静电破坏的程序复杂,设备昂贵,故目前业界一旦发现元件有遭到静电破坏之嫌疑,往往只能整批元件全数更换,从而造成巨大的损失。
2. 为减少静电对线路板上静电敏感之元件所造成的破坏,以确保生产出的线路板品质不受影响,特制定此规范。
二、适用范围:
適用于森中基板车间的所有制程(含成品车间及协力厂商、客户端有接触到线路板之工位。
三、权责:
1. 制定:技术科。
2. 执行:森中厂内所有接触到线路板之单位,其中设备接地之检查则有总务科电工负责;协力厂商由采购负责联络,客户端由业务部负责联络。
3. 检查:品管科。
四、名词定义:
1. 静电:物体表面过剩或不足的静止电荷。
2. 静电场:静电在物体表面周围所形成的电场。
3. 静电放电:俩个具有不同静电电位的物体,由于直接接触或静电场感应引起的俩物体间的静电电荷转移。
静电电场的能量达到一定的程度之后,击穿其间介质而造成的放电现象就称为静电放电。
4. 静电敏感度:元器件所能承受的静电放电电压,一般来说,单体元件比组装在线路板上的元件静电敏感度要低。
5. 静电敏感元件:对静电放电敏感的元件,如蓝光LED,白光LED,高亮绿光LED,高速运算放大器,MOS管等。
6. 接地:电气连接到能供给或接受到大量电荷的物体,如大地,船等。
7. 中和:利用异性电荷使静电抵消。
8. 防静电工作区:配备各种防静电之器材和设备,能限制静电电位,具有明确的区域界限及防护标识,能从事防静电操作的工作场所。
五、內容:
1. 接地:所有接触到线路板及电子元件之工作台,设备均须可靠接地,接地线的埋设应符合电子/电工行业之要求,实测接地电阻应<4Ω,且至少每年检测一次。
1.1. 接地线不得接在电源零线上,不得与防雷地线共用。
1.2. 接地干线截面积应不小与150平方mm,设备及工作台的接地线截面积应不小与1.25平方mm,接地线颜色以黄滚绿为宜。
1.3. 防静电设备与地线之间的连接允许使用各种夹式连接器,如鳄鱼夹,插头座等。
1.4. 防静电设备与地线之间的电阻应在1~15Ω范围内(理想值是0Ω。
2. 防静电作业程序
2.1.人体静电释放作业:
2.1.1. 人体静电的释放采用静电手环与地线之间的连接来完成,工作中有接触到线路板及电子元件的所有人员都必须佩带静电手环。
如因配带静电手环而影响作业,允许用静电手套来代替静电手环,无线静电手环则不允许配带。
2.1.2.品管人员须至少每周对所有静电环进行检测,确认正常后才能允许配带,检测方式可用数字式万用表,量程置于R×2MΩ档,测试手环上面的金属电极与鳄鱼夹之间的阻值应在0.5~1.5MΩ之间,如超出此值,则不能使用,须交给维修人员维修OK 后才可使用,每天的检验结果应记录在案。
2.1.
3.静电手环的鳄鱼夹与地线之间应确保联接良好,鳄鱼夹须可靠的夹在地线的导体部分,不可夹在结缘层上。
2.2.工作台、各种生产设备防静电作业:
2.2.2.要求所有有接触到线路板及电子元件的工作台及设备都要引入接地线,设备的接地点须是原厂预留的接地点,如该设备无预留接地点,则接入机台外壳有金属裸露点位置。
2.2.
3.电子车间的工作台面须铺有防静电台布,不锈钢工作台可不铺静电台布,但不可在此类台面上进行带电操作。
需要注意的是,地毯、毛毯为静电产生源,不允许铺设在工作区的地面或台面。
2.2.4.设备上的积尘会导致静电的累积,故须定期对设备进行保养,并填写设备保养表。
2.2.5.电工须至少每周对各设备的接地状况进行检测,并将检测结果纪录在案。
2.2.6.用于切脚及成型的设备接地状况尤其需要引起重视,此类设备往往用于电子元件的单体加工作业,一旦接地不良,则静电或设备本身漏电都将会对正在加工的元件造成破坏。
如条件允许,切脚机的刀具还须进行定期消磁。
2.3. 制程中防静电作业:
2.3.1.负离子可以有效中和物体表面的静电,在加工及插件过程中,如有接触到蓝光LED,白光LED,高亮绿光LED的工位,可以放置一台负离子风扇,开启负离子功能,对着作业区的LED进行吹风,以加强静电防护措施。
2.3.2.对於静电敏感之元件,SOP上应在该元件前加上特别标识,以利提醒后端相关作业人员注意,上条提到的要加负离子风扇的工位, SOP上亦要特别注明。
2.3.3.品管须至少每周对负离子风扇的负离子功能进行检测,以确保负离子输出正常,简易的检测方式是用一个LCD靠近负离子输出口,如LCD上有显示,则表明有负离子输出,显示越明显,则表明负离子越强,如LCD上完全无显示,则表明无负离子功能。
2.3.4.对静电敏感元件,在加工成型阶段,完成品尽量采用原包装材料进行包
装,LED穿好间隔柱后应穿插在红色的防静电泡棉上,厂内元件的周转可采用黑色的零件盒或不锈钢托盘,厂内线路板周转可采用黑色的防静电周转箱周转。
2.3.5.对於需要转厂的线路板,如线路板上有静电敏感之元件,则需要每片线路板要用防静电材料隔离开来,如防静电气泡片或防静电气泡袋。
3. 工作环境:COB制程及SMT制程对静电防护有特殊要求,要在无尘车间生产,出入车间须经过静电门,穿静电服,车间的温度控制在23℃±2℃的范围内,相对湿度
则应控制在50%~80%的范围内。